一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极制造技术

本实用新型专利技术涉及一种电极，具体是一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管及设置在加热管下端的电极，所述加热管设置在真空腔体内部；所述电极通过安装法兰固定在真空腔体下端，电极上端贯穿在真空腔体内部，电极上端设有导电柱，导电柱和加热管为可拆卸式连接。本实用新型专利技术加热管与电极螺纹配合安装，方便拆卸，利于加热管更换维修；大气环境的电流通过电极传导给真空腔体内部真空环境中的加热管，进行工作。进而解决了传统的电极和加热管焊接为一体造成拆卸更换维修不便的问题。

A vacuum heating coil electrode for atomic layer deposition equipment

The utility model relates to an electrode, in particular to a vacuum heating coil electrode for an atomic layer deposition device, which comprises a heating pipe and an electrode arranged at the lower end of the heating pipe, the heating pipe is arranged inside the vacuum chamber; the electrode is fixed at the lower end of the vacuum chamber through a mounting flange, the upper end of the electrode is penetrated inside the vacuum chamber, the upper end of the electrode is provided with a conductive column, and the conductive column And heating pipe is detachable connection. The heating pipe and the electrode thread of the utility model are installed in coordination, which is convenient for disassembly and replacement and maintenance of the heating pipe; the current in the atmospheric environment is transmitted to the heating pipe in the vacuum environment inside the vacuum cavity through the electrode to work. Furthermore, the traditional electrode and heating pipe are welded together, which makes the disassembly, replacement and maintenance inconvenient.

【技术实现步骤摘要】
一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极
本技术涉及一种电极，具体是一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极。
技术介绍
原子层沉积，是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。电极，电子或电器装置、设备中的一种部件，用做导电介质(固体、气体、真空或电解质溶液)中输入或导出电流的两个端。输入电流的一极叫阳极或正极，放出电流的一极叫阴极或负极。应用在原子层沉积设备中的空式电极是通过大气和真空腔体式的常用连接，已存在的技术是把电极和加热管焊接为一体，在维修空间比较大的地方经常所见。然而对一些小的腔体和维修空间较窄的地方，电极和加热管焊接为一体，进而会造成拆卸更换维修不便的问题。为解决上述问题，特提出了一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管及设置在加热管下端的电极，所述加热管设置在真空腔体内部；所述电极通过安装法兰固定在真空腔体下端，电极上端贯穿在真空腔体内部，电极上端设有导电柱，导电柱和加热管为可拆卸式连接。为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述导电柱和加热管为螺纹连接。为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述导电柱和加热管为限位销穿插连接。为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述导电柱的材质为铜。为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述电极外部包裹一层绝缘材料。为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述绝缘材料为陶瓷。为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述电极和安装法兰为一体式焊接固定，电极和安装法兰连接处铺设有过渡焊接材料，安装法兰和真空腔体通过紧固件固定。为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述过渡焊接材料为可伐合金。为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述紧固件是由螺栓和螺母构成。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术加热管与电极螺纹配合安装，方便拆卸，利于加热管更换维修；大气环境的电流通过电极传导给真空腔体内部真空环境中的加热管，进行工作。附图说明图1为本技术用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的结构示意图。图中：1-加热管；2-真空腔体；3-紧固件；4-安装法兰；5-电极；6-导电柱；7-绝缘材料。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。请参阅图1，本技术提供一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极。实施例1如图1所示，本技术实施例中，一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管1及设置在加热管1下端的电极5，所述加热管1设置在真空腔体2内部；所述电极5通过安装法兰4固定在真空腔体2下端，电极5上端贯穿在真空腔体2内部，电极5上端设有导电柱6，导电柱6和加热管1为可拆卸式连接。进一步的，所述导电柱6和加热管1为螺纹连接。进一步的，所述导电柱6的材质为铜。进而加热管1与电极5螺纹配合安装，方便拆卸，利于加热管1更换维修；大气环境的电流通过电极5传导给真空腔体2内部真空环境中的加热管1，进行工作。为了避免电流传导到安装法兰4上进而引起漏电的情况，所述电极5外部包裹一层绝缘材料7。进一步的，所述绝缘材料7为陶瓷。实施例2一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，如图1所示，本技术实施例是在实施例1的基础上进行的进一步的限定。所述导电柱6和加热管1为限位销穿插连接。所述电极5和安装法兰4为一体式焊接固定，电极5和安装法兰4连接处铺设有过渡焊接材料，安装法兰4和真空腔体2通过紧固件3固定。进一步的，所述过渡焊接材料为可伐合金。进一步的，所述紧固件3是由螺栓和螺母构成。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管（1）及设置在加热管（1）下端的电极（5），其特征在于，所述加热管（1）设置在真空腔体（2）内部；所述电极（5）通过安装法兰（4）固定在真空腔体（2）下端，电极（5）上端贯穿在真空腔体（2）内部，电极（5）上端设有导电柱（6），导电柱（6）和加热管（1）为可拆卸式连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管（1）及设置在加热管（1）下端的电极（5），其特征在于，所述加热管（1）设置在真空腔体（2）内部；所述电极（5）通过安装法兰（4）固定在真空腔体（2）下端，电极（5）上端贯穿在真空腔体（2）内部，电极（5）上端设有导电柱（6），导电柱（6）和加热管（1）为可拆卸式连接。


2.根据权利要求1所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述导电柱（6）和加热管（1）为螺纹连接。


3.根据权利要求1所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述导电柱（6）和加热管（1）为限位销穿插连接。


4.根据权利要求1所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述导电柱（6）的材质为铜。

【专利技术属性】
技术研发人员：逯文冬，郑锦，耿晨宇，黄省三，
申请(专利权)人：南京原磊纳米材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32