一种无可动部件的微阀制造技术

本实用新型专利技术涉及一种无可动部件的微阀，属于微机电系统领域。包括有入口通道（１）、弯通道、扩散通道（６），其中，入口通道（１）为直通道，在入口通道的尾部，即分岔口（３）处出现分流，一个是继续向前延伸的直通道，另一个是带扩散的弯通道，弯通道包括弯通道入口（１０）和半圆环通道（２），弯通道通过弯通道入口（１０）与直通道连通，弯通道入口（１０）通过半圆环通道（２）与扩散通道（６）连通，分流后的直通道在汇流口（４）处与扩散通道（６）连通。本实用新型专利技术实现了一定程度的单向流动，不需要可动阀，只需用表面加工即可，大大减少了制作难度和成本。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种无可动部件的微阀，其特征在于：主要包括有入口通道（１）、弯通道、扩散通道（６），其中，入口通道（１）为直通道，在入口通道的尾部，即分岔口（３）处出现分流，一个是继续向前延伸的直通道，另一个是带扩散的弯通道，弯通道包括弯通道入口（１０）和半圆环通道（２），弯通道通过弯通道入口（１０）与直通道连通，弯通道入口（１０）通过半圆环通道（２）与扩散通道（６）连通，分流后的直通道在汇流口（４）处与扩散通道（６）连通；半圆环通道（２）与扩散通道（６）的连接处的过半圆环通道（２）圆心的直线与入口通道（１）的轴线所成的角度α的取值范围为４０°～６０°；假设入口通道（１）的宽度为ｗ，与入口通道（１）连通的弯通道入口处的宽度取为２．５ｗ；以入口通道（１）的下端点０为坐标原点，以入口通道（１）的方向为横轴方向，以与入口方向垂直的方向为纵轴方向，则半圆环通道（２）的原点的坐标为（Ｌ＋ｒ，Ｒ＋ａ），ａ的范围为ｗ／２～ｗ。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘世炳，黄永光，陈涛，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]