高速高低温冲击试验气体控制系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种高速高低温冲击试验气体控制系统，包括气源、主气路、第一支气路、制冷器、加热器、头罩及第二支气路，所述主气路的输入端与所述气源连通，所述主气路的输出端分别与所述第一支气路及第二支气路的输入端连通；所述制冷器及所述加热器依次设置于所述第一支气路上；所述头罩设有内腔及位于所述内腔外围的隔层，所述第一支气路的输出端与所述内腔连通，所述第二支气路的输出端与所述隔层连通。本实用新型专利技术高速高低温冲击试验气体控制系统具有快速调温，温度控制能力强，节能效果好的优点。

Gas control system of high speed, high temperature and low temperature impact test

The utility model discloses a high-speed high-low temperature impact test gas control system, which comprises a gas source, a main gas path, a first gas path, a refrigerator, a heater, a head cover and a second gas path. The input end of the main gas path is connected with the gas source, and the output end of the main gas path is respectively connected with the input end of the first gas path and the second gas path; the refrigerator and the heating The head cover is provided with an inner cavity and a partition layer at the periphery of the inner cavity. The output end of the first air circuit is connected with the inner cavity, and the output end of the second air circuit is connected with the partition layer. The high-speed, high-temperature and low-temperature impact test gas control system of the utility model has the advantages of fast temperature regulation, strong temperature control ability and good energy-saving effect.

【技术实现步骤摘要】
高速高低温冲击试验气体控制系统
本技术涉及一种试验设备，尤其涉及一种高速高低温冲击试验气体控制系统。
技术介绍
为了保证半导体元件使用的可靠性以及使用寿命，在生产半导体元件后需要对其做高速高低温冲击试验，通常采用的试验设备是高低温试验箱和热冲击试验箱。进行高低温试验时，将样品放在封闭的试验箱内，通过电加热器加热，或制冷压缩机组制冷来检验样品的性能。进行热冲击试验时，需要将样品在高温环境和低温环境来回切换，检验样品的性能。对于热冲击试验箱目前普遍采用的有两种结构形式，一种为吊篮式，具有高温箱和低温箱两个试验箱，试验样品放在吊篮中，吊篮在高温箱和低温箱中来回移动停留。另一种是气道式冲击箱，设备有三个箱体，高温箱、低温箱与样品箱，通过气道相连，样品通过气道与高温箱低温箱交替相通。然而，现有的高低温试验箱及热冲击试验箱的箱体空间都较大，并且对半导体元件批量地试验，因此，在高温及低温切换过程需要等待的时间较长，无法快速调温，并且消耗较大的电能，节能效果很差。另外，这种方式对于温度的控制能力较差，温度控制的精确性较低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能快速调温，温度控制能力强，节能效果好的高速高低温冲击试验气体控制系统。为了实现上述目的，本技术提供的高速高低温冲击试验气体控制系统包括气源、主气路、第一支气路、制冷器、加热器、头罩及第二支气路，所述主气路的输入端与所述气源连通，所述主气路的输出端分别与所述第一支气路及第二支气路的输入端连通；所述制冷器及所述加热器依次设置于所述第一支气路上；所述头罩设有内腔及位于所述内腔外围的隔层，所述第一支气路的输出端与所述内腔连通，所述第二支气路的输出端与所述隔层连通。与现有技术相比，由于本技术利用通过设置第一支气路及第二支气路，将所述第一支气路与所述头罩的内腔连通，并且将所述制冷器及所述加热器设置于所述第一支气路上，从而可以使所述第一支气路能对高速气体快速加热或制冷，进而直接从所述第一支气路的输出端通入到所述头罩的内腔内，对内腔内的试验样品进行高速高、低温冲击试验；由于所述头罩的内腔空间较小，每次只对单个或少量的试验样品进行试验，因此，可以对内腔快速调温，温度控制精确。另外，又通过将第二支气路与所述头罩的隔层连通，所述第二支气路的气体从隔层流过可以达到两个作用，第一可以阻止内腔的热量或冷量向头罩的外层的外表面传递，从防止头罩的外表面温度过高烫伤人手或温度过低冻伤人手；第二可以防止冷量向头罩的外层的外表面传递后使外表面凝结水或冰，从而保证通过头罩的玻璃可透视到内部。较佳地，所述主气路上设有前处理设备。所述前处理设备可以对气源提供的气体进行前处理，保证进入到所述内腔的气体符合试验的要求。具体地，所述前处理设备包括去油器、过滤器和/或干燥器。较佳地，在所述第一支气路上且在所述制冷器之前依次设有第一节流阀和/或第一电磁阀和/或单向阀。通过设置第一节流阀和/或第一电磁阀和/或单向阀，可以对第一支气路进行开、关和/或调速、调压。较佳地，在所述第一支气路上且在所述制冷器之前设有流量计，所述流量计与所述制冷器相邻。较佳地，所述第二支气路上依次设有第二电磁阀和/或第一手动阀。较佳地，所述高速高低温冲击试验气体控制系统还包括第三支气路，所述第三支气路的输入端与所述主气路的输出端连通，所述第三支气路的输出端与所述制冷器的输入端连通；所述第三支气路上依次设有第三电磁阀和/或第二手动阀。所述第三支气路可以在试验机停机时用于冷却第一支气路的温度以及冷却加热器内的发热丝，保证使用的安全性。较佳地，所述高速高低温冲击试验气体控制系统还包括第四支气路，所述第四支气路的输入端与所述主气路的输出端连通，所述第四支气路的输出端与驱动所述头罩移动的气缸连通；所述第四支气路上依次设有第四电磁阀和/或第二节流阀。具体地，在所述第四支气路上设有调压阀，所述调压阀位于所述第四电磁阀之前。较佳地，所述高速高低温冲击试验气体控制系统还包括备用气路，所述备用气路的输入端与所述主气路的输出端连通；所述备用气路上设有第三手动阀。所述备用气路可以作为后备气源，并根据需要使用。较佳地，所述制冷器的输出端与所述加热器的输入端之间设有用于排水的第五支路，所述第五支路上设有排水开关。具体地，所述第五支路的水平高度低于流入所述加热器的管路的水平高度。较佳地，所述制冷器包括压缩机、冷凝器及蒸发器，所述压缩机的输出端与所述冷凝器的输入端连接，所述冷凝器的输出端与所述蒸发器的输入端连接，所述蒸发器的输出端与所述压缩机的输入端连接；所述压缩机与所述蒸发器的输入端之间还设有用于除冰的第六支路，所述第六支路上设有除冰开关。附图说明图1是本技术高速高低温冲击试验气体控制系统的示意图。图2是本技术高速高低温冲击试验气体控制系统连接气缸及头罩的示意图。图3是本技术高速高低温冲击试验气体控制系统的制冷器的示意图。具体实施方式为详细说明本技术的
技术实现思路
、构造特征、所实现的效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。如图1、图2所示，本技术高速高低温冲击试验气体控制系统100用于对高速低温冲击试验机供气，所述高速低温冲击试验机具有试验平台200，所述高速高低温冲击试验气体控制系统100包括气源1、主气路2、第一支气路3、制冷器4、加热器5、头罩6及第二支气路7，所述头罩6通过一气缸400控制实现上下可移动，所述头罩6可罩设于所述试验平台200后形成试验空间，试验样品即可放置于试验空间内进行试验。所述主气路2的输入端与所述气源1连通，所述主气路2的输出端分别与所述第一支气路3及第二支气路7的输入端连通；所述制冷器4及所述加热器5依次设置于所述第一支气路3上；所述头罩6设有内腔61及位于所述内腔61外围的隔层62，所述第一支气路3的输出端与所述内腔61连通，所述第二支气路7的输出端与所述隔层62连通。再如图1所示，所述主气路2上设有前处理设备。所述前处理设备包括去油器、过滤器21和/或干燥器22。所述前处理设备可以对气源1提供的气体进行前处理，保证进入到所述内腔61的气体符合试验的要求。具体地，本技术的前处理设备包括沿主气路2输送方向依次设置的去油器、过滤器21和干燥器22。所述去油器可以对气体去油；所述过滤器21可以对气体除尘以及去除水气，所述干燥器22可以对气体干燥，进一步去除气体的水分子。请再参阅图1，在所述第一支气路3上且在所述制冷器4之前依次设有第一节流阀31和/或第一电磁阀32和/或单向阀33。本技术依次设有第一节流阀31、第一电磁阀32和单向阀33。第一节流阀31以对第一支气路3进行调速、调压。所述第一电磁阀32可以对第一支气路3自动开或关；所述单向阀33可以防止气体倒流。在所述第一支气路3上且在所述制冷器4之前还设有流量计34，所述流量计34位于所述单向阀33与所述制冷器4之间。所述流量计34可以实时显示进入制冷器4的流量，以方便本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高速高低温冲击试验气体控制系统，其特征在于：包括气源、主气路、第一支气路、制冷器、加热器、头罩及第二支气路，所述主气路的输入端与所述气源连通，所述主气路的输出端分别与所述第一支气路及第二支气路的输入端连通；所述制冷器及所述加热器依次设置于所述第一支气路上；所述头罩设有内腔及位于所述内腔外围并与外部连通的隔层，所述第一支气路的输出端与所述内腔连通，所述第二支气路的输出端与所述隔层连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种高速高低温冲击试验气体控制系统，其特征在于：包括气源、主气路、第一支气路、制冷器、加热器、头罩及第二支气路，所述主气路的输入端与所述气源连通，所述主气路的输出端分别与所述第一支气路及第二支气路的输入端连通；所述制冷器及所述加热器依次设置于所述第一支气路上；所述头罩设有内腔及位于所述内腔外围并与外部连通的隔层，所述第一支气路的输出端与所述内腔连通，所述第二支气路的输出端与所述隔层连通。


2.如权利要求1所述的高速高低温冲击试验气体控制系统，其特征在于：所述主气路上设有前处理设备。


3.如权利要求2所述的高速高低温冲击试验气体控制系统，其特征在于：所述前处理设备包括去油器、过滤器和/或干燥器。


4.如权利要求1所述的高速高低温冲击试验气体控制系统，其特征在于：在所述第一支气路上且在所述制冷器之前依次设有第一节流阀和/或第一电磁阀和/或单向阀。


5.如权利要求1或4所述的高速高低温冲击试验气体控制系统，其特征在于：在所述第一支气路上且在所述制冷器之前设有流量计，所述流量计与所述制冷器相邻。


6.如权利要求1所述的高速高低温冲击试验气体控制系统，其特征在于：所述第二支气路上依次设有第二电磁阀和/或第一手动阀。


7.如权利要求1所述的高速高低温冲击试验气体控制系统，其特征在于：所述高速高低温冲击试验气体控制系统还包括第三支气路，所述第三支气路的输入端与所述主气路的输出端连通，所述第三支气路的输出端与所述制冷器的输入端连通；所述第三支气路上...

【专利技术属性】
技术研发人员：田华伟，
申请(专利权)人：东莞市伟煌试验设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44