氧化物粉末制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种氧化物粉末制造装置，包括：反应器，用于加热固体状态的反应物质，以蒸发所述反应物质；送风机，用于向所述反应器内部供应氧气，以氧化所述反应物质；一个以上的捕集单元，利用压力差从被氧化的所述反应物质中蒸发的液滴状态的氧化物捕集氧化物粉末；移送管，配置于所述捕集单元和所述反应器之间，用于使液滴状态的所述氧化物移动；控制器，用于控制所述送风机、所述反应器、所述移送管以及所述捕集单元；以及盖单元，配置于所述反应器上，用于使所述反应器中生成的液滴状态的氧化物粉末传送到所述移送管；在所述盖单元形成有空气注入口，所述空气注入口用于向所述反应器投放从所述送风机传送的空气或氧气。

Oxide powder manufacturing plant

The invention provides an oxide powder manufacturing device, which includes: a reactor for heating the solid state reactant to evaporate the reactant; a blower for supplying oxygen to the reactor interior to oxidize the reactant; more than one catching unit for capturing the oxide in the droplet state evaporated from the oxidized reactant by using the pressure difference Collecting oxide powder; transfer tube, arranged between the capture unit and the reactor, for moving the oxide in the droplet state; controller, for controlling the blower, the reactor, the transfer tube and the capture unit; and cover unit, arranged on the reactor, for making the oxide powder in the droplet state generated in the reactor The air injection port is formed in the cover unit, which is used to deliver air or oxygen transmitted from the blower to the reactor.

【技术实现步骤摘要】
氧化物粉末制造装置
本专利技术涉及氧化物粉末制造装置及其制造方法，更具体而言涉及一种将固状的反应物质蒸发为液滴(droplet)状态，以制造凝聚性小且大小均匀的氧化物粉末的氧化物粉末制造装置。
技术介绍
一般而言，溅射法被认知为是制造薄膜的方法之一。溅射法是指，通过对溅射靶材进行溅射来在基板上形成薄膜的方法，该方法具有容易实现大面积化、能够有效率地制造出高性能的薄膜的优点。并且，最近作为溅射方式还提出有向反应性气体实施溅射的反应性溅射法，或者在靶材的内面设置磁铁以促进薄膜形成的高速化的磁控溅射法等。在这样的溅射法中使用的薄膜中，尤其是氧化铟-氧化锡(In2O3-SnO2的复合氧化物，以下称为“ITO”)膜的可视光透过性高且导电性高，因此作为透明导电膜广泛地使用为液晶显示装置或玻璃的防结露用发热膜、红外线反射膜等。正因为如此，为了更加有效率地形成膜，积极展开有溅射条件或溅射装置等相关的研究。并且，这样的ITO溅射中存在有从设置新的溅射靶材后到因初始电弧(异常放电)消失而可以制造产品为止的时间较短，以及在设置一次后能够使用何种程度期间(累算溅射时间：靶材寿命)的问题。这样的ITO溅射靶材通过按规定的比率混合氧化铟粉末及氧化锡粉末后，进行干式或湿式工艺来制造，为了获得高密度的ITO烧结体，需要提供高分散性的氧化铟粉末和氧化锡粉末。如上所述的制造氧化物粉末的方法中大部分采用的方式是，在水溶液状态下获取氢氧化物后，对其进行煅烧而获得氧化物粉末，或者，向水溶液内施加超声波来合成氢氧化物后，对其进行沉淀、清洗、煅烧的湿式合成工艺来制造。但是，在如上所述的氧化物粉末制造方法中，对数nm～数十nm的中间化合物进行煅烧处理，以实现金属离子分离、氧化、结晶化的目的，因此，被激活的粒子间将形成基于扩散现象的瓶颈(Neck)，从而增加粉末间的凝聚性并降低氧化物粉末的特性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种氧化物粉末制造装置，将固状的反应物质进行加热，以将氧化物蒸发为液滴状态后捕集氧化物粉末，从而能够以可与其它氧化物粉末实现界面比调节的大小制造氧化物粉末。并且，本专利技术的目的在于提供一种氧化物粉末制造装置，通过加热反应物质后，注入氧气或者空气来氧化表面，然后将氧化物形成为液滴状态，然后利用压力差来捕集氧化物粉末，从而降低氧化物粉末的凝聚性(高分散性)。为了实现如上所述的目的，本专利技术的实施例的氧化物粉末制造装置包括：反应器，用于加热固体状态的反应物质，以蒸发所述反应物质；送风机，用于向所述反应器内部供应氧气，以氧化所述反应物质；一个以上的捕集单元，利用压力差从被氧化的所述反应物质中蒸发的液滴状态的氧化物捕集氧化物粉末；移送管，配置于所述捕集单元和所述反应器之间，用于使液滴状态的所述氧化物移动；控制器，用于控制所述送风机、所述反应器、所述移送管以及所述捕集单元；以及盖单元，配置于所述反应器上，用于使所述反应器中生成的液滴状态的氧化物粉末传送到所述移送管；在所述盖单元形成有空气注入口，所述空气注入口用于向所述反应器投放从所述送风机传送的空气或氧气。附图说明图1是本专利技术的氧化物粉末制造装置的概略图。图2至图4是示出配置于本专利技术的氧化物粉末制造装置的反应器的结构的图。图5是示出配置于本专利技术的氧化物粉末制造装置的反应器的温度对应的氧化物粉末的特性的图。图6是示出本专利技术的氧化物粉末制造装置中利用移送管来连接反应器和捕集单元的情形的图。图7至图10是用于说明本专利技术的反应器的盖单元的图。图11是根据本实施例的按照吐出反应器的氧化物粉末的吐出部的条件来分析粉末特性的表。图12是示出本专利技术的氧化物粉末制造装置的捕集单元的连接结构的图。图13是示出由本专利技术的氧化物粉末制造装置制造的氧化物粉末的SEM照片。图14是示出利用本专利技术的氧化物粉末制造装置制造氧化物粉末的步骤的流程图。附图标记的说明100：氧化物粉末制造装置110：反应器120：捕集单元130：移送管170：送风机180：控制器具体实施方式关于本专利技术将与附图一同进行详细的说明。图1是本专利技术的氧化物粉末制造装置的图。参照图1，本专利技术的氧化物粉末制造装置100包括：反应器110；一个以上的捕集单元120；移送管130。所述反应器110执行对固状(固体)的反应物质进行加热，以将其蒸发为液滴状态的氧化物的作用。所述捕集单元120准备一个以上，其执行捕集(collect)所述反应器110中生成的液滴状态的氧化物的作用。此外，在所述反应器110和捕集单元120之间配置移送管130。所述移送管130也可以配置于各捕集单元之间，其将成为供液滴状态的氧化物移动的通道。其中，所述一个以上的捕集单元120可以彼此串联连接，或者彼此并联连接。详细而言，在所述反应器110的上部配置送风机170，所述送风机170通过对被加热的反应物质的表面进行氧化，以将氧化物蒸发为液滴状态。所述捕集单元120包括：循环部120a，用于使通过所述移送管130供应的液滴状态的氧化物进行循环；以及捕集部120b，用于在所述循环部120a下侧捕集氧化物粉末。此外，在所述循环部120a构成有提供动力以供液晶状态的氧化物进行循环的电机部140a，在所述循环部120a和捕集部120b之间可以还配置过滤器部140b。并且，所述送风机170、反应器110、捕集单元120以及移送管130可以由控制器180进行控制。例如，可以由所述控制器180控制从所述送风机170吹送空气的流速/压力以及时间条件、所述反应器110的加热温度及压力条件、所述捕集单元120的循环部120a和捕集部120b动作、用于将所述液滴状态的氧化物移动到捕集单元120而所需的移送管130的温度条件等。利用具有如上所述的结构的本专利技术的氧化物粉末制造装置100来制造氧化物粉末的方法如下。其中，虽然假设为氧化物以氧化锡SnO2为例进行说明，但是本专利技术并不限定于此。因此，氧化物也可以是氧化铟In2O3、氧化镓Ga2O3，这些可以与制造氧化锡粉末的方式相同的方式以粉末形态进行捕集。首先，当向所述反应器110供应反应物质时，所述控制器180进行所述反应器110的加热动作。根据所述控制器180的输入信息，所述反应器110的加热温度可以是1000～1600℃范围。尤其是，本专利技术的氧化物粉末制造装置100中使用的反应器110被划分为多个区域(Zone)并进行加热，能够在反应器110内部的全体区域中维持相同的加热温度。当所述反应器110被加热时，反应器110内的反应物质从固体状态达到液滴状态。即，达到能够蒸发的状态。所述送风机170向反应器110内以1～100[m/sec]范围的流速供应空气或氧气。所述反应物质的表面在通过所述送风机170供应的氧气(或者空气)的作用下引起表面氧化，所述反应物质的表面氧化物将以液滴状态本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氧化物粉末制造装置，其中，/n包括：/n反应器，用于加热固体状态的反应物质，以蒸发所述反应物质；/n送风机，用于向所述反应器内部供应氧气，以氧化所述反应物质；/n一个以上的捕集单元，利用压力差从被氧化的所述反应物质中蒸发的液滴状态的氧化物捕集氧化物粉末；/n移送管，配置于所述捕集单元和所述反应器之间，用于使液滴状态的所述氧化物移动；/n控制器，用于控制所述送风机、所述反应器、所述移送管以及所述捕集单元；以及/n盖单元，配置于所述反应器上，用于使所述反应器中生成的液滴状态的氧化物粉末传送到所述移送管，/n在所述盖单元形成有空气注入口，所述空气注入口用于向所述反应器投放从所述送风机传送的空气或氧气。/n

【技术特征摘要】
20180528 KR 10-2018-00602211.一种氧化物粉末制造装置，其中，
包括：
反应器，用于加热固体状态的反应物质，以蒸发所述反应物质；
送风机，用于向所述反应器内部供应氧气，以氧化所述反应物质；
一个以上的捕集单元，利用压力差从被氧化的所述反应物质中蒸发的液滴状态的氧化物捕集氧化物粉末；
移送管，配置于所述捕集单元和所述反应器之间，用于使液滴状态的所述氧化物移动；
控制器，用于控制所述送风机、所述反应器、所述移送管以及所述捕集单元；以及
盖单元，配置于所述反应器上，用于使所述反应器中生成的液滴状态的氧化物粉末传送到所述移送管，
在所述盖单元形成有空气注入口，所述空气注入口用于向所述反应器投放从所述送风机传送的空气或氧气。


2.根据权利要求1所述的氧化物粉末制造装置，其中，
所述盖单元包括用于将所述液滴状态的氧化物粉末向所述移送管传送的投放部，
所述投放部由以隔开规定间隔的方式配置的多个投放孔构成。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：金泰石，张信翼，金石渊，李雅凛，
申请(专利权)人：德邦新材料股份公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR