一种改善连续生产线镀膜温度的装置和真空镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种改善连续生产线镀膜温度的装置和真空镀膜设备，该改善连续生产线镀膜温度的装置安装于放置有镀膜基片的镀膜室中，包括冷水板、冷水组件以及隔热屏；以面向所述镀膜基片的板面为正面方向，所述冷水板具有相对设置的正板面以及背板面；所述冷水组件包括间隔叠设于所述冷水板正板面的基板、以及安装于所述基板上的冷水管，所述冷水管具有连通冷却水的入水端和供所述冷却水流出的出水端，出水端和入水端穿过冷水板的边缘而与镀膜室的内壁可拆卸连接；所述隔热屏间隔叠设于所述冷水组件上，且所述隔热屏上放置有所述镀膜基片。本实用新型专利技术的技术方案可提高对镀膜基片的冷却效果，且结构简单、拆卸方便。

A device and vacuum coating equipment for improving coating temperature of continuous production line

The utility model discloses a device for improving the coating temperature of a continuous production line and a vacuum coating equipment. The device for improving the coating temperature of a continuous production line is installed in a coating chamber where a coating substrate is placed, including a cold water plate, a cold water component and a heat insulation screen. The cold water plate has a relatively set front plate surface and a back plate surface with the front direction facing the coating substrate The cold water component includes a base plate spaced on the front plate of the cold water plate and a cold water pipe installed on the base plate. The cold water pipe has a water inlet end for communicating the cooling water and a water outlet end for the cooling water to flow out. The water outlet end and the water inlet end pass through the edge of the cold water plate and are detachable and connected with the inner wall of the coating chamber. The heat shield is spaced on the cold water component And the heat insulation screen is provided with the coating substrate. The technical scheme of the utility model can improve the cooling effect of the coated substrate, and has simple structure and convenient disassembly.

【技术实现步骤摘要】
一种改善连续生产线镀膜温度的装置和真空镀膜设备
本技术涉及真空镀膜设备
，特别涉及一种改善连续生产线镀膜温度的装置和真空镀膜设备。
技术介绍
目前，随着各类柔性产品及高端显示产品的广泛推出，对于镀膜过程中基片表面的温度控制要求越来越高，由于柔性基片通常不耐高温，或者有些镀膜产品的基片本身虽然可以耐高温，但是，由于在制程中涉及到很多道镀膜工序，当前一道工序的材料不耐高温时，就会导致后续的镀膜工序也必须在低温下完成，因此，在这些镀膜过程中就必须采用低温镀膜方式，即在生产线中必须合理设计水冷机构，以便能够及时降低基材表面的温度，有效的保证溅射镀膜的成膜效果，从而满足更低温度要求的镀膜工艺。然而，由于目前同类连续镀膜生产线中的冷却装置多为整体冷却方式，故具有结构不方便拆卸，对基材的冷却效果不够的缺点，无法进一步满足现实中越来越多的需要进行低温镀膜的产品生产需求。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种改善连续生产线镀膜温度的装置，旨在提高对镀膜基片的冷却效果，且结构简单、拆卸方便。为实现上述目的，本技术提出的改善连续生产线镀膜温度的装置，该改善连续生产线镀膜温度的装置安装于放置有镀膜基片的镀膜室中，包括冷水板、冷水组件以及隔热屏；以面向所述镀膜基片的板面为正面方向，所述冷水板具有相对设置的正板面以及背板面；所述冷水组件包括间隔叠设于所述冷水板正板面的基板、以及安装于所述基板上的冷水管，所述冷水管具有连通冷却水的入水端和供所述冷却水流出的出水端，所述出水端和所述入水端穿过所述冷水板的边缘而与所述镀膜室的内壁可拆卸连接；所述隔热屏间隔叠设于所述冷水组件上，且所述隔热屏上放置有所述镀膜基片。可选地，所述冷水板包括多层分板，多层所述分板之间呈间隔式层叠设置。可选地，两相邻的所述分板之间夹设有绝缘固定件。可选地，所述绝缘固定件为绝缘陶瓷座。可选地，所述冷水管在所述基板上呈迂回弯折设置。可选地，所述改善连续生产线镀膜温度的装置还包括连接法兰，所述冷水管的出水端穿设过所述连接法兰，所述连接法兰与所述镀膜室的箱体之间通过螺钉固定连接。可选地，所述连接法兰上设有供所述冷水管的出水端穿过的穿设孔，所述冷水管的外周面与所述穿设孔的内壁面之间的缝隙通过焊接密封。可选地，所述连接法兰与所述镀膜室的箱体之间夹设有密封圈。可选地，所述改善连续生产线镀膜温度的装置由不锈钢材料制成。本技术还提出一种真空镀膜设备，包括改善连续生产线镀膜温度的装置，该改善连续生产线镀膜温度的装置安装于放置有镀膜基片的镀膜室中，包括冷水板、冷水组件以及隔热屏；以面向所述镀膜基片的板面为正面方向，所述冷水板具有相对设置的正板面以及背板面；所述冷水组件包括间隔叠设于所述冷水板正板面的基板、以及安装于所述基板上的冷水管，所述冷水管具有连通冷却水的入水端和供所述冷却水流出的出水端，所述出水端和所述入水端穿过所述冷水板的边缘而与所述镀膜室的内壁可拆卸连接；所述隔热屏间隔叠设于所述冷水组件上，且所述隔热屏上放置有所述镀膜基片。本技术的技术方案中，由于在镀膜室中设有片状式的冷水板、冷水组件以及隔热屏，且冷水组件的基板上安装有冷水管，故相较于目前常见的整体式冷却方式，本装置具有结构紧密、受热面大、冷却效果好等优点，这样，通过本装置就能及时降低镀膜基片表面的温度，实现对镀膜过程中的镀膜基片的温升控制，有效保证低温镀膜环境和溅射镀膜的成膜效果，从而满足低温镀膜工艺的要求。而且，在本技术的技术方案中，由于本改善连续生产线镀膜温度的装置与镀膜室的箱体内壁之间为可拆卸连接，故本装置除了冷却效果好的优点之外，还具有结构简单、拆卸方便等优点，从而可以实现对溅射沉积物进行定期处理，有利于真空镀膜设备的定期更换维护。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本技术改善连续生产线镀膜温度的装置一实施例的前视图；图2为图1中的改善连续生产线镀膜温度的装置的爆炸图；图3为图2中A处的放大示意图；图4为图1中改善连续生产线镀膜温度的装置的俯视图；图5为图4中B处的放大示意图；图6为图1中改善连续生产线镀膜温度的装置的左视图；图7为图6中C处的放大示意图。附图标号说明：标号名称标号名称1冷水板11分板12绝缘固定件2冷水组件3隔热屏21基板22冷水管221入水端222出水端4连接法兰41螺钉111让位凹槽42密封圈本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明，若本技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。本技术提出一种改善连续生产线镀膜温度的装置。参照图1至图3，在本技术一实施例中，该改善连续生产线镀膜温度的装置安装于放置有镀膜基片(未图示)的镀膜室(未图示)中，包括冷水板1、冷水组件2以及隔热屏3；以面向镀膜基片的板面为正面方向，冷水板1具有相对设置的正板面以及背板面；冷水组件2包括间隔叠设于冷水板1正板面的基板21、以及安装于基板21上的冷水管22，冷水管22具有连通冷却水的入水端221和供冷却水流出的出水端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种改善连续生产线镀膜温度的装置，安装于放置有镀膜基片的镀膜室中，其特征在于，包括：/n冷水板，以面向所述镀膜基片的板面为正面方向，所述冷水板具有相对设置的正板面以及背板面；/n冷水组件，所述冷水组件包括间隔叠设于所述冷水板正板面的基板、以及安装于所述基板上的冷水管，所述冷水管具有连通冷却水的入水端和供所述冷却水流出的出水端，所述出水端和所述入水端穿过所述冷水板的边缘而与所述镀膜室的内壁可拆卸连接；以及，/n隔热屏，所述隔热屏间隔叠设于所述冷水组件上，且所述隔热屏上放置有所述镀膜基片。/n

【技术特征摘要】
1.一种改善连续生产线镀膜温度的装置，安装于放置有镀膜基片的镀膜室中，其特征在于，包括：
冷水板，以面向所述镀膜基片的板面为正面方向，所述冷水板具有相对设置的正板面以及背板面；
冷水组件，所述冷水组件包括间隔叠设于所述冷水板正板面的基板、以及安装于所述基板上的冷水管，所述冷水管具有连通冷却水的入水端和供所述冷却水流出的出水端，所述出水端和所述入水端穿过所述冷水板的边缘而与所述镀膜室的内壁可拆卸连接；以及，
隔热屏，所述隔热屏间隔叠设于所述冷水组件上，且所述隔热屏上放置有所述镀膜基片。


2.如权利要求1所述的改善连续生产线镀膜温度的装置，其特征在于，所述冷水板包括多层分板，多层所述分板之间呈间隔式层叠设置。


3.如权利要求2所述的改善连续生产线镀膜温度的装置，其特征在于，两相邻的所述分板之间夹设有绝缘固定件。


4.如权利要求3所述的改善连续生产线镀膜温度的装置，其特征在于，所述绝缘固定件为绝缘陶瓷座。


5.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小彭，高文波，
申请(专利权)人：深圳市生波尔机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44