识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质。所述方法包括：通过与待测石墨盘相对位置固定的图像采集单元获取待测石墨盘的图像；获取图像上的石墨盘的待检测区域，对待检测区域的灰度值进行检测，以确定是否有白盘的区域。所述装置包括：图像采集单元，待检测区域获取单元，以及检测单元。所述设备及存储介质用于实现所述方法。该方法能够自动识别石墨盘高温烘烤的结果，效率高，对结果识别的精准度高，为生产高质量的外延片提供了保障。并且该方法快速高效；同时还可提供制式化数据并传递给MES生产系统，便于后续复查。

Method, device, equipment and storage medium for identifying the high temperature baking results of graphite disk

The invention provides a method, a device, a device and a storage medium for identifying the high temperature baking result of a graphite disk. The method includes: acquiring the image of the graphite disk to be tested by the image acquisition unit which is fixed relative to the graphite disk to be tested; acquiring the region to be tested of the graphite disk on the image, and detecting the gray value of the region to be tested to determine whether there is a region of the white disk. The device includes an image acquisition unit, an area acquisition unit to be detected, and a detection unit. The device and the storage medium are used to implement the method. This method can automatically identify the results of high-temperature baking of graphite disk with high efficiency and high accuracy, which provides a guarantee for the production of high-quality epitaxial wafers. At the same time, it can provide standardized data and transfer it to MES production system for subsequent review.

【技术实现步骤摘要】
识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质
本专利技术涉及MOCVD生产领域，尤其涉及一种识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
石墨盘是MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金属有机化合物化学气相沉淀)生产过程中必不可少的装置，石墨盘每生长完一个批次的金属有机化合物都需要在烘烤炉中高温烘烤，将生长过程中残留的MO源及其他一些杂质烤掉，烘烤干净的石墨盘才能用于下一个批次的生长。石墨盘如未高温烤干净，进入MOCVD生长后会导致片源质量异常，且石墨盘未烤干净部分MO源堆积，会呈现为白色，该种状况需及时通知到工艺人员。现有的检测石墨盘高温烘烤是否干净都是作业员对于生长完成的石墨盘进行拍照，并由经过专业培训人员对照片进行判读确认有无白盘问题。然而这种方法存在以下缺陷：1、因大部分石墨盘白盘均为微白盘，即使经过专业培训人员，也经常会出现漏判状况；2、人员在判定石墨盘白盘时，很难明确界定其白盘面积大小，无法进行量化；3、人工判定白盘后，仅可记录有无，无法将其准确位置信息传递给相应工艺人员；4、现有作业人员在检查有无白盘后，仅能做简单的信息记录，且无法将信息制式化传递至生产系统，也就难以给工艺技术调整提供相应判读依据。如图1a和1b所示，现有技术中的石墨盘10上通常有微白盘区域A，只有放大的情况下才能清晰准确的看到微白盘区域A的泛白区11。然而微白盘中的泛白区域如果由现场作业人员进行人工检查，很容易会被疏漏掉，这将导致工艺人员在产品出问题时，不得不重新调取石墨盘图片重新确认，此时，可能已经造成下一批次的产品损失。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的至少在于提供一种识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质；能够自动识别石墨盘高温烘烤的结果，效率高，对结果识别的精准度高，为生产高质量的外延片提供了保障。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术的一个实施方式提供一种自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，包括步骤：通过与待测石墨盘相对位置固定的图像采集单元获取待测石墨盘的图像；获取图像上的石墨盘的待检测区域，对待检测区域的灰度值进行检测，以确定是否有白盘的区域。可选地，所述待检测区域包括所述待测石墨盘上的非槽位区域。可选地，通过屏蔽模板屏蔽所述待测石墨盘上的槽位区域以在所述待测石墨盘的图像中获取待检测区域。可选地，所述通过屏蔽模板屏蔽石墨盘上的槽位区域以在所述待测石墨盘的图像中获取待检测区域的步骤包括：将所述石墨盘的图像与所述屏蔽模板进行对比，屏蔽掉所述中间图像上的所述槽位区域，得到所述待检测区域。可选地，在屏蔽模板屏蔽石墨盘上的槽位区域之前，还包括以下步骤：测试待测石墨盘上所有的槽位区域的灰度值，并将所有的槽位区域的所述灰度值的平均灰度值作为基准灰度值；以所述基准灰度值为依据对所述待检测区域进行检测以获得检测区域的灰度值，将检测区域的灰度值与所述基准灰度值进行比对以确定是否有白盘的区域。可选地，在测试所述待测石墨盘上所有的槽位区域的灰度值的步骤之前还包括：对所述待测石墨盘的图像进行灰度化处理，得到所述待测石墨盘的灰度化图像；对所述待测石墨盘的所述灰度化图像进行边缘检测，得到中间图像。可选地，所述对所述待检测区域进行检测包括：获取所述待测石墨盘的灰度值动态阈值；以所述待测石墨盘的所述灰度值动态阈值为依据，检测所述待检测区域的灰度值，并将所述待检测区域的所述灰度值与所述待测石墨盘的所述灰度值阈值进行比较，以确定是否有白盘的区域。可选地，在以所述待测石墨盘的所述灰度值动态阈值为依据，检测所述待检测区域的灰度值，并将所述待检测区域的所述灰度值与所述待测石墨盘的所述灰度值动态阈值进行比较，以确定是否有白盘的区域步骤之前还包括：对所述待检测区域进行分区检测，以确定是否存在白盘区域以及所述白盘区域的位置。可选地，获取所述待测石墨盘的所述灰度值动态阈值的步骤包括：将所述基准灰度值上下浮动预定数值或预定百分比获取所述待测石墨盘的所述灰度值动态阈值。可选地，在所述确定是否有白盘的区域的步骤之后包括：输出检测结果。可选地，所述输出检测结果的步骤包括：输出待测石墨盘的石墨盘号、是否白盘、白盘面积以及白盘所处区位。为实现上述及其他目的，本专利技术的一个实施方式提供一种自动识别石墨盘高温烘烤结果的装置，包括：图像采集单元，所述图像采集单元与待测石墨盘的相对位置固定，所述图像采集单元配置用于获取待测石墨盘的图像；待检测区域获取单元，配置用于通过屏蔽模板屏蔽石墨盘上的槽位区域以在所述待测石墨盘的图像中获取待检测区域；检测单元，配置用于将待测石墨盘上所有的槽位区域的平均灰度值作为基准灰度值，并以所述基准灰度值为依据对所述待检测区域进行检测以确定是否有白盘的区域以及所述白盘区域的位置。可选地，所述自动是被石墨盘高温烘烤结果的装置还包括：输出单元，配置用于输出检测结果。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术的一个实施方式提供一种设备，所述设备包括：处理器；存储器，用于存储一个或多个程序，当所述一个或多个程序被所述处理器执行时，使得所述处理器执行本专利技术的实施例所述的方法。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术的一个实施方式提供一种存储有计算机程序的计算机可读存储介质，该程序被处理器执行时实现本专利技术实施例所述的方法。本专利技术实施方式提供的上述技术方案，可以精确量化白盘区域，能够直接查询白盘所在区位，由于可以直观的获取精确的白盘数据，所以能够为工艺上的改善提供帮助，以降低白盘所产生的不良影响，杜绝后续出现类似损害产品品质的问题。采用本专利技术实施方式提供的技术方案还能够实现：不再需要对作业人员进行专业白盘辨识的培训，降低培训成本；只需对石墨盘拍照利用本专利技术所述技术方案完成所有的检验分析工作，快速高效；同时还可提供制式化数据并传递给MES生产系统，便于后续复查。附图说明图1a和1b显示为现有技术中所述的微白盘及形成微白盘的泛白区的示意图。图2显示为本专利技术实施例一所述的识别石墨盘高温烘烤结果的方法的流程图。图3显示为图2所示方法中获得的待测石墨盘的图像的示意图。图4显示为对图3所示的待测石墨盘的图像灰度化后的示意图。图5显示为两图4所示的pocket区域屏蔽后得到待检测区域的示意图。图6显示为将图5所示的待检测区域进行分区的示意图。具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本专利技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点及功效。图1a和1b示出了微白盘的示意图。在该图所示的微白盘的左上角pocket区域边缘，有泛白区11存在，该泛白区很容易被作业人员漏检，由本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，包括步骤：/n通过与待测石墨盘相对位置固定的图像采集单元获取待测石墨盘的图像；/n获取图像上的石墨盘的待检测区域，对待检测区域的灰度值进行检测，以确定是否有白盘的区域。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，包括步骤：
通过与待测石墨盘相对位置固定的图像采集单元获取待测石墨盘的图像；
获取图像上的石墨盘的待检测区域，对待检测区域的灰度值进行检测，以确定是否有白盘的区域。


2.根据权利要求1所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，
所述待检测区域包括所述待测石墨盘上的非槽位区域。


3.根据权利要求2所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，
通过屏蔽模板屏蔽所述待测石墨盘上的槽位区域以在所述待测石墨盘的图像中获取待检测区域。


4.根据权利要求3所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，所述通过屏蔽模板屏蔽石墨盘上的槽位区域以在所述待测石墨盘的图像中获取待检测区域的步骤包括：
将所述石墨盘的图像与所述屏蔽模板进行对比，屏蔽掉所述中间图像上的所述槽位区域，得到所述待检测区域。


5.根据权利要求4所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，在通过屏蔽模板屏蔽石墨盘上的槽位区域之前，还包括以下步骤：
测试待测石墨盘上所有的槽位区域的灰度值，并将所有的槽位区域的所述灰度值的平均灰度值作为基准灰度值；
以所述基准灰度值为依据对所述待检测区域进行检测以获得检测区域的灰度值，将检测区域的灰度值与所述基准灰度值进行比对以确定是否有白盘的区域。


6.根据权利要求5所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，在测试所述待测石墨盘上所有的槽位区域的灰度值的步骤之前还包括：
对所述待测石墨盘的图像进行灰度化处理，得到所述待测石墨盘的灰度化图像；
对所述待测石墨盘的所述灰度化图像进行边缘检测，得到中间图像。


7.根据权利要求1所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，所述对所述待检测区域进行检测包括：
获取所述待测石墨盘的灰度值动态阈值；
以所述待测石墨盘的所述灰度值动态阈值为依据，检测所述待检测区域的灰度值，并将所述待检测区域的所述灰度值与所述待测石墨盘的所述灰度值阈值进行比较，以确定是否有白盘的区域。


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【专利技术属性】
技术研发人员：彭伟伦，田少波，付泽锋，杨全波，尤江伟，
申请(专利权)人：厦门三安光电有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35