The utility model discloses a filling gas path distribution device, which comprises a receiving pipe body, an air outlet pipe and a distribution pipe. The inside of the receiving pipe body is provided with a receiving cavity, and the receiving cavity is in a cylindrical structure. The top end surface of the surrounding side of the receiving pipe body is provided with n groups of air outlet pipes, and the air outlet pipes run through the inside of the receiving pipe body. One side of the N groups of air outlet pipes is provided with a pressure gauge, and the A valve handle is arranged on one side of the pressure gauge and on the front side of the air outlet pipe, a rectangular groove is arranged on the inner wall of the bottom end surface of the accommodation cavity inside the accommodation pipe body, n groups of compression springs are arranged vertically upward in the rectangular groove, a receiving plate is arranged at the end of the compression spring of N groups far away from the rectangular groove, and the receiving plate is arranged in the rectangular groove, and the top end surface of the accommodation cavity of the accommodation pipe body The inner wall is provided with a first step platform. The filling gas distribution device has the effect of gas distribution and transmission, sealing and air leakage prevention, and is easy to use.
【技术实现步骤摘要】
一种充装气路分配装置
本技术属于充装气路
,具体涉及一种充装气路分配装置。
技术介绍
气体分配装置,包括:进气板、嵌入式分配板和下分配板;其中,所述进气板设有进气通路、以及与进气通路连通的容置部,所述嵌入式分配板嵌入容置部内;所述嵌入式分配板具有分配通路并且与容置部之间具有间隙;下分配板位于进气板的下面,将嵌入式分配板封装在所述容置部内。相应的,本专利技术还公开了一种采用所述气体分配装置的等离子体处理设备。所述的气体分配装置结构简单,对加工精度的要求较低,能够降低制造成本。现有气路分配装置的密闭性较差,导致经常漏气,以及在分配气路时,不能随时更换多组气路输送。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种充装气路分配装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种充装气路分配装置,包括容纳管体、出气管和分配管,所述容纳管体内部设置有容纳腔,并且容纳腔呈圆柱状结构,所述容纳管体周侧顶端面设置有N组出气管,并且所述出气管贯穿容纳管体内部,N组所述出气管一侧面均设置有压力表,所述压力表一侧并且位于出气管前侧面设置有阀门手柄;所述容纳管体内部容纳腔的底端面内壁开设有矩形槽,所述矩形槽内竖直向上设置有N组压缩弹簧,N组所述压缩弹簧远离矩形槽的一端设置有承接板,并且所述承接板位于矩形槽内,所述容纳管体的容纳腔顶端面内壁设置有第一阶梯台,所述容纳管体的容纳腔内插接有分配管,所述分配管底端面设置有与矩形槽配合滑动的滑板,并且位于所述分配管周侧顶端面设置有与第一 ...
【技术保护点】
1.一种充装气路分配装置,包括容纳管体(1)、出气管(2)和分配管(3),其特征在于:所述容纳管体(1)内部设置有容纳腔,并且容纳腔呈圆柱状结构,所述容纳管体(1)周侧顶端面设置有N组出气管(2),并且所述出气管(2)贯穿容纳管体(1)内部,N组所述出气管(2)一侧面均设置有压力表(6),所述压力表(6)一侧并且位于出气管(2)前侧面设置有阀门手柄(7);/n所述容纳管体(1)内部容纳腔的底端面内壁开设有矩形槽(9),所述矩形槽(9)内竖直向上设置有N组压缩弹簧(17),N组所述压缩弹簧(17)远离矩形槽(9)的一端设置有承接板(18),并且所述承接板(18)位于矩形槽(9)内,所述容纳管体(1)的容纳腔顶端面内壁设置有第一阶梯台(15),所述容纳管体(1)的容纳腔内插接有分配管(3),所述分配管(3)底端面设置有与矩形槽(9)配合滑动的滑板,并且位于所述分配管(3)周侧顶端面设置有与第一阶梯台(15)配合使用的第二阶梯台(16),所述容纳管体(1)内壁且位于N组出气管(2)与第一阶梯台(15)之间均设置有通管(14),所述第二阶梯台(16)顶端面设置有与通管(14)配合使用的通孔,且 ...
【技术特征摘要】
1.一种充装气路分配装置,包括容纳管体(1)、出气管(2)和分配管(3),其特征在于:所述容纳管体(1)内部设置有容纳腔,并且容纳腔呈圆柱状结构,所述容纳管体(1)周侧顶端面设置有N组出气管(2),并且所述出气管(2)贯穿容纳管体(1)内部,N组所述出气管(2)一侧面均设置有压力表(6),所述压力表(6)一侧并且位于出气管(2)前侧面设置有阀门手柄(7);
所述容纳管体(1)内部容纳腔的底端面内壁开设有矩形槽(9),所述矩形槽(9)内竖直向上设置有N组压缩弹簧(17),N组所述压缩弹簧(17)远离矩形槽(9)的一端设置有承接板(18),并且所述承接板(18)位于矩形槽(9)内,所述容纳管体(1)的容纳腔顶端面内壁设置有第一阶梯台(15),所述容纳管体(1)的容纳腔内插接有分配管(3),所述分配管(3)底端面设置有与矩形槽(9)配合滑动的滑板,并且位于所述分配管(3)周侧顶端面设置有与第一阶梯台(15)配合使用的第二阶梯台(16),所述容纳管体(1)内壁且位于N组出气管(2)与第一阶梯台(15)之间均设置有通管(14),所述第二阶梯台(16)顶端面设置有与通管(14)配合使用的通孔,且采用密封连接,所述分配管(3)内部设置有与通孔连接的第一管道,所述分配管(3)一端内壁设置...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈源峰,
申请(专利权)人:大连远信检测有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁;21
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