复制光栅分离装置制造方法及图纸

本申请公开了一种复制光栅分离装置，包括：竖直驱动器、上分离机构和下分离机构，所述上分离机构的一端与所述下分离机构的一端铰接，另一端向外延伸形成驱动端；所述竖直驱动器安装于所述驱动端上；待分离晶片卡接于所述上分离机构和所述下分离机构中，所述竖直驱动器驱动所述上分离机构绕铰接端转动。该装置能够自动夹持晶片，实现晶片分离，代替传统操作，减少作业人员的工作量，提高工作效率，从而减少分离过程中晶片的损伤和污染。

Copy grating separator

The application discloses a copying grating separating device, which comprises a vertical driver, an upper separating mechanism and a lower separating mechanism. One end of the upper separating mechanism is hinged with one end of the lower separating mechanism, and the other end extends outwards to form a driving end; the vertical driver is installed on the driving end; the wafer to be separated is clamped in the upper separating mechanism and the lower separating mechanism The vertical driver drives the upper separating mechanism to rotate around the hinged end. The device can automatically clamp the wafer, realize wafer separation, replace the traditional operation, reduce the workload of the operators, improve the work efficiency, and reduce the damage and pollution of the wafer in the separation process.

【技术实现步骤摘要】
复制光栅分离装置
本申请涉及一种复制光栅分离装置，属于光栅生产过程工具领域。
技术介绍
现有复制光栅生产工艺流程为：在玻璃母版光栅上镀一层金属膜，一般为金膜或铝膜，之后取一片与母版光栅同样大小的玻璃晶片，在其上涂覆一层紫外胶，然后将镀金属后的母版光栅以金属膜面朝向紫外胶层，覆盖在紫外胶上，并控制两片晶片的边缘对齐，然后在紫外光下照射一定时间。紫外胶在紫外光的照射下发生化学反应，由液体逐渐变成固体，并且硬度逐渐增加。待紫外胶完全固化后，利用工装夹具将玻璃母板光栅与玻璃晶片进行分离，由于金或铝等金属膜层与紫外胶的结合力远大于金属膜层与玻璃母版光栅的结合力，经过分离后，金属膜层由母版光栅转移到紫外胶上，并与玻璃晶片一起形成复制光栅。这种光栅的复制工艺简单，产品质量稳定。CN201720940879.7公开了一种复制光栅分离装置，该装置用于将复制光栅与玻璃母板进行分离，但该装置存在三个缺点：其一：分离尖嘴容易破坏光栅的边缘，进而导致光栅母板使用寿命缩短；其二：电动液压推杆位置不可调整，无法满足不同尺寸的复制光栅与母版的分离；其三：推杆结构较复杂。
技术实现思路
根据本申请的一个方面，提供了一种复制光栅分离装置，该装置能够自动夹持晶片，实现晶片分离，代替传统操作，减少作业人员的工作量，提高工作效率，从而减少分离过程中晶片的损伤和污染。所述复制光栅分离装置，其特征在于，包括：竖直驱动器、上分离机构和下分离机构，所述上分离机构的一端与所述下分离机构的一端铰接，另一端向外延伸形成驱动端；所述竖直驱动器安装于所述驱动端上；待分离晶片卡接于所述上分离机构和所述下分离机构中，所述竖直驱动器驱动所述上分离机构绕铰接端转动。可选地，所述上分离机构包括：上底座、上分离板和上夹板，所述上底座、所述上分离板和所述上夹板围成腔体容纳所述待分离晶片，所述上分离板固定安装于所述上底座；所述上夹板沿所述上底座滑动并抵接所述待分离晶片。可选地，所述上分离机构包括：上水平驱动器和上推杆，所述上推杆的一端与所述上夹板相连接，另一端与所述上水平驱动器的输出端相连接。可选地，所述上推杆的一端卡接于与所述上夹板背面凹槽内。可选地，所述下分离机构包括：下底座、下分离板和下夹板，所述下底座、所述下分离板和所述下夹板围成腔体容纳所述待分离晶片，所述下分离板固定安装于所述下底座；所述下夹板沿所述下底座滑动并抵接所述待分离晶片。可选地，所述下分离机构包括：下水平驱动器和下推杆，所述下推杆的一端与所述下夹板相连接，另一端与所述下水平驱动器的输出端相连接。可选地，所述下推杆的一端卡接于与所述下夹板背面凹槽内。可选地，所述上底座与所述下底座上均设置有安装槽，便于安装和调整各驱动器。可选地，所述上分离机构与所述下分离机构所成夹角为0～180°。可选地，所述竖直驱动器、所述下水平驱动器和所述上水平驱动器为电动液缸。本申请能产生的有益效果包括：1)本申请所提供的复制光栅分离装置，能够实现自动分离晶片，代替传统分离方法，减少作业人员的工作量，提高工作效率和分离精度。2)本申请所提供的复制光栅分离装置，上、下夹板可沿上、下底座调节位置，仅需一个装置即可满足不同尺寸晶片分离要求。3)本申请所提供的复制光栅分离装置，在分离过程中竖直驱动器避免上分离机构回落压伤晶片。4)本申请所提供的复制光栅分离装置，推杆结构简单。附图说明图1为本申请一种实施方式中复制光栅分离装置剖视主视示意图；图2为本申请一种实施方式中下夹板与上推杆连结结构示意图；图3为本申请一种实施方式中复制光栅分离装置使用状态示意图；部件和附图标记列表：部件名称附图标记部件名称附图标记下底座1上底座2竖直驱动器3螺母10下水平驱动器4上水平驱动器5下分离机构6上分离机构7下分离板61上分离板71下夹板62上夹板72下推杆8上推杆9----------铰链11具体实施方式下面结合实施例详述本申请，但本申请并不局限于这些实施例。参见图1，本申请提供的复制光栅分离装置，包括：一面相对设置的下分离机构6和上分离机构构7。下分离机构6包括下腔体由下分离板61、下夹板62和下底座1围成，朝向上分离机构构7的一侧敞口。上分离机构构7包括上腔体由上分离板71、上夹板72和上底座2围成，朝向下分离机构6的一侧敞口。下底座1的一端设置下分离板61。上底座2的一端设置上分离板71。下分离板61与上分离板71的一侧通过铰链11铰接。上夹板72由上水平驱动器5驱动。上水平驱动器5的输出端与上夹板72通过上推杆9连接。参见图2，上推杆9的一端伸入上夹板72背面的卡槽中，并通过螺母10卡位。避免采用硬性连结，确保推杆进退自如。下夹板62由下水平驱动器4驱动。在一实施例中，下水平驱动器4的输出端与下夹板62通过下推杆8连接。下推杆8与下夹板62的连接方式与图2相似。下分离机构6用于固定待分离片；上分离机构构7用于待分离片；此处的待分离片可以为制作复制光栅中所需分离的玻璃晶片或玻璃母版光栅。下底座1或上底座2上安装竖直驱动器3，用于驱动下底座1与上底座2相互远离，从而实现玻璃晶片与玻璃母版光栅的分离。在一实施例中，参见图1，竖直驱动器3垂直设置于下底座1与下分离机构6相对的另一侧上。竖直驱动器3、下水平驱动器4、上水平驱动器5均可为各类驱动装置，例如可以为电动液缸。可选地，所述上底座2与所述下底座1上均设置有安装槽，便于安装和调整各驱动器。可选地，所述上底座2绕与所述下底座1所成夹角为0～180°。使用时，参见图3，将待分离光栅母版放置于下分离机构6中，并推动下夹板62将光栅母版加紧。闭合分离机构，使玻璃晶片容纳于上分离机构构7中，并通过上水平驱动器5将玻璃晶片加紧于上分离机构构7中。然后启动竖直驱动器3，电缸推动推杆，缓缓将上底座2顶起(见图3)，下分离板61、上分离板71绕铰接处转动，从而达到将母版光栅和复制光栅分离的目的。当待分离片尺寸较小或较大,推杆行程无法满足分离要求时,可通过调整下、下水平驱动器4，直至满足待分离片尺寸要求。以上所述，仅是本申请的几个实施例，并非对本申请做任何形式的限制，虽然本申请以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限制本申请，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本申请技术方案的范围内，利用上述揭示的
技术实现思路
做出些许的变本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复制光栅分离装置，其特征在于，包括：竖直驱动器、上分离机构和下分离机构，所述上分离机构的一端与所述下分离机构的一端铰接，另一端向外延伸形成驱动端；/n所述竖直驱动器安装于所述驱动端上；/n待分离晶片卡接于所述上分离机构和所述下分离机构中，所述竖直驱动器驱动所述上分离机构绕铰接端转动。/n

【技术特征摘要】
1.一种复制光栅分离装置，其特征在于，包括：竖直驱动器、上分离机构和下分离机构，所述上分离机构的一端与所述下分离机构的一端铰接，另一端向外延伸形成驱动端；
所述竖直驱动器安装于所述驱动端上；
待分离晶片卡接于所述上分离机构和所述下分离机构中，所述竖直驱动器驱动所述上分离机构绕铰接端转动。


2.根据权利要求1所述的复制光栅分离装置，其特征在于，所述上分离机构包括：上底座、上分离板和上夹板，所述上底座、所述上分离板和所述上夹板围成腔体容纳所述待分离晶片上部，所述上分离板固定安装于所述上底座；
所述上夹板沿所述上底座滑动并抵接所述待分离晶片上部。


3.根据权利要求2所述的复制光栅分离装置，其特征在于，所述上分离机构包括：上水平驱动器和上推杆，所述上推杆的一端与所述上夹板相连接，另一端与所述上水平驱动器的输出端相连接。


4.根据权利要求3所述的复制光栅分离装置，其特征在于，所述上推杆的一端卡接于与所述上夹板背...

【专利技术属性】
技术研发人员：李广伟，陈怀熹，张新彬，冯新凯，古克义，梁万国，
申请(专利权)人：中国科学院福建物质结构研究所，
类型：新型
国别省市：福建;35