高精度气溶胶粒径浓度测量仪制造技术

本实用新型专利技术提供的高精度气溶胶粒径浓度测量仪，包括颗粒发生器、流速控制器、三维微调器、光源、光源控制器、显微物镜、线阵CCD和终端；颗粒发生器与流速控制器连接；流速控制器与三维微调器连接；光源控制器与光源连接；光源设置在三维微调器上；线阵CCD通过显微物镜与三维微调器连接；终端与线阵CCD建立通信连接。本实用新型专利技术提供的一种高精度气溶胶粒径浓度测量仪，通过颗粒发生器、流速控制器、三维微调器为颗粒粒径浓度的测量搭建环境；通过光源对流至三维微调器的颗粒进行打光，通过显微物镜的放大作用以供线阵CCD获取优质信号；采用线阵CCD对颗粒成像处理，精确地对每个颗粒进行成像，避免了漏检的情况，提高了粒径浓度测量的精度。

High precision aerosol particle size concentration meter

The high-precision aerosol particle size concentration measuring instrument provided by the utility model includes a particle generator, a flow controller, a three-dimensional trimmer, a light source, a light source controller, a micro objective lens, a linear CCD and a terminal; a particle generator is connected with a flow controller; a flow controller is connected with a three-dimensional trimmer; a light source controller is connected with a light source; a light source is arranged on a three-dimensional trimmer; a linear array C The CD is connected with the three-dimensional trimmer through the microscope objective, and the terminal is connected with the linear CCD. The utility model provides a high-precision aerosol particle size concentration measuring instrument, which sets up an environment for measuring particle size concentration through particle generator, flow controller and three-dimensional trimmer; the particles flowing to the three-dimensional trimmer are polished by light source, and the high-quality signal is obtained by the linear CCD through the amplification function of the micro objective lens; the particle image is processed by linear CCD, which is accurate The imaging of each particle can avoid missing detection and improve the accuracy of particle size concentration measurement.

【技术实现步骤摘要】
高精度气溶胶粒径浓度测量仪
本技术涉及光电检测领域，更具体的，涉及一种高精度气溶胶粒径浓度测量仪。
技术介绍
目前，在光学、大气环境检测、材料等领域最受重视的是颗粒特征的检测。其中，颗粒粒径以及浓度的测量尤为关键，颗粒的粒径及其浓度的测量是对颗粒最基本也是最重要的方面。在很多产业中，对工作环境颗粒的粒径大小以及浓度都有非常精确的要求。比如光学器件制造工艺中的超净室就对室内环境的颗粒具有空气洁净度的评判标准，每立方米空气粒径大于等于0.1微米的微粒数不能超过1000个。但现有的粒径浓度测量仪由于价格昂贵得不到很好的普及，且现有的测量仪测量精度低，无法准确测量到粒径的浓度。
技术实现思路
本技术为克服现有的粒径浓度测量仪存在测量精度低，无法准确测量到粒径的浓度的技术缺陷，提供一种高精度气溶胶粒径浓度测量仪。为解决上述技术问题，本技术的技术方案如下：高精度气溶胶粒径浓度测量仪，包括颗粒发生器、流速控制器、三维微调器、光源、光源控制器、显微物镜、线阵CCD和终端；其中：所述颗粒发生器通过导管与所述流速控制器连接；所述流速控制器通过导管与所述三维微调器连接；所述光源控制器与所述光源连接；所述光源设置在所述三维微调器上；所述线阵CCD通过所述显微物镜与所述三维微调器连接；所述终端与所述线阵CCD建立通信连接。其中，所述光源为半导体紫外激光源，所述的线阵CCD即为电荷耦合器件。其中，所述三维微调器用于所述光源X方向、Y方向、Z方向位置的微调。其中，所述颗粒发生器、流速控制器、三维微调器的导管连接处均设置有密封胶。其中，所述终端与所述线阵CCD通过USB接口进行通信连接。其中，所述终端主体为图像处理系统，所述图像处理系统通过所述线阵CCD所拍摄的数据，得到对应的数据pix、C，完成对区域内气溶胶颗粒粒径以及浓度的测量；其中，所述数据pix为1微米颗粒所占像素宽度参量，所述数据C为气溶胶浓度参量。上述方案中，测量人员通过摇匀1微米的国家标准颗粒，并将其用蒸馏水稀释，将其均匀地分散在颗粒发生器中，通过颗粒发生器使颗粒通过连接的管道进入导管中，经过流速控制器后颗粒将缓慢地进入三维微调器中，即在线阵CCD的成像区域中，出射的图像信号直接呈现在终端的图像处理系统中。上述方案中，调整所述三维微调器中X方向、Y方向、Z方向的旋钮，以及光源控制器中光强旋钮使线阵CCD能输出优质信号至图像处理系统中。即能在图像处理系统中观测到颗粒经过线阵CCD的成像区域时，有明显的波峰波谷。上述方案中，所述图像处理系统通过所述线阵CCD所拍摄的数据，得到对应的数据pix、C，完成对区域内气溶胶颗粒粒径以及浓度的测量；其中，所述数据pix为1微米颗粒所占像素宽度参量，所述数据C为气溶胶浓度参量。与现有技术相比，本技术技术方案的有益效果是：本技术提供的一种高精度气溶胶粒径浓度测量仪，通过颗粒发生器、流速控制器、三维微调器为颗粒粒径浓度的测量搭建了环境；通过光源对流至三维微调器的颗粒进行打光，通过显微物镜的放大作用以供线阵CCD获取优质信号；采用线阵CCD对颗粒成像处理，精确地对每个颗粒进行成像，避免了漏检的情况，大大提高了粒径浓度测量的精度。附图说明图1为高精度气溶胶粒径浓度测量仪结构示意图。其中：1、颗粒发生器；2、流速控制器；3、三维微调器；4、光源；5、光源控制器；6、显微物镜；7、线阵CCD；8、终端。具体实施方式附图仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制；为了更好说明本实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。下面结合附图和实施例对本技术的技术方案做进一步的说明。实施例1如图1所示，高精度气溶胶粒径浓度测量仪，包括颗粒发生器1、流速控制器2、三维微调器3、光源4、光源控制器5、显微物镜6、线阵CCD7和终端8；其中：所述颗粒发生器1通过导管与所述流速控制器2连接；所述流速控制器2通过导管与所述三维微调器3连接；所述光源控制器5与所述光源4连接；所述光源4设置在所述三维微调器3上；所述线阵CCD7通过所述显微物镜6与所述三维微调器3连接；所述终端8与所述线阵CCD7建立通信连接。更具体的，所述光源4为半导体紫外激光源。更具体的，所述三维微调器3用于所述光源4X方向、Y方向、Z方向位置的微调。更具体的，所述颗粒发生器1、流速控制器2、三维微调器3的导管连接处均设置有密封胶。更具体的，所述终端8与所述线阵CCD7通过USB接口进行通信连接。更具体的，所述终端8主体为图像处理系统，所述图像处理系统通过所述线阵CCD7所拍摄的数据，得到对应的数据pix、C，完成对区域内气溶胶颗粒粒径以及浓度的测量；其中，所述数据pix为1微米颗粒所占像素宽度参量，所述数据C为气溶胶浓度参量。在具体实施过程中，测量人员通过摇匀1微米的国家标准颗粒，并将其用蒸馏水稀释，将其均匀地分散在颗粒发生器1中，通过颗粒发生器1使颗粒通过连接的管道进入导管中，经过流速控制器2后颗粒将缓慢地进入三维微调器3中，即在线阵CCD7的成像区域中，出射的图像信号直接呈现在终端8的图像处理系统中。在具体实施过程中，调整所述三维微调器3中X方向、Y方向、Z方向的旋钮，以及光源控制器5中光强旋钮使线阵CCD7能输出优质信号至图像处理系统中。即能在图像处理系统中观测到颗粒经过线阵CCD7的成像区域时，有明显的波峰波谷。在具体实施过程中，所述图像处理系统通过所述线阵CCD7所拍摄的数据，得到对应的数据pix、C，完成对区域内气溶胶颗粒粒径以及浓度的测量；其中，所述数据pix为1微米颗粒所占像素宽度参量，所述数据C为气溶胶浓度参量。在具体实施过程中，一种高精度气溶胶粒径浓度测量仪，通过颗粒发生器1、流速控制器2、三维微调器3为颗粒粒径浓度的测量搭建了环境；通过光源4对流至三维微调器3的颗粒进行打光，通过显微物镜6的放大作用以供线阵CCD7获取优质信号；采用线阵CCD7对颗粒成像处理，精确地对每个颗粒进行成像，避免了漏检的情况，大大提高了粒径浓度测量的精度。显然，本技术的上述实施例仅仅是为清楚地说明本技术所作的举例，而并非是对本技术的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术权利要求的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.高精度气溶胶粒径浓度测量仪，其特征在于：包括颗粒发生器(1)、流速控制器(2)、三维微调器(3)、光源(4)、光源控制器(5)、显微物镜(6)、线阵CCD(7)和终端(8)；其中：/n所述颗粒发生器(1)通过导管与所述流速控制器(2)连接；/n所述流速控制器(2)通过导管与所述三维微调器(3)连接；/n所述光源控制器(5)与所述光源(4)连接；/n所述光源(4)设置在所述三维微调器(3)上；/n所述线阵CCD(7)通过所述显微物镜(6)与所述三维微调器(3)连接；/n所述终端(8)与所述线阵CCD(7)建立通信连接。/n

【技术特征摘要】
1.高精度气溶胶粒径浓度测量仪，其特征在于：包括颗粒发生器(1)、流速控制器(2)、三维微调器(3)、光源(4)、光源控制器(5)、显微物镜(6)、线阵CCD(7)和终端(8)；其中：
所述颗粒发生器(1)通过导管与所述流速控制器(2)连接；
所述流速控制器(2)通过导管与所述三维微调器(3)连接；
所述光源控制器(5)与所述光源(4)连接；
所述光源(4)设置在所述三维微调器(3)上；
所述线阵CCD(7)通过所述显微物镜(6)与所述三维微调器(3)连接；
所述终端(8)与所述线阵CCD(7)建立通信连接。


2.根据权利要求1所述的高精度气溶胶粒径浓度测量仪，其特征在于：所述光源(4)为半导体紫外激光源。


3.根据权利要求2所述的高精度气溶胶粒径浓度测量仪，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓凯元，雷亮，伍庆华，何文锋，陈幸豪，周金运，
申请(专利权)人：广东工业大学，广州昂昇光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44