The utility model discloses a scanning electrodeposition processing device for parallel arrangement of multi line anodes. The device comprises a fixed plate, a stirring paddle, a linear anode, a cathode base and an electrodeposition power supply, which is characterized in that it also comprises a stirring paddle mounting frame and a touch device with a cross beam and a side beam. The two side beams are respectively located at both ends of the beam and are perpendicular to the beam. The side beam is provided with a front guide groove and a rear guide groove. Three to five sheet agitators are arranged on the agitator mounting frame at equal intervals and in parallel with each other. Based on the device, first adjust the electrode spacing and the limit movement position of all linear anodes, then connect the electrodeposition power supply after entering the electrolyte, and carry out the constant speed linear reciprocating scanning electrodeposition processing, until the deposition layer reaches the required thickness, stop the electrodeposition. The utility model can greatly improve the deposition speed and production efficiency on the basis of maintaining the excellent thickness distribution uniformity, the edge effect is smaller, the phenomenon of partial thickness at the edge is basically eliminated, and is easy to implement.
【技术实现步骤摘要】
一种多线阳极并行布置的扫描式电沉积加工装置
本技术属于电化学加工领域,特别是涉及一种用于扫描式电沉积加工装置。
技术介绍
现有的电沉积技术一般采用挂镀模式,但基于该模式的电沉积件/层的厚度均匀性常常难以满足高端应用要求。为此,申请号为CN201810453008.1的专利公开了一种基于线阳极贴近阴极往复扫描来实施电沉积的装置。基于该装置所获得的电沉积件/层的厚度均匀性显著优于常规的挂镀。但是,因为该装置的阳极是直线细丝状,且一直处于往复运动中,使得金属层的增厚是周期性的层层微量叠加过程,而不是连续性的不间断地生长过程,导致沉积速度极慢、生产效率偏低。因此,有必要设计开发一种多阳极同步扫描式电沉积加工方法及装置,以在保证高厚度均匀性的同时大幅度提高沉积速度。
技术实现思路
本技术目的在于提供一种基于多线阳极并行布置的扫描式电沉积加工装置,以能以更高的沉积速度制取极高厚度分布均匀性的金属层/件。一种多线阳极并行布置的扫描式电沉积加工装置,包括固定板、搅拌桨、直线状阳极、阴极基底和电沉积电源,它还包括搅拌桨安装架和触碰装置;所述的搅拌桨安装架设有横梁和侧梁;所述的侧梁为两根,分别位于横梁的两端且都与横梁垂直;所述的侧梁设有前导向槽和后导向槽;所述的搅拌桨为片状,其中部设有通孔、上部左右两侧设有安装轴;所述的安装轴可滑动地配合联接于前导向槽或后导向槽;所述的搅拌桨上设有触碰装置;所述的搅拌桨为3~5个,等间隔地且相互平行地安设在搅拌桨安装架上。所述的直线状阳极固定于搅拌桨的底部,且其最下沿 ...
【技术保护点】
1.一种多线阳极并行布置的扫描式电沉积加工装置,包括固定板(2)、搅拌桨(5)、直线状阳极(6)、阴极基底(7)和电沉积电源(9),其特征在于:它还包括搅拌桨安装架(4)和触碰装置(8);所述的搅拌桨安装架(4)设有横梁(4-1)和侧梁(4-2);所述的侧梁(4-2)为两根,分别位于横梁(4-1)的两端且都与横梁(4-1)垂直;所述的侧梁(4-2)设有前导向槽(4-2b)和后导向槽(4-2c);所述的搅拌桨(5)为片状,其中部设有通孔(5-3)、上部左右两侧设有安装轴(5-2);所述的安装轴(5-2)可滑动地配合联接于前导向槽(4-2b)或后导向槽(4-2c);所述的搅拌桨(5)上设有触碰装置(8);所述的搅拌桨(5)为3~5个,等间隔地且相互平行地安设在搅拌桨安装架(4)上。/n
【技术特征摘要】
1.一种多线阳极并行布置的扫描式电沉积加工装置,包括固定板(2)、搅拌桨(5)、直线状阳极(6)、阴极基底(7)和电沉积电源(9),其特征在于:它还包括搅拌桨安装架(4)和触碰装置(8);所述的搅拌桨安装架(4)设有横梁(4-1)和侧梁(4-2);所述的侧梁(4-2)为两根,分别位于横梁(4-1)的两端且都与横梁(4-1)垂直;所述的侧梁(4-2)设有前导向槽(4-2b)和后导向槽(4-2c);所述的搅拌桨(5)为片状,其中部设有通孔(5-3)、上部左右两侧设有安装轴(5-2);所述的安装轴(5-2)可滑动地配合联接于前导...
【专利技术属性】
技术研发人员:侯亚楠,明平美,张峻中,闫亮,郑兴帅,张新民,秦歌,李欣潮,王伟,牛屾,
申请(专利权)人:河南理工大学,
类型:新型
国别省市:河南;41
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