多层管制造技术

本发明专利技术提供一种耐化学性、气体阻挡性、清洁性优良的多层管。多层管（１）具有由氟树脂构成的第一层（１０）、和覆盖上述第一层（１０）的一面且由不含添加剂的聚酰胺类树脂构成的第二层（３０）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多层管，尤其涉及层叠有由氟树脂构成的层和由聚酰 胺类树脂构成的层的多层管。
技术介绍
氟树脂具有优良的耐化学性和耐腐蚀性，但缺乏与其它材料的粘 接性。因此，例如在半导体制造装置的药液输送中，使用由单层氟树 脂构成的管。此外，对于氟树脂与其它材料的层叠化，进行了各种尝试(例如，专利文献1 5)。专利文献1:特公昭59—51421号公报专利文献2:特公平2—54848号公报专利文献3:特开平5—318553号公报专利文献4:特开平7—18035号公报专利文献5:国际公开第01/58686号小册子然而，氟树脂由于缺乏气体阻挡性，因此，例如在半导体制造装 置中，在由单层氟树脂构成的管内流过药液的情况下，由于氧气从该 管外向该管内透过，从而有时会产生该药液中溶解的氧浓度发生变化 等麻烦。此外，在半导体制造装置中，在由单层氟树脂构成的管内流过氢 水或臭氧水等功能水的情况下，由于氢或臭氧从该管内向该管外透过， 从而有时会产生该功能水中的氢浓度或臭氧浓度降低等麻烦。此外，在粘接有由氟树脂构成的层和由其它材料构成的层的多层 管中，在由该其它材料产生大量脱气(out-gas)的情况下，可以说该 多层管并不充分具备例如在半导体或液晶等的制造中所要求的清洁性。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述课题作出的，其目的之一是提供一种耐化学性、 气体阻挡性、清洁性优良的多层管。用于解决上述课题的本专利技术的一个实施方式的多层管的特征在 于，其具有由氟树脂构成的第一层、和覆盖上述第一层的一面且由 不含添加剂的聚酰胺类树脂构成的第二层。根据本专利技术，能提供一种 耐化学性、气体阻挡性、清洁性优良的多层管。此外，上述第一氟树脂可以包含选自末端基团经氟化处理的四氟 乙烯一全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、乙烯一四氟乙烯类共聚物(ETFE)、四氟乙烯一六氟丙烯类共聚物(FEP)、三氟氯乙烯一四氟 乙烯类共聚物中的至少l种。在该情况下，能进一步提高多层管的耐 化学性、清洁性。此外，上述聚酰胺类树脂可以含有聚酰胺6、聚酰胺12和聚酰胺 6/聚酰胺12共聚物中的至少1种。在该情况下，能进一步提高多层管 的气体阻挡性、清洁性。此外，上述第一层和上述第二层可以隔着由氟树脂构成的中间层 粘接，所述氟树脂具有选自酸酐基、羧基、卤化酰基和碳酸酯基中的 至少一种官能基。在该情况下，可以牢固地粘接第一层和第二层。作 为该官能基，可以优选使用酸酐基。此外，该官能基可以通过下述方 法引入到氟树脂中，即共聚具有该官能基的单体和含氟单体的方法； 使用具有该官能基的链转移剂或聚合引发剂使含氟单体聚合的方法； 使具有该官能基的单体与氟树脂接枝聚合的方法等。该官能基的含量 是，相对于构成氟树脂的单体的重复单元的总摩尔量优选为0.01 5mol%，更优选为0.1 lmol%。此外，上述具有酸酐基的氟树脂可以是含氟共聚物，该含氟共聚 物含有基于四氟乙烯(以下，有时也称为"TFE")的第一重复单元、 基于具有二羧酸酐且在环内具有聚合性不饱和基团的环状烃单体的第二重复单元和基于其它单体(其中，除TFE和上述环状烃单体之外。) 的第三重复单元，相对于上述第一重复单元、上述第二重复单元和上 述第三重复单元的总摩尔量，上述第一重复单元为50 99.89mol%， 上述第二重复单元为0.01 5mol%，上述第三重复单元为0.1 49.99mol%。在该情况下，能进一步提高第一层与第二层的粘接强度。此外，上述多层管的氧透过系数也可以为2.0X l(T16mol m/m2 s "Pa 以下。在该情况下，可以提供气体阻挡性特别优良的多层管。此外， 上述多层管在100。C下加热30分钟所产生的脱气的量可以为10ug/g 以下。在该情况下，可以提供清洁性特别优良的多层管。此外，上述 多层管还可以是通过共挤出而成型的圆筒结构体。在该情况下，可以 提供要求耐化学性、气体阻挡性、清洁性的导管用管。此外，上述多层管可以用于半导体和液晶制造装置的药液导管。 在该情况下，可以提供耐化学性、气体阻挡性、清洁性优良，适合于 半导体或液晶等的制造中功能水或药液等的输送的导管用管。附图说明图1是本专利技术的一个实施方式的多层管的截面图。 图2是针对第一模头(die)的截面的说明图。 图3是针对第二模头的截面的说明图。 图4是针对第三模头的截面的说明图。图5是针对本专利技术一个实施方式的多层管的特性等的说明图。具体实施方式以下，对本专利技术的一个实施方式的多层管进行说明。在本实施方 式中，作为本专利技术的多层管，以半导体或液晶等的制造装置中用于药 液输送的导管用多层管为例进行说明。图1是本实施方式的多层管1 (以下称为"管1")的截面图。如图1中所示，该管1是在其直径方向的中央处形成了能流过液体和气体的中空部分40的圆筒结构体，在该直径方向上，具有在最内侧设置 的内层IO、覆盖该内层10的外侧的中间层20、以及隔着该中间层20 覆盖该内层IO的外侧的外层30。内层10与流过中空部分40的药液和气体直接接触。此外，外层 30设置在管1的直径方向的最外侧，与该管1所处的环境中充满的气 体(例如空气)直接接触。中间层20在其直径方向内侧的面上与内层 IO粘接，同时在该直径方向外侧的面上与外层30粘接。gp，内层IO 与外层30隔着中间层20彼此粘接，形成一体。内层10由氟树脂(以下称为"第一氟树脂")构成。作为形成该内层10的第一氟树脂，可以优选使用能熔融挤出的材料。gp，可以优选单独使用例如选自末端基团经氟化处理的四氟乙烯一全氟垸基乙烯 基醚共聚物(PFA)、四氟乙烯一六氟丙烯共聚物(FEP)、四氟乙烯一 乙烯共聚物(ETFE)、三氟氯乙烯(CTFE)—四氟乙烯(TFE)共聚 物、三氟氯乙烯(CTFE)—四氟乙烯(TFE)—全氟烷基乙烯基醚共 聚物等中的1种，或将它们中的2种以上层叠使用，或将它们中的2 种以上混合使用，其中，可以优选使用PFA、 ETFE、 FEP中的至少1 种，尤其是可以优选使用耐化学性、耐热性、清洁性、高纯度性优良 的末端基团经过氟化处理的PFA。此外，作为这些PFA等的第一氟树脂，可以适当使用对构成该第 一氟树脂的单体的聚合比或末端基进行了调整的树脂，使得该第一氟 树脂具有期望的特性(例如耐化学性、清洁性、熔点、刚性、伸缩性 等)。中间层20由具有选自酸酐基、羧基、卤化酰基和碳酸酯基中的至 少一种官能基的氟树脂(以下称为"第二氟树脂")构成。形成该中间 层20的第二氟树脂由于在氟树脂(以下称为"基底氟树脂")中含有 选自酸酐基、羧基、卤化酰基和碳酸酯基中的至少一种官能基，从而 与该基底氟树脂相比，能提高与内层10和外层30的粘接性。作为该官能基，可以优选使用酸酐基。作为构成该第二氟树脂的基底氟树脂，可以优选使用例如含有基 于四氟乙烯的重复单元的氟树脂。具体地说，作为该基底氟树脂，可以优选单独使用例如选自PFA、 FEP、 ETFE、 CTFE—TFE共聚物等 中的1种，或将它们中的2种以上混合使用，尤其可以优选使用PFA。 此外，作为该基底氟树脂，可以优选使用与内层IO使用的第一氟树脂 种类相同的氟树脂。即，例如在使用PFA作为第一氟树脂的情况下， 作为第二氟树脂，可以优选使用具有选自酸酐基、羧基、卤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多层管，其特征在于，其具有：由氟树脂构成的第一层、和覆盖所述第一层的一面且由不含添加剂的聚酰胺类树脂构成的第二层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：岩原健吾，深江康治，西荣一，胡桃泽健，
申请(专利权)人：霓佳斯株式会社，旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]