一种镀膜设备用水冷板制造技术

本实用新型专利技术提供一种镀膜设备用水冷板，包括进水口连接装置、进水口、靶材背板、第二水冷管以及第三水冷管；所述靶材背板内设置有第一水冷区、第二水冷区以及第三水冷区，所述第一冷水区内设置有第一水冷管，所述第一水冷管呈连续S形弯折布置，且管路之间间隔均匀，所述第二水冷管也呈连续S形弯折布置，所述第二水冷管管路弯折少于第一水冷管的管道弯折数，且第二水冷管排列中间间距大于两侧间距，所述第三水冷管呈一字型布置，所述进水口通过管路与出水口相连接。本实用新型专利技术一种镀膜设备用水冷板，结构简便，为一体式，水冷效果均匀，并可通过水流速度，水冷口径控制降温速度，提高镀膜速率。

Water cooled plate for coating equipment

The utility model provides a water cooling plate for coating equipment, which comprises a water inlet connecting device, a water inlet, a target back plate, a second water cooling pipe and a third water cooling pipe; the target back plate is provided with a first water cooling area, a second water cooling area and a third water cooling area, the first water cooling area is provided with a first water cooling pipe, the first water cooling pipe is arranged in a continuous S-shaped bending arrangement, and the water cooling pipe The spacing between them is uniform, and the second water-cooling pipe is also arranged in a continuous S-shaped bending. The bending number of the second water-cooling pipe is less than that of the first water-cooling pipe, and the middle spacing of the second water-cooling pipe is larger than that of the two sides. The third water-cooling pipe is arranged in a line, and the water inlet is connected with the water outlet through the pipeline. The utility model relates to a water-cooled plate for a coating equipment, which is simple in structure and integrated, has uniform water-cooling effect, and can control the cooling speed and improve the coating speed through the water flow speed and the water-cooled diameter.

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备用水冷板
本技术涉及镀膜设备领域，尤其涉及一种镀膜设备用水冷板。
技术介绍
镀膜设备靶材降温快速冷却需要使用水冷板，镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当的工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单的说，靶材就是高速核能粒子轰击的目标材料，更换不同的靶材，就可以得到不同的膜系。传统国内镀膜靶材水冷为镶嵌式水冷，即水冷和靶材背板不为一体，工序繁杂，生产操作量大，水冷效果差。
技术实现思路
技术目的：提供一种镀膜设备用水冷板，结构简便，为一体式，水冷效果均匀，并可通过水流速度，水冷口径控制降温速度，提高镀膜速率。一种镀膜设备用水冷板，包括进水口连接装置、进水口、靶材背板、第二水冷管以及第三水冷管；所述靶材背板内设置有第一水冷区、第二水冷区以及第三水冷区，所述第一冷水区内设置有第一水冷管，所述第一水冷管呈连续S形弯折布置，且管路之间间隔均匀，所述第二水冷管也呈连续S形弯折布置，所述第二水冷管管路弯折少于第一水冷管的管道弯折数，且第二水冷管排列中间间距大于两侧间距，所述第三水冷管呈一字型布置，所述进水口通过管路与出水口相连接。进一步的，所述进水口连接装置与进水口位置相对应，所述第一水冷区、第二水冷区以及第三水冷区分别通过焊接隔开。进一步的，所述第二水冷管位于第二水冷区内，所述第三水冷管位于第三水冷区内。进一步的，所述第二水冷区的长度大于第一水冷区以及第三水冷区的长度。进一步的，所述靶材背板长度方向所在直线的两端中间部位设置有定位孔。进一步的，所述进水口以及出水口四周均设置有连接孔，所述第三水冷管设置在靠近第二水冷区的一侧。本技术实现以下有益效果：一种镀膜设备用水冷板，结构简便，结构为一体式，水冷效果均匀，并可通过水流速度，水冷口径控制降温速度，提高镀膜速率，改良过后的水冷板整体重量下降，更容易操作，降低企业的生产成本。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。图1为一种镀膜设备用水冷板整体结构示意图。图中：1.进水口连接装置；2.靶材背板；3.定位孔；4.进水口；5.出水口；6.第一水冷区；7.第二水冷区；8.第三水冷区；9.第一水冷管；10.第二水冷管；11.第三水冷管；12.连接孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参考图1，一种镀膜设备用水冷板，包括进水口连接装置1、进水口4、靶材背板2、第二水冷管10以及第三水冷管11；所述靶材背板2内设置有第一水冷区6、第二水冷区7以及第三水冷区8，所述靶材背板2与水冷区设置为一体，降低装置的整体重量，使装置更易操作，所述第一水冷区6内设置有第一水冷管9，所述第一水冷管9呈连续S形弯折布置，且管路之间间隔均匀，所述水冷区分区设置，避免因为长度太长影响水冷的效果，同时不同区域的水冷速度要求不同，所述第二水冷管10也呈连续S形弯折布置，所述第二水冷管10管路弯折少于第一水冷管9的管道弯折数，所述第二水冷管10的设置可提高冷却的速度，且第二水冷管10排列中间间距大于两侧间距，所述第三水冷管11呈一字型布置，所述第三水冷管11水冷速度最快，所述进水口4通过管路与出水口5相连接。所述进水口连接装置1与进水口4位置相对应，所述第一水冷区6、第二水冷区7以及第三水冷区8分别通过焊接隔开，三个水冷区之间互不干涉。所述第二水冷管10位于第二水冷区7内，所述第三水冷管11位于第三水冷区8内。所述第二水冷区7的长度大于第一水冷区6以及第三水冷区8的长度。所述靶材背板2长度方向所在直线的两端中间部位设置有定位孔3，用于对靶材背板2进行定位。所述进水口4以及出水口5四周均设置有连接孔12，所述连接孔12采用螺旋口四孔定位固定，简单方便，更容易安装，所述第三水冷管11设置在靠近第二水冷区7的一侧。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的是让熟悉该
的技术人员能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此来限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜设备用水冷板，其特征在于：包括进水口连接装置(1)、进水口(4)、靶材背板(2)、第二水冷管(10)以及第三水冷管(11)；所述靶材背板(2)内设置有第一水冷区(6)、第二水冷区(7)以及第三水冷区(8)，所述第一水冷区(6)内设置有第一水冷管(9)，所述第一水冷管(9)呈连续S形弯折布置，且管路之间间隔均匀，所述第二水冷管(10)也呈连续S形弯折布置，所述第二水冷管(10)管路弯折少于第一水冷管(9)的管道弯折数，且第二水冷管(10)排列中间间距大于两侧间距，所述第三水冷管(11)呈一字型布置，所述进水口(4)通过管路与出水口(5)相连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备用水冷板，其特征在于：包括进水口连接装置(1)、进水口(4)、靶材背板(2)、第二水冷管(10)以及第三水冷管(11)；所述靶材背板(2)内设置有第一水冷区(6)、第二水冷区(7)以及第三水冷区(8)，所述第一水冷区(6)内设置有第一水冷管(9)，所述第一水冷管(9)呈连续S形弯折布置，且管路之间间隔均匀，所述第二水冷管(10)也呈连续S形弯折布置，所述第二水冷管(10)管路弯折少于第一水冷管(9)的管道弯折数，且第二水冷管(10)排列中间间距大于两侧间距，所述第三水冷管(11)呈一字型布置，所述进水口(4)通过管路与出水口(5)相连接。


2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备用水冷板，其特征在于：所述进水口连接装置(1)与进水口(4)位置相对应，所述第一水冷区(6)、第二水冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧龙杰，
申请(专利权)人：昆山世高新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32