The utility model discloses a mixing machine for target material production, which comprises a frame, a mixing component and a driving mechanism. The mixing component is arranged on the frame. The mixing component comprises a cylinder body with a top opening, a cylinder cover, a rotating shaft, a first spiral blade and a second spiral blade. The cylinder cover is arranged on the upper part of the cylinder body through a hinge chain. Two side walls of the cylinder body are symmetrically provided with a telescopic cylinder, and the air of the telescopic cylinder is symmetrically arranged The cylinder rod is connected with the cylinder cover through the connecting column for opening or closing the cylinder cover automatically; the rotating shaft is set inside the cylinder and connected with the cylinder body by rotation; the first spiral blade and the second spiral blade are arranged alternately with each other and connected with the rotating shaft through a plurality of screws; the driving mechanism is set on the frame through a bracket and located on one side of the cylinder body, and the output shaft of the driving mechanism is connected with the The utility model provides a mixing machine for target material production which can reduce mixing time and improve uniformity.
【技术实现步骤摘要】
一种靶材生产用的混料机
本技术涉及混料机,尤其是一种靶材生产用混料机。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或者其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板制备过程为制粉、混料、压制、烧结这四个步骤,其中靶材的性能的稳定性很大程度上受混料好坏的影响,当前主要采用混料机进行混料,现在混料机存在混料时间长、均匀性差的缺陷
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是提供一种能够降低混料时间、提高均匀性的靶材生产用的混料机。为解决上述技术问题,本技术所采用的技术方案是:一种靶材生产用的混料机,其特征在于:包括机架、混料组件、驱动机构,所述混料组件设在所述机架上,所述混料组件包括顶部开口的筒体、筒盖、转动轴、第一螺旋叶片、第二螺旋叶片,所述筒盖通过铰链设在所述筒体上方,所述筒体的两个侧壁上对称设有伸缩气缸,所述伸缩气缸的气缸杆通过连接柱与所述筒盖连接,用于自动操控筒盖的开启或关闭;所述转动轴架设在所述筒体内部,并与所述筒体转动连接;所述第一螺旋叶片、第二螺旋叶片彼此交错布置,并分别通过多个螺杆与所述转动轴连接;所述驱动机构通过支架设在机架上,并位于所述筒体的一侧,所述驱动机构的输出轴与所述转动轴连接。本技术技术方案的进一步改进在于:筒盖上开设多个间隔开的锁紧孔;所述筒体壁上设有多个与锁紧孔相配合的锁紧机构;所述锁紧机构包括基座、连杆组件、锁紧杆,所述基座固定在所述筒壁上,所述连杆组件的一端与所述基座转动连接,所述连杆组件的另一端与所述锁紧杆连接,用于驱动所述锁紧杆远离或者接近所述锁紧孔,其中当所述锁紧杆的端部穿入所述锁紧孔时,可实现 ...
【技术保护点】
1.一种靶材生产用的混料机,其特征在于:包括机架(1)、混料组件(2)、驱动机构(5),所述混料组件(2)设在所述机架(1)上,所述混料组件(2)包括顶部开口的筒体(21)、筒盖(22)、转动轴(23)、第一螺旋叶片(24)、第二螺旋叶片(25),所述筒盖(22)通过铰链(3)设在所述筒体(21)上方,所述筒体(21)的两个侧壁上对称设有伸缩气缸(4),所述伸缩气缸(4)的气缸杆通过连接柱与所述筒盖(22)连接,用于自动操控筒盖的开启或关闭;所述转动轴(23)架设在所述筒体(21)内部,并与所述筒体转动连接;所述第一螺旋叶片(24)、第二螺旋叶片(25)彼此交错布置,并分别通过多个螺杆(11)与所述转动轴连接;所述驱动机构(5)通过支架(6)设在机架(1)上,并位于所述筒体(21)的一侧,所述驱动机构(5)的输出轴与所述转动轴(23)连接。
【技术特征摘要】
1.一种靶材生产用的混料机,其特征在于:包括机架(1)、混料组件(2)、驱动机构(5),所述混料组件(2)设在所述机架(1)上,所述混料组件(2)包括顶部开口的筒体(21)、筒盖(22)、转动轴(23)、第一螺旋叶片(24)、第二螺旋叶片(25),所述筒盖(22)通过铰链(3)设在所述筒体(21)上方,所述筒体(21)的两个侧壁上对称设有伸缩气缸(4),所述伸缩气缸(4)的气缸杆通过连接柱与所述筒盖(22)连接,用于自动操控筒盖的开启或关闭;所述转动轴(23)架设在所述筒体(21)内部,并与所述筒体转动连接;所述第一螺旋叶片(24)、第二螺旋叶片(25)彼此交错布置,并分别通过多个螺杆(11)与所述转动轴连接;所述驱动机构(5)通过支架(6)设在机架(1)上,并位于所述筒体(21)的一侧,所述驱动机构(5)的输出轴与所述转动轴(23)连接。2.根据权利要求1所述的一种靶材生产用的混料机,其特征在于:所述筒盖(22)上开设多个间隔开的锁紧孔(7);所述筒体上设有多个与锁紧孔相配合的锁紧机构(8);所述锁紧机构(8)包括基座(81)、连杆组件(82)、锁紧杆(83),所述基座固定在所述筒体上,所述连杆组件的一端与所述基座转动连...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔娜,康明生,朱辉,郄奕,张卫,
申请(专利权)人:河北东同光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:河北,13
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。