一种PECVD石墨舟的清洗方法技术

本发明专利技术公开一种PECVD石墨舟的清洗方法，其包括以下步骤：配液：在清洗槽内配置氢氟酸溶液；清洗：将石墨舟整体放入氢氟酸溶液内，浸泡时间为5‑7小时，浸泡同时开启鼓泡；抽液：待石墨舟整体浸泡5‑7小时后，将氢氟酸溶液抽出；第一次喷淋：用去离子水对石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设为1‑10分钟；水洗鼓泡：使用去离子水对已进行喷淋的石墨舟整体进行溢流1‑2小时，溢流的同时开启鼓泡；吹扫：用气枪吹扫石墨舟表面；烘干：将经过气枪吹扫后的石墨舟放入烘箱中。本发明专利技术提供的清洗方法中，对石墨舟整体进行清洗，减少拆卸和安装石墨舟的时间，并缩短石墨舟清洗时间，提高现有PECVD工序产能，不影响PECVD工艺的色差。

A cleaning method of PECVD graphite boat

The invention discloses a cleaning method of PECVD graphite boat, which comprises the following steps: solution preparation: a hydrofluoric acid solution is arranged in the cleaning tank; cleaning: the whole graphite boat is put into the hydrofluoric acid solution, the soaking time is 5-7 hours, and the bubble is opened at the same time of soaking; extraction: after the whole graphite boat is soaked for 5-7 hours, the hydrofluoric acid solution is extracted; the first spraying: the deionized water pair is used Spray the whole graphite boat for 1 \u2011 10 minutes; water washing and bubbling: use deionized water to overflow the whole graphite boat for 1 \u2011 2 hours, and open the bubbling at the same time of overflow; purging: use air gun to blow the surface of the graphite boat; drying: put the graphite boat after being blown by air gun into the oven. In the cleaning method provided by the invention, the whole graphite boat is cleaned, the time for disassembling and installing the graphite boat is reduced, the cleaning time of the graphite boat is shortened, the production capacity of the existing PECVD process is improved, and the color difference of the PECVD process is not affected.

【技术实现步骤摘要】
一种PECVD石墨舟的清洗方法
本专利技术涉及晶硅太阳能电池制造中所用石墨舟领域，尤其涉及一种PECVD石墨舟的清洗方法。
技术介绍
随着光伏技术的不断发展，晶硅太阳能电池作为以一种将太阳能转化为电能的清洁能源产品得到了迅猛发展。随着PECVD(等离子体增强的化学气相沉积，是制作太阳能电池工序中的一道工序)技术不断发展，从原来的板式PECVD转变成了管式PECVD，它的目的是在硅片表面(扩散面)沉积一层深蓝色的SiNx膜，而这层SiNx膜的作用是：减少电池表面光的反射，进行表面及体钝化，减少电池的反向漏电流，具有良好的抗氧化和绝缘性能，同时具有良好的阻挡钠离子、阻挡金属和水蒸汽扩散的能力。当石墨舟运行到一定的次数后，表面沉积了很厚的氮化硅，影响舟壁与硅片的接触，从而影响镀膜的质量，导致电池片出现严重的色差问题，因此要进行石墨舟的清洗。目前大多数电池片生产厂家在石墨舟使用了80-100次后，采用了拆卸石墨舟整体后分片清洗工艺，因拆卸清洗后再安装，需要较长时间，且可能会损坏石墨舟而影响石墨舟使用性能。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题，本专利技术提供了一种PECVD石墨舟的清洗方法，缩短石墨舟清洗时间，提高现有PECVD工序产能，不影响PECVD工艺的色差，所述技术方案如下：本专利技术提供一种PECVD石墨舟的清洗方法，其包括以下步骤：S1、配液：在清洗槽内配置浓度为20％～25％的氢氟酸溶液；S2、清洗：将石墨舟整体放入S1步骤中配制好的氢氟酸溶液内，浸泡时间为5-7小时，浸泡的同时开启鼓泡；S3、抽液：待石墨舟整体浸泡5-7小时后，将S2步骤中的氢氟酸溶液抽出；S4、第一次喷淋：用去离子水对S3步骤中的石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟；S5、水洗鼓泡：使用去离子水对S4步骤中已进行喷淋的石墨舟整体进行溢流1-2小时，溢流的同时开启鼓泡；S6、吹扫：用气枪吹扫S5步骤中石墨舟表面；S7、烘干：将S7步骤中经过气枪吹扫后的石墨舟放入烘箱中，设定烘干温度范围为110℃-130℃，设定烘干时间范围为11-12小时。进一步地，所述清洗方法还包括：在S6步骤的吹扫前还包括如下步骤：第二次喷淋：用去离子水对S5步骤中经过水洗鼓泡后的石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟。进一步地，在第二次喷淋中，用去离子水对S5步骤中的石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间为1分钟。进一步地，在S2步骤中，所述石墨舟整体在氢氟酸内的浸泡时间设置为6小时，浸泡的同时开启鼓泡。进一步地，在S4步骤中，用去离子水喷淋S3步骤中的石墨舟整体，喷淋时间为5分钟。进一步地，在S4步骤中，用去离子水喷淋S3步骤中的石墨舟整体时翻转石墨舟整体。进一步地，在S5步骤中，所述溢流的次数为3次，每次溢流时间设置为30分钟。进一步地，在S4步骤和第二次喷淋步骤中，使用喷淋装置对石墨舟整体进行喷淋，所述喷淋装置具有多个喷水孔。进一步地，在S7步骤中，所述烘干温度设定为110℃，且烘干时间设定为12小时。进一步地，在S2和S5步骤中，鼓泡的气压范围设置为0.40-0.5Mpa。本专利技术提供的技术方案带来的有益效果如下：本专利技术提供的PECVD石墨舟的清洗方法中，对石墨舟整体进行清洗，减少拆卸和安装石墨舟的时间，并缩短石墨舟清洗时间，提高现有PECVD工序产能，不影响PECVD工艺的色差。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例提供的PECVD石墨舟的清洗方法的流程图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本专利技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、装置、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。在本专利技术的一个实施例中，提供了一种PECVD石墨舟的清洗方法，参见图1，具体步骤如下:S1、配液：在清洗槽内配置浓度为20％～25％的氢氟酸，具体配置氢氟酸溶液时，先在所述清洗槽内加入水，再向槽内加入氢氟酸，氢氟酸溶液浓度优选为20％；S2、清洗：将石墨舟整体放入S1步骤中配制好的氢氟酸内，浸泡时间为5-7小时，浸泡的同时开启鼓泡，鼓泡清洗的作用是使槽体内的化学品流动起来，加快石墨舟表面氮化硅的剥离；鼓泡的气压设定为0.40-0.5Mpa；S3、抽液：待石墨舟整体浸泡5-7小时后，将S2步骤中的氢氟酸抽出；如副槽内有氢氟酸液把副槽内的氢氟酸排出即可；S4、第一次喷淋：用去离子水喷淋S3步骤中的石墨舟整体1-10分钟，喷淋时间优选为5分钟，以在较短时间内清除石墨舟上残留的氢氟酸；另外在石墨舟整体时可翻转石墨舟整体以使得石墨舟各个部位得到充分喷淋，以彻底清除石墨舟上残留的氢氟酸，提高清洗效率，节约清洗时间；且通过喷淋去除石墨舟酸性杂质，不会对石墨舟舟片产生损伤；用高压水枪冲洗可能对舟片造成损伤，相对高压水枪，喷淋更加安全有效；S5、水洗鼓泡：将S4步骤中已进行喷淋的石墨舟整体用去离子水溢流1-2小时，浸泡时开启鼓泡，鼓泡的气压设定为0.40-0.5Mpa，溢流是为了进一步去除石墨舟上残留的氢氟酸；优选地，所述溢流的次数为3次，每次溢流时间设置为30分钟，一次溢流过程指清洗槽内去离子水要覆盖石墨舟整体，即石墨舟整体完全浸没在去离子水中，且向清洗槽内不间断排放去离子水，待一次溢流时间结束后，将清洗槽内去离子水全部抽出，再冲入纯净的去离子水进行溢流；因S4步骤中石墨舟整体经过喷淋，在S5步骤中可减少溢流次数，在保证清洗效果同时，起到节约清洗时间目的；第二次喷淋：用去离子水喷淋S5步骤中的经过水洗鼓泡后的石墨舟整体，喷淋时间为1-10分钟，为彻底去除石墨舟上残留的氢氟酸，可在S5步骤后再次对石墨舟进行喷淋，此时，喷淋所需时间较短，优选为2分钟；S6、气枪吹扫：用气枪吹扫已进行第二次喷淋后的石墨舟表面，以吹扫其表本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1、配液：在清洗槽内配置浓度为20％～25％的氢氟酸溶液；/nS2、清洗：将石墨舟整体放入S1步骤中配制好的氢氟酸溶液内，浸泡时间为5-7小时，浸泡的同时开启鼓泡；/nS3、抽液：待石墨舟整体浸泡5-7小时后，将S2步骤中的氢氟酸溶液抽出；/nS4、第一次喷淋：用去离子水对S3步骤中的石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟；/nS5、水洗鼓泡：使用去离子水对S4步骤中已进行喷淋的石墨舟整体进行溢流1-2小时，溢流的同时开启鼓泡；/nS6、吹扫：用气枪吹扫S5步骤中石墨舟表面；/nS7、烘干：将S7步骤中经过气枪吹扫后的石墨舟放入烘箱中，设定烘干温度范围为110℃-130℃，设定烘干时间范围为11-12小时。/n

【技术特征摘要】
1.一种PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、配液：在清洗槽内配置浓度为20％～25％的氢氟酸溶液；
S2、清洗：将石墨舟整体放入S1步骤中配制好的氢氟酸溶液内，浸泡时间为5-7小时，浸泡的同时开启鼓泡；
S3、抽液：待石墨舟整体浸泡5-7小时后，将S2步骤中的氢氟酸溶液抽出；
S4、第一次喷淋：用去离子水对S3步骤中的石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟；
S5、水洗鼓泡：使用去离子水对S4步骤中已进行喷淋的石墨舟整体进行溢流1-2小时，溢流的同时开启鼓泡；
S6、吹扫：用气枪吹扫S5步骤中石墨舟表面；
S7、烘干：将S7步骤中经过气枪吹扫后的石墨舟放入烘箱中，设定烘干温度范围为110℃-130℃，设定烘干时间范围为11-12小时。


2.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法还包括：在S6步骤的吹扫前还包括如下步骤：
第二次喷淋：用去离子水对S5步骤中经过水洗鼓泡后的石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟。


3.根据权利要求2所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于，在第二次喷淋中，用去离子水对S5步骤中的石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间为1分...

【专利技术属性】
技术研发人员：张大荣，崔美丽，赵福祥，崔钟亨，刘俊稳，沈丽娟，
申请(专利权)人：韩华新能源启东有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32