用于将载体夹持到装置的布置制造方法及图纸

提供一种用于在处理腔室中进行处理期间将载体固定或夹持到装置的布置。所述布置包括：第一夹持元件，所述第一夹持元件耦接到所述载体；和第二夹持元件，所述第二夹持元件耦接到所述装置。所述第一夹持元件和所述第二夹持元件被配置为可相对于彼此固定或夹持。所述布置进一步包括止挡元件，以用于在所述第一夹持元件和所述第二夹持元件中的一个故障时支撑所述载体。

Arrangement for holding the carrier to the device

An arrangement for fixing or clamping a carrier to a device during processing in a processing chamber is provided. The arrangement includes: a first clamping element coupled to the carrier; and a second clamping element coupled to the device. The first clamping element and the second clamping element are configured to be fixed or clamped relative to each other. The arrangement further includes a stop element for supporting the carrier in the event of a failure of one of the first and second clamping elements.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于将载体夹持到装置的布置
本公开内容的实施方式涉及用于将载体固定或夹持到装置的布置，更具体地涉及在处理腔室中进行处理期间的对准装置。此外，本公开内容的实施方式涉及用于支撑基板或掩模的载体、用于在基板上沉积层的设备以及保持和对准布置。
技术介绍
已知用于在基板上沉积材料的若干方法。作为一个示例，可以通过使用蒸发工艺、物理气相沉积(PVD)工艺(诸如溅射工艺、喷涂工艺等)或化学气相沉积(CVD)工艺来涂覆基板。可以在要涂覆的基板所在的沉积设备的处理腔室中执行工艺。沉积材料提供在处理腔室中。多种材料(诸如有机材料、分子、金属、氧化物、氮化物和碳化物)可以用于在基板上的沉积。此外，可以在处理腔室中进行其它工艺，如蚀刻、结构化、退火或类似工艺。例如，对于大面积基板，例如在显示器制造技术中，可以考虑涂覆工艺。可以在若干应用和若干
中使用涂覆基板。例如，一种应用可以是有机发光二极管(OLED)面板。另外的应用包括绝缘面板、微电子器件(诸如半导体器件)、具有薄膜晶体管(TFT)的基板、滤色器或类似物。OLED是由(有机)分子薄膜组成的固态器件，所述固态器件通过施加电力来产生光。作为一个示例，与例如液晶显示器(LCD)相比，OLED显示器可以在电子装置上提供明亮显示并减少使用功率。在处理腔室中，产生(例如，蒸发、溅射或喷射等)有机分子并使有机分子在基板上沉积成层。材料可以例如穿过具有边界或特定图案的掩模，以在基板上的期望位置处沉积材料，例如以在基板上形成OLED图案。与处理的基板、特别是沉积层的质量有关的方面是基板相对于掩模的对准。作为一个示例，对准应是准确的和稳定的，以便实现良好的工艺结果。因此，使用耦接到基板和/或掩模载体的装置来用于使基板相对于掩模对准。然而，用于对准基板和掩模的系统可能易受外部干扰，诸如振动。这种外部干扰可能在处理期间有损基板和掩模的对准，这造成处理的基板的质量降低，特别是可能有损沉积层的对准。因此，有益的是，用于使基板相对于掩模对准的装置可以以安全的方式固定到载体。为了将对准装置固定到载体，载体可以例如通过分别存在于载体和装置的表面处的专用夹持元件的相互作用来夹持到装置。鉴于上述，需要一种能够在载体与耦接到载体的装置之间提供改进的夹持动作的布置、载体和设备。
技术实现思路
鉴于上述，提供一种用于在处理腔室中进行处理期间将载体固定或夹持到装置的布置、用于支撑基板的载体、用于在基板上沉积层的布置，以及保持和对准布置。本公开内容的另外的方面、益处和特征从权利要求书、说明书和附图中清楚。根据一个实施方式，提供一种用于在处理腔室中进行处理期间将载体固定或夹持到装置的布置。所述布置包括：第一夹持元件，所述第一夹持元件耦接到所述载体；第二夹持元件，所述第二夹持元件耦接到所述装置，所述第一夹持元件和所述第二夹持元件被配置为可相对于彼此固定或夹持；和止挡元件，所述止挡元件用于在所述第一夹持元件和所述第二夹持元件中的一个故障时支撑所述载体。根据另一个实施方式，提供一种用于在真空腔室中支撑基板或掩模的载体。所述载体包括：夹持布置，所述夹持布置用于将所述载体固定或夹持到装置；和止挡元件，所述止挡元件用于在所述夹持布置故障时支撑所述载体。根据另一个实施方式，提供一种用于在基板上沉积层的设备。所述设备包括：处理腔室，所述处理腔室适于在所述处理腔室中进行层沉积；根据本文所述的实施方式的布置，所述布置用于在所述处理腔室内的载体；和沉积源，所述沉积源用于在基板上沉积形成层的材料，其中所述载体被配置为承载所述基板或设置在所述基板与所述沉积源之间的掩模。根据另一个实施方式，提供一种保持和对准布置。所述布置包括：夹持装置，所述夹持装置用于在处理腔室中进行处理期间支撑作为基板载体和/或掩模载体的载体；和对准装置，所述对准装置用于使所述基板载体相对于所述掩模载体移动，其中所述夹持装置至少包括耦接到所述基板载体或所述掩模载体的第一夹持元件和耦接到所述对准装置的第二夹持元件，所述第一夹持元件和第二夹持元件被配置为可相对于彼此固定或夹持，并且其中所述保持和对准布置进一步包括止挡元件，以用于在所述第一夹持元件和所述第二夹持元件中的一个故障时支撑所述载体。附图说明为了能够详细地理解本公开内容的上述特征所用方式，上面简要地概述的本公开内容的更特定的描述可以参考实施方式进行。附图涉及本公开内容的实施方式，并且描述于下：图1是用于在基板上制造OLED的沉积工艺的示意图；图2A示出了用于在处理腔室中的层沉积期间以竖直取向支撑基板和掩模的保持布置的示意性前视图；图2B示出了图2A的保持布置的示意性侧视图；图3示出了根据本公开内容的实施方式的用于将载体固定或夹持到装置的布置的示意图；图4示出了根据本公开内容的实施方式的用于支撑基板或掩模的载体的示意表示；图5示出了图4中所示的夹持布置的截面图；图6示出了在脱离状况下根据本公开内容的实施方式的用于将载体固定或夹持到装置的布置的示意表示；图7示出了在接合状况下图6的布置的示意表示；图8A示出了根据本公开内容的实施方式的布置的示意表示，其中提到止挡元件；图8B示出了在正常状况下图8A的布置的止挡元件的细节；图8C示出了在滑移状况下图8A的布置的止挡元件的细节；图9示出了在接合状况下根据本公开内容的另一个实施方式的用于将载体固定或夹持到装置的布置的示意表示；图10示出了在接合状况下根据本公开内容的另一个实施方式的用于将载体固定或夹持到装置的布置的示意表示；图11A示出了在接合状况下根据本公开内容的替代实施方式的用于将载体固定或夹持到装置的布置的示意表示；图11B示出了在脱离状况下的图11A的布置的止挡元件的细节；图11C示出了在接合状况下图11A的布置的止挡元件的细节；图12示出了根据本公开内容的实施方式的用于在基板上沉积层的设备的示意表示；和图13示出了根据本公开内容的实施方式的保持和对准布置的示意表示。具体实施方式现将详细地参考本公开内容的各种实施方式，这些实施方式的一个或多个示例示于图中。在以下对图的描述内，相同参考标记是指相同部件。仅描述了相对于单独的实施方式的差异。每个示例以解释本公开内容的方式提供，而不表示本公开内容的限制。此外，示出为或描述为一个实施方式的部分的特征可以在另外的实施方式上或结合另外的实施方式使用，以产生又一实施方式。本说明书旨在包括这样的修改和变化。本文所述的实施方式可以用于检查例如用于制造的显示器的大面积涂覆基板。本文所述的设备和方法被配置用于的基板或基板接收区域可以是具有例如1m2或更大的大小的大面积基板。例如，大面积基板或载体可以是第4.5代(对应于约0.67m2基板(0.73×0.92m))、第5代(对应于约1.4m2基板(1.1m×1.3m))、第7.5代(对应于约4.29m2基板(1.95m×2.2m))、第8.5代(对应于约5.7m2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于在处理腔室中进行处理期间将载体固定或夹持到装置的布置，所述布置包括：/n第一夹持元件，所述第一夹持元件耦接到所述载体；/n第二夹持元件，所述第二夹持元件耦接到所述装置，所述第一夹持元件和所述第二夹持元件被配置为可相对于彼此固定或夹持；和/n止挡元件，所述止挡元件用于在所述第一夹持元件和所述第二夹持元件中的一个故障时支撑所述载体。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在处理腔室中进行处理期间将载体固定或夹持到装置的布置，所述布置包括：
第一夹持元件，所述第一夹持元件耦接到所述载体；
第二夹持元件，所述第二夹持元件耦接到所述装置，所述第一夹持元件和所述第二夹持元件被配置为可相对于彼此固定或夹持；和
止挡元件，所述止挡元件用于在所述第一夹持元件和所述第二夹持元件中的一个故障时支撑所述载体。


2.根据权利要求1所述的布置，其中所述止挡元件包括以下中的至少一个：至少一个突起和至少一个销。


3.根据权利要求1至2中任一项所述的布置，其中所述止挡元件包括以下中的至少一个：至少一个凹陷和至少一个空腔。


4.根据权利要求3所述的布置，其中所述突起可插入所述凹陷中，或者其中所述销可插入所述空腔中。


5.根据权利要求2所述的布置，其中所述突起或所述销可连接到所述载体或所述第一夹持元件，或是所述载体或所述第一夹持元件的一部分。


6.根据权利要求2至4中任一项所述的布置，其中所述第二夹持元件包括与所述第一夹持元件的所述突起重叠的另一个突起。


7.根据权利要求3所述的布置，其中所述销可连接到所述第二夹持元件，或是所述第二夹持元件的一部分。


8.根据权利要求3至4中任一项所述的布置，其中所述销具有宽度，并且所述空腔具有形成比所述宽度大的另一个宽度的边缘或壁。


9.根据权利要求3至4中任一项所述的布置，其中在将所述销插入所述空腔中时，在所述销与所述空腔之间形成间隙，特别是在1mm与2mm之间、特别是约1.5mm的间隙。


10.根据权利要求1至9中任一项所述的布置，其中间隙设置在所述载体与所述装置之间，所述间隙在1mm至2mm之间，特别是约1.5mm。


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【专利技术属性】
技术研发人员：马蒂亚斯·赫曼尼斯，萨蒂亚穆蒂·戈文达萨米，詹斯·格伦斯，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US