水射流加工装置制造方法及图纸

提供水射流加工装置，即使在将喷射喷嘴安装于水射流加工装置之后，也能够确定所安装的喷射喷嘴。该水射流加工装置具有：喷射单元，其具有对被加工物喷射已加压的液体的喷射喷嘴；以及喷嘴判定部，其对喷射喷嘴的直径或面积进行判定，喷射单元具有根据电动机的转速而对液体进行加压的泵，喷嘴判定部具有：电动机转速存储部，其按照喷射喷嘴的喷射口的直径或面积而存储有为了按照规定的压力从喷射喷嘴的喷射口喷射液体而需要的电动机的转速；判定部，其根据从喷射喷嘴按照规定的压力喷射液体时的电动机的转速，对喷射液体的喷射喷嘴的喷射口的直径或面积进行判定；以及通知部，其通知判定部的判定结果。

Water jet processing device

The water jet processing device is provided, and the installed jet nozzle can be determined even after the jet nozzle is installed in the water jet processing device. The water jet processing device has a jet unit, which has a jet nozzle for spraying the pressurized liquid on the processed object, and a jet judgment unit, which judges the diameter or area of the jet nozzle, a jet unit has a pump for pressurizing the liquid according to the speed of the motor, and a jet judgment unit, which has a motor speed storage unit, which according to the jet port of the jet nozzle The diameter or area of the spray nozzle stores the rotation speed of the motor required to spray liquid from the spray port of the spray nozzle according to the specified pressure; the determination unit determines the diameter or area of the spray port of the spray nozzle according to the rotation speed of the motor when the liquid is injected from the spray nozzle according to the specified pressure; and the notification unit informs the determination result of the determination unit Fruit.

【技术实现步骤摘要】
水射流加工装置
本专利技术涉及水射流加工装置，通过喷射已加压的液体而对被加工物进行加工。
技术介绍
在以利用由树脂构成的密封材料(模制树脂)对配置在基板上的器件芯片进行包覆而成的封装基板和形成有多个器件的半导体晶片等为代表的板状的被加工物的分割中，主要使用安装有圆环状的切削刀具的切削装置。在将被加工物保持在切削装置所具有的卡盘工作台上的状态下，使切削刀具旋转而切入至被加工物，从而能够将被加工物切断。在被加工物中包含金属的情况下，当通过切削刀具对被加工物进行切削时，有时该金属与切削刀具接触而被拉长，产生须状的飞边。该飞边会导致通过被加工物的分割而得到的芯片的品质降低，因此期望在对被加工物进行分割时极力抑制飞边的产生。为了抑制飞边的产生，提出了使用水射流加工装置而对被加工物进行分割的方法。该水射流加工装置将水用泵加压而朝向被加工物喷射，从而进行将被加工物的一部分去除等的加工。在专利文献1和专利文献2中公开了沿着封装基板的间隔道(分割预定线)喷射高压水而将封装基板分割成多个芯片的方法。另外，还提出了在被加工物的切削中一边使用切削刀具一边利用水射流将因切削加工而产生的飞边去除的方法。在专利文献3中公开了一种加工装置，其中，在与切削刀具相邻的位置设置有喷射高压水的去飞边喷嘴，该去飞边喷嘴朝向利用切削刀具对被加工物进行切削而形成的切削槽喷射高压水而将飞边去除。专利文献1：日本特开2004-130401号公报专利文献2：日本特开2012-109327号公报专利文献3：日本特开2016-157722号公报在水射流加工装置中安装有从喷射口朝向被加工物喷射高压水的喷射喷嘴。该喷射喷嘴的喷射口的形状和直径根据加工区域的大小、加工区域的形状、被加工物的材质等各种加工条件进行设定，因此当加工条件改变时，需要更换喷射喷嘴。该喷射喷嘴的更换通过对水射流加工装置进行操作的操作者来进行，但在操作者弄错要安装的喷射喷嘴的情况下，会通过错误的喷射喷嘴进行加工，有可能无法适当地对被加工物进行加工而产生不良品。因此，优选在进行了喷射喷嘴的更换之后，对水射流加工装置中是否安装了适当的喷射喷嘴进行确认，从而防止通过错误的喷射喷嘴进行加工。但是，喷射喷嘴安装于复杂地配置有多个部件的水射流加工装置的内部。因此，一旦将喷射喷嘴安装于水射流加工装置，之后就难以对该喷射喷嘴的种类、喷射口的直径等进行确认。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该问题而完成的，其目的在于提供水射流加工装置，即使在将喷射喷嘴安装于水射流加工装置之后，也能够确定所安装的喷射喷嘴。根据本专利技术的一个方式，提供水射流加工装置，其中，该水射流加工装置具有：喷射单元，其以能够装卸的方式安装有喷射喷嘴，该喷射喷嘴将已加压的液体喷射至对被加工物进行保持的卡盘工作台上所保持的该被加工物；移动单元，其使该卡盘工作台和该喷射喷嘴相对地移动；以及喷嘴判定部，其对该喷射喷嘴的直径或面积进行判定，该喷射单元具有泵，该泵根据电动机的转速而对该液体进行加压，该喷嘴判定部具有：电动机转速存储部，其按照该喷射喷嘴的喷射口的直径或面积而存储有为了按照规定的压力从该喷射喷嘴的喷射口喷射该液体而需要的该电动机的转速；判定部，其参照存储于该电动机转速存储部的信息，根据从该喷射喷嘴按照规定的压力喷射了该液体时的该电动机的转速，对喷射了该液体的该喷射喷嘴的喷射口的直径或面积进行判定；以及通知部，其通知该判定部的判定结果。另外，优选该喷射喷嘴判定部还具有喷嘴种类存储部，该喷嘴种类存储部按照该喷射喷嘴的喷射口的直径或面积而存储有该喷射喷嘴的种类，该判定部参照存储于该喷嘴种类存储部的信息，根据已根据该电动机的转速进行了判定的该喷射喷嘴的喷射口的直径或面积，进一步对该喷嘴的种类进行判定，该通知部通知利用该判定部而判定的该喷嘴的种类。另外，优选该水射流加工装置还具有切削单元，该切削单元利用切削刀具对该卡盘工作台上所保持的该被加工物进行切削。另外，优选该泵是柱塞泵，从该喷射喷嘴按照规定的压力喷射该液体时的该电动机的转速是通过输入至与该电动机连接的逆变器的信号而指定的该电动机的转速或是通过与该电动机连接的编码器所检测的该电动机的转速。本专利技术的一个方式的水射流加工装置具有喷嘴判定部，该喷嘴判定部根据与对液体进行加压的泵连接的电动机的转速，确定已安装于水射流加工装置的喷射喷嘴。由此，能够对水射流加工装置中是否安装了适当的喷射喷嘴进行确认，能够防止通过错误的喷射喷嘴对被加工物进行加工而产生加工不良。附图说明图1是示出水射流加工装置的立体图。图2的(A)是示出框架单元的立体图，图2的(B)是示出被加工物的放大立体图。图3是示出水射流单元的局部剖视侧视图。图4的(A)和图4的(B)是示出喷射喷嘴的主视图。图5是示出从喷射喷嘴被喷射的液体的压力与电动机的转速的关系的图表。图6是示出水射流加工装置的外观的立体图。图7是示出通过切削单元进行加工的情况的局部剖视主视图。图8是示出通过水射流单元进行加工的情况的局部剖视主视图。标号说明2：水射流加工装置；4：基台；4a：开口；4b：开口；4c：开口；6：盒支承台；8：盒；10：X轴移动机构；12：工作台罩；14：防尘防滴罩；16：暂放机构；16a、16b：导轨；18：卡盘工作台；18a：保持面；20：夹具；22：切削单元；24：水射流单元；26：支承构造；28a、28b：移动单元；30：Y轴导轨；32a、32b：Y轴移动板；34a、34b：Y轴滚珠丝杠；36：Y轴脉冲电动机；38a、38b：Z轴导轨；40a、40b：Z轴移动板；42a、42b：Z轴滚珠丝杠；44：Z轴脉冲电动机；46a、46b：拍摄单元；48：清洗单元；50：喷射喷嘴；50a：喷射口；52：液体；54：罩；54a：开口；54b：缘；54c：开口；56：管；60：泵单元；62：泵；64：流量控制单元；66：电动机；68：逆变器；70：编码器；72：液体提供源；80：控制部；82：流量控制部；84：加压控制部；90：喷嘴判定部；92：电动机转速存储部；94：喷嘴种类存储部；96：判定部；98：通知部；100：喷射喷嘴；100a：喷射口；100b：流路；102：喷射喷嘴；102a：喷射口；102b：流路；110：罩；112：监视器；114：显示灯；120：主轴；122：切削刀具；11：被加工物；11a：切削槽；13：基板；13a：正面；13b：背面；15：树脂层；15a：正面；15b：凹部；17：粘接带；19：环状框架；21：框架单元；23：间隔道。具体实施方式以下，参照附图对本实施方式进行说明。图1是示出本实施方式的水射流加工装置2的立体图。水射流加工装置2通过切削刀具对被加工物进行切削，并且将已加压的液体喷射至被加工物而对被加工物进行加工。另外，在图1中，用块示出水射流加工装置2的结构的一部分。水射流加工装置2具有对构成水射流加工装置2的各构成要素进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水射流加工装置，其中，/n该水射流加工装置具有：/n喷射单元，其以能够装卸的方式安装有喷射喷嘴，该喷射喷嘴将已加压的液体喷射至对被加工物进行保持的卡盘工作台上所保持的该被加工物；/n移动单元，其使该卡盘工作台和该喷射喷嘴相对地移动；以及/n喷嘴判定部，其对该喷射喷嘴的直径或面积进行判定，/n该喷射单元具有泵，该泵根据电动机的转速而对该液体进行加压，/n该喷嘴判定部具有：/n电动机转速存储部，其按照该喷射喷嘴的喷射口的直径或面积而存储有为了按照规定的压力从该喷射喷嘴的喷射口喷射该液体而需要的该电动机的转速；/n判定部，其参照存储于该电动机转速存储部的信息，根据从该喷射喷嘴按照规定的压力喷射了该液体时的该电动机的转速，对喷射了该液体的该喷射喷嘴的喷射口的直径或面积进行判定；以及/n通知部，其通知该判定部的判定结果。/n

【技术特征摘要】
20180529 JP 2018-1020311.一种水射流加工装置，其中，
该水射流加工装置具有：
喷射单元，其以能够装卸的方式安装有喷射喷嘴，该喷射喷嘴将已加压的液体喷射至对被加工物进行保持的卡盘工作台上所保持的该被加工物；
移动单元，其使该卡盘工作台和该喷射喷嘴相对地移动；以及
喷嘴判定部，其对该喷射喷嘴的直径或面积进行判定，
该喷射单元具有泵，该泵根据电动机的转速而对该液体进行加压，
该喷嘴判定部具有：
电动机转速存储部，其按照该喷射喷嘴的喷射口的直径或面积而存储有为了按照规定的压力从该喷射喷嘴的喷射口喷射该液体而需要的该电动机的转速；
判定部，其参照存储于该电动机转速存储部的信息，根据从该喷射喷嘴按照规定的压力喷射了该液体时的该电动机的转速，对喷射了该液体的该喷射喷嘴的喷射口的直径或面积进行判定；以及
通知部，其通知该判定部的判...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐藤亮太，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP