带加热器的减压单元及电池制造用装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种带加热器的减压单元(1)，其将涂敷有液状材料的基板(17)在减压处理室(4)内进行加热减压处理，其中，能够从下方支承位于减压处理室(4)内的基板(17)的多个支承销(16)立设固定在固定位置，并且多个支承销(16)分别插通在内置有加热器的加热板(12)上形成的多个贯通孔，将加热板(12)以能够升降的方式保持。

Pressure reducing unit with heater and device for battery manufacturing

The invention provides a pressure reducing unit (1) with a heater, in which a substrate (17) coated with liquid material is heated and decompressed in a pressure reducing treatment chamber (4), wherein a plurality of support pins (16) which can support the substrate (17) in the pressure reducing treatment chamber (4) from below are vertically fixed in a fixed position, and a plurality of support pins (16) are respectively inserted on the heating plate (12) with a heater A plurality of through holes are formed to keep the heating plate (12) in a way that can be lifted and lowered.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带加热器的减压单元及电池制造用装置
本专利技术涉及在减压处理室内对在被涂敷物上涂敷液状材料而成的涂敷物进行加热减压处理的带加热器的减压单元及使用该带加热器的减压单元形成活性物质层或固体电解质层的电池制造用装置。
技术介绍
众所周知，减压干燥处理为，以半导体晶片、FPD用玻璃基板、彩色滤光片用基板、太阳电池用基板、以及便携设备用基板等作为被涂敷物，在该被涂敷物上以涂敷装置涂敷液状材料，将该涂敷有的液状材料在减压处理室内干燥。该减压干燥处理通过减压而使涂敷有的液状材料中的溶剂成分气化干燥，但由于减压干燥所需的时间长，因此近年来以更高效地进行减压干燥为目的，尝试使用与减压处理并行地进行加热处理的加热减压处理或实现实用化。作为进行这样的加热减压处理的装置，例如专利文献1中公开了一种在减压处理室内载置晶片的载置部内置有加热器的带加热器的减压单元。详细而言，在该文献的图6中示出了以下内容：为了对晶片(W)进行加热，在载置部(41)的表面附近埋设加热器(H)，将多个升降销(44)插通于在该载置部(41)形成的多个贯通孔中，能够通过这些升降销(44)从下方支承晶片(W)，并在载置部(41)的下方借助升降板(44a)通过升降部(44b)使这些升降销(44)升降。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-118007号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，根据上述专利文献1公开的带加热器的减压单元，从下方支承晶片的多个升降销(支承销)贯通载置部，因此，这些升降销很长。尽管如此，使这些升降销升降不仅从结构角度来说不优选，而且考虑升降动作的稳定性也不优选。而且，在通过这些升降销支承晶片时，由于这些升降销进行升降，因此也有损晶片支承的稳定性。特别是，由于在该晶片的表面涂敷有抗蚀剂液且在该抗蚀剂液尚未干燥的状态下进行向升降销的交接后下降，因此，还可能导致其下降时抗蚀剂液在晶片上流动的致命问题。基于以上观点，本专利技术的技术课题在于，提供一种在被涂敷物上涂敷液状材料而成的涂敷物的支承稳定性优异的带加热器的减压单元。用于解决课题的方案为了解决上述课题而提出的本专利技术是针对在被涂敷物上涂敷液状材料而成的涂敷物在减压处理室内进行加热减压处理的带加热器的减压单元，其特征在于，能够从下方支承位于所述减压处理室内的所述涂敷物的多个支承销立设固定在固定位置，并且所述多个支承销分别插通在内置有加热器的加热板上形成的多个贯通孔，将所述加热板以能够升降的方式保持。根据这样的结构，由于是多个支承销立设固定在固定位置而供加热板升降的结构，因此在液状材料涂敷于被涂敷材料而成的涂敷物支承于多个支承销的期间，涂敷物不会升降。因此，不存在多个支承销妨碍涂敷物的支承稳定性的主要原因，不易发生未干燥的液状材料的不当流动等。在该情况下，优选的是，构成为，在所述加热板下降时，所述涂敷物远离所述加热板而由所述支承销支承，在所述加热板上升时，所述涂敷物远离所述支承销而载置在所述加热板上。这样，不仅涂敷物在由多个支承销支承的情况下稳定，在涂敷物载置在加热板上的情况下也能够维持稳定的支承。在以上结构的基础上，优选的是，具有：上部箱体，其包围所述减压处理室的上部；以及下部箱体，其包围所述减压处理室的下部，所述加热板被收容在所述下部箱体内，所述下部箱体和所述加热板升降。这样，不仅是加热板，下部箱体也升降，因此，能够减小或避免上部箱体的升降动作，能够大幅度简化上部箱体的升降结构。在以上结构的基础上，优选的是，在所述下部箱体和所述加热板下降时，在所述上部箱体与所述下部箱体之间形成用于向所述减压处理室交接所述涂敷物的间隙，在所述下部箱体和所述加热板上升时，所述减压处理室变为密闭状态。这样，若使下部箱体与加热板下降，则能够在由多个支承销支承的涂敷物与加热板之间形成足够的间隙，因此能够充分确保涂敷物(也包含干燥后的涂敷物)的交接所需的空间。另外，若使下部箱体与加热板上升，则能够在密闭的减压处理室内适当地进行针对涂敷物的加热减压处理。在以上结构的基础上，优选的是，在所述下部箱体的底壁形成有开口部，所述支承销通过该开口部而沿上下方向延伸，并且在所述下部箱体的下方部配备有伸缩构件，该伸缩构件以气密状态覆盖所述加热板的下表面侧的所述多个支承销的配设空间并能够沿上下方向伸缩。需要说明的是，作为伸缩构件优选波纹管结构。这样，虽然伸缩构件与下部箱体及加热板的升降相伴也沿上下方向伸缩，但该伸缩构件以气密状态覆盖加热板的下表面侧的多个支承销的配设空间。因此，能够阻止外部气体经由加热板的贯通孔与支承销之间的间隙流入减压处理室的情形，执行适当的加热减压处理。在以上结构的基础上，优选的是，在所述伸缩构件的外周侧配设有升降机构，所述升降机构使所述下部箱体与所述加热板一体地升降。这样，能够缩短升降机构上下方向长度，并且伸缩构件与升降机构的关系中的布局适当，有助于装置小型化。作为与之相伴的具体优点的一例，能够实现所述带加热器减压干燥单元的沿上下方向的多段结构。在以上结构的基础上，优选的是，所述上部箱体固定设置在固定位置，且在所述上部箱体安装有与真空源连通的真空排气用的管道。这样，由于不需要使上部箱体升降的升降机构，因此不需要使用上下方向长的升降机构或设置结构复杂的升降机构。而且，由于上部箱体不动，因此真空排气用的管道不会作用由变形等引起的负荷、载荷或弯曲应力等，能够实现相应管道的耐久性提高。使用具有以上构成的带加热器的减压单元，能够提供以下所示的电池制造用装置。即，能够提供一种以在具有集电体的被涂敷物上形成正极或负极的活性物质层的方式构成的电池制造用装置，所述电池制造用装置具备：涂敷装置，其进行将包含所述活性物质层的原料的液状材料涂敷在所述被涂敷物的集电体上的涂敷处理；以及上述的带加热器的减压单元，其针对由所述涂敷装置进行了涂敷处理的涂敷物进行加热减压处理。根据该电池制造用装置，包含在集电体上涂敷的活性物质层的原料的液状材料由上述的带加热器的减压单元实施加热减压处理，因此能够短时间在集电体上形成高品质活性物质层。具体来说，通过进行减压处理使之干燥，从而能够抑制在通过常压下的加热处理使之干燥的情况下发生的由急剧液体流动引起的膜厚变动，且在减压处理的基础上辅助进行加热处理，从而能够缩短干燥时间。另外，提供一种电池制造用装置，其以在具有集电体和在该集电体上形成的正极或负极的活性物质层的被涂敷物上形成固体电解质层的方式构成，所述电池制造用装置包括：涂敷装置，其进行将包含所述固体电解质层的原料的液状材料涂敷在所述被涂敷物的所述活性物质层上的涂敷处理；以及上述的带加热器的减压单元，其针对由所述涂敷装置进行了涂敷处理的涂敷物进行加热减压处理。根据该电池制造用装置，包含在集电体上的活性物质层上涂敷的固体电解质层的原料的液状材料由上述的带加热器的减压单元实施加热减压处理，因此短时间在活性物质层上形成高品质固体电解质层。具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带加热器的减压单元，其针对在被涂敷物上涂敷液状材料而成的涂敷物，在减压处理室内进行加热减压处理，其特征在于，/n能够从下方支承位于所述减压处理室内的所述涂敷物的多个支承销立设固定在固定位置，并且所述多个支承销分别插通在内置有加热器的加热板上形成的多个贯通孔，将所述加热板以能够升降的方式保持。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170411 JP 2017-0780561.一种带加热器的减压单元，其针对在被涂敷物上涂敷液状材料而成的涂敷物，在减压处理室内进行加热减压处理，其特征在于，
能够从下方支承位于所述减压处理室内的所述涂敷物的多个支承销立设固定在固定位置，并且所述多个支承销分别插通在内置有加热器的加热板上形成的多个贯通孔，将所述加热板以能够升降的方式保持。


2.根据权利要求1所述的带加热器的减压单元，其特征在于，
在所述加热板下降时，所述涂敷物远离所述加热板而由所述支承销支承，在所述加热板上升时，所述涂敷物远离所述支承销而载置在所述加热板上。


3.根据权利要求1或2所述的带加热器的减压单元，其特征在于，
所述带加热器的减压单元具有：
上部箱体，其包围所述减压处理室的上部；以及
下部箱体，其包围所述减压处理室的下部，
所述加热板被收容在所述下部箱体内，所述下部箱体和所述加热板升降。


4.根据权利要求3所述的带加热器的减压单元，其特征在于，
在所述下部箱体和所述加热板下降时，在所述上部箱体与所述下部箱体之间形成用于向所述减压处理室交接所述涂敷物的间隙，在所述下部箱体和所述加热板上升时，所述减压处理室变为密闭状态。


5.根据权利要求3或4所述的带加热器的减压单元，其特征在于，
在所述下部箱体的底壁形成有开口部，所述支承销通过该开口部而沿上下方向延伸，并且在所述下部箱体的下方部配备有伸缩构件，该伸缩构件以气密状态覆盖所述加热板的下表面侧的所述多个支承销的配设空间并能够沿上下方向伸缩。


6.根据权利要求5所述的带加热器的减压单元，其特征在于，
在所述伸缩构件的外周侧配设有升降机构，所述升降机构使所述下部箱体与所述加热板一体地升降。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的带加热器的减压单元，其特征在于，
所述上部箱体固定设置在固定位置，且在所述上部箱体安装有与...

【专利技术属性】
技术研发人员：增成诚治，细川知子，池上岳宏，中谷英之，马场守，
申请(专利权)人：株式会社石井表记，
类型：发明
国别省市：日本;JP