The invention provides a driving method capable of driving components of components more accurately. The invention provides a driving method for a component arranged in a processing room, which comprises the following steps: irradiating the component with a measuring light with a wavelength that can pass through the component; detecting the intensity distribution of the reflected light based on the reflected light from the front side of the component and the reflected light from the back side of the component; performing Fourier transform on the spectrum representing the intensity distribution The step of calculating the optical path difference based on the leaf transform, the step of determining the driving amount of the above components based on the optical path difference, and the step of driving the above components based on the determined driving amount.
【技术实现步骤摘要】
部件的驱动方法和处理装置
本专利技术涉及部件的驱动方法和处理装置。
技术介绍
在等离子体处理装置中,沿晶片的外周设置有边缘环(edgering)(例如,参照专利文献1)。边缘环具有控制晶片的外周附近的等离子体,使晶片的面内的蚀刻速率(etchingrate)的均匀性提高的功能。晶片的主要在边缘部的蚀刻速率,取决于边缘环上的鞘(sheath)而变化。因此,当因边缘环的消耗而其高度发生改变时,边缘环上的鞘的高度发生改变,难以控制晶片的边缘部的蚀刻速率等蚀刻特性。于是,设置上下地驱动边缘环的驱动部,控制边缘环的上表面的位置,来提高晶片的边缘部的控制性。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2008-244274号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题本专利技术提供一种能够更准确地驱动部件的部件的驱动方法。用于解决技术问题的技术手段依照本专利技术的一个方式,提供一种设置于处理室内的部件的驱动方法,其包括:对上述部件照射具有能够透过上述部件的波长的测量光的步骤;基于来自上述部件的正面的反射光和来自上述部件的背面的反射光,来检测反射光的强度分布的步骤;对表示上述强度分布的光谱进行傅里叶变换来计算光程差的步骤;基于上述光程差来决定上述部件的驱动量的步骤;和基于决定出的上述驱动量来驱动上述部件的步骤。专利技术效果依照一个方面,能够提供一种能够更准确地驱动部件的部件的驱动方法。附图说明图1是表示一个实施方式的等离子体处理装置的一例的截面 ...
【技术保护点】
1.一种设置于处理室内的部件的驱动方法,其特征在于,包括:/n对所述部件照射具有能够透过所述部件的波长的测量光的步骤;/n基于来自所述部件的正面的反射光和来自所述部件的背面的反射光来检测反射光的强度分布的步骤;/n对表示所述强度分布的光谱进行傅里叶变换来计算光程差的步骤;/n基于所述光程差来决定所述部件的驱动量的步骤;和/n基于决定出的所述驱动量来驱动所述部件的步骤。/n
【技术特征摘要】
20180515 JP 2018-0940891.一种设置于处理室内的部件的驱动方法,其特征在于,包括:
对所述部件照射具有能够透过所述部件的波长的测量光的步骤;
基于来自所述部件的正面的反射光和来自所述部件的背面的反射光来检测反射光的强度分布的步骤;
对表示所述强度分布的光谱进行傅里叶变换来计算光程差的步骤;
基于所述光程差来决定所述部件的驱动量的步骤;和
基于决定出的所述驱动量来驱动所述部件的步骤。
2.如权利要求1所述的部件的驱动方法,其特征在于:
所述部件是消耗部件。
3.如权利要求2所述的部件的驱动方法,其特征在于:
所述消耗部件是边缘环、绝缘环、盖环和顶部屏蔽环的至少任一者。
4.如权利要求3所述的部件的驱动方法,其特征在于:
所述消耗部件是边缘环,
所述边缘环被分割为多个部分,
驱动所述部件的步骤基于决定出的所述驱动量来驱动被分割为多个部分的所述边缘环的至少任一部分。
5.如权利要求1~4中任一项所述的部件的驱动方法,其特征在于:
所述进行照射的步骤对设置于所述处理室内的部件的多个部位照射所述测量光,
所述检测强度分布的步骤基于来自所述部件的各部位的正面的反射光和来自所述部件的各部位的背面的反射光来检测反射光在各部位的强度分布,
所述计算光程差的步骤对表示检测出的各部位的所述强度分布的光谱进行傅里叶变换来求取各部位的光程差,
决定所述部件的驱动量的步骤基于各部...
【专利技术属性】
技术研发人员:守屋瑠美子,伴瀬贵德,佐藤优,秋月侑治,谷川雄洋,
申请(专利权)人:东京毅力科创株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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