一种简易型气液混合阀门箱制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体器件制造业所用的鼓泡装置技术领域，具体地说是一种简易型气液混合阀门箱，其在箱体内设载气管路；液态源管路；真空射流器，其进气口连接所述载气管路的出口端，其真空吸入口连接液态源管路的出口端；混合输出分配管路，一端为混合气进气端连接真空射流器的混合气出口，另一端为吹扫气进气端；混合气进气端连接真空射流器的混合气出口，其管路上依次设有若干分配控制阀，分配控制阀的混合气输出通连接输出管的一端，输出管的另一端用于连接相应的工艺生产机台；吹扫管路，其出口连接混合输出分配管路的吹扫气进气端。本实用新型专利技术与现有技术相比，大大降低制造成本；提升了安全性；气液混合充分有效，控制有效可靠，操作简单。

A simple valve box for gas-liquid mixing

The utility model relates to the technical field of the bubbling device used in the semiconductor device manufacturing industry, in particular to a simple gas-liquid mixing valve box, which is provided with a gas carrying pipeline, a liquid source pipeline, a vacuum jet device, wherein the air inlet is connected with the outlet end of the gas carrying pipeline, the vacuum suction is connected with the outlet end of the liquid source pipeline, and the mixed output distribution pipeline, one end of which is mixed The gas inlet end is connected with the mixture outlet of the vacuum jet device, and the other end is the purge gas inlet end; the mixture inlet end is connected with the mixture outlet of the vacuum jet device, and the pipeline is successively provided with a number of distribution control valves. The mixture output of the distribution control valve is connected with one end of the output pipe, and the other end of the output pipe is used to connect the corresponding process production machine; the purge pipeline is connected with the outlet Connect the purge air inlet end of the mixed output distribution line. Compared with the prior art, the utility model greatly reduces the manufacturing cost; improves the safety; the gas-liquid mixing is fully effective, the control is effective and reliable, and the operation is simple.

【技术实现步骤摘要】
一种简易型气液混合阀门箱
本技术涉及半导体器件制造业所用的鼓泡装置
，具体地说是一种简易型气液混合阀门箱。
技术介绍
半导体/光伏/光纤等先进半导体器件制造业，会使用到如PoCl3、SiCl4、GeCl3等有毒有害化学液态源，生产机台端需要的是气液混合气，这就需要使用载气携带液体气化后的蒸气形式供应到机台端。目前通常使用的是鼓泡装置，也就是在液态源容器中，把载气通过管道通入容器底部，液态源气化后的蒸气分子依附在载气气体分子表面，通过载气气流被携带至后端的工艺生产机台。对液态源容器做恒温控制，保证在一定温度下液态源固定的饱和蒸气压，且使用MFC质量流量计对载气流量精确计量，来精确控制载气携带液态源蒸气的量进入工艺生产机台。上述处理方式会存在如下缺点：1.整个鼓泡系统配置复杂，制造成本很高。2.流量温度计量控制需要定期维护校准，使用维护复杂，维护成本也高。3.由于温度会影响液态源的饱和蒸气压，故不仅在源瓶和阀组面盘上要恒温，在液态源蒸气输送管路全程严格控制温度。4.温度流量等计量控制精确，适合用于工艺生产机台端对液态源蒸气量有严格要求的工艺生产。而目前有的工艺生产机台对液态源蒸气流量和压力有严格要求，而有的工艺生产机台对液态源蒸气流量幅度值要求很宽泛。综上所述，这就需要一种简易型的鼓泡装置，以适用于对液态源蒸气流量幅度值要求很宽泛的工艺生产机台。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种适用于对液态源蒸气流量幅度值要求很宽泛的工艺生产机台用的，且操作维护简便，成本低廉的简易型鼓泡装置。为实现上述目的，设计一种简易型气液混合阀门箱，包括箱体，其特征在于，在所述箱体内设有：——载气管路，用于输送载气，其进气口设于箱体上；——液态源管路，用于输送液态源，其进液口设于箱体上；——真空射流器，其进气口连接所述载气管路的出口端，其真空吸入口连接液态源管路的出口端，用于蒸发气化液态源并使之与载气混合形成混合气；——混合输出分配管路，其一端为混合气进气端，其另一端为吹扫气进气端；所述混合气进气端连接所述真空射流器的混合气出口，其管路上依次设有若干分配控制阀，分配控制阀的混合气输出通连接输出管的一端，输出管的另一端用于连接相应的工艺生产机台，为工艺生产机台输送混合气；——吹扫管路，其吹扫气进口设于箱体上，其出口连接所述混合输出分配管路的吹扫气进气端。进一步的，所述的箱体为带负压抽风系统的金属防爆柜体，金属防爆柜体正面还设有带防爆玻璃的柜门。进一步的，所述载气管路为采用1/4”管径的载气管道，并在载气管道上沿载气输送方向依次设有手动隔离阀MV1、减压阀REG1、压力表PG1、单向阀CV1、可调节式气体流量计LFM、气动隔离阀。进一步的，所述的液态源管路为采用1/4”管径的输液管道，并在输液管道上沿液态源输送方向依次设启动隔离阀AV1、第一压力传感器PT1、可设定流量的液体流量计LFM。进一步的，所述的分配控制阀采用T型三通阀。进一步的，所述的T型三通阀设有1～4个。进一步的，所述的混合输出分配管路采用1/2”管径的主管，且在混合气进气端和与之最近的T型三通阀之间的主管上设有第二压力传感器PT2。进一步的，所述的主管直至输出管分别设有伴热保温装置。进一步的，所述箱体上还设有若干用于侦测泄露用的传感器，所述传感器包括温度传感器、光感传感器、烟感传感器；所述箱体的底部还设有漏液开关。进一步的，所述的箱体的外壁上还固定设有实现自动控制用的电气控制箱。本技术与现有技术相比，具有如下优势：1、适用于生产机台对液态源蒸气流量幅度值要求很宽泛的一种简易型气液混合阀门箱，大大降低制造成本；2、液态源瓶外置在箱体外的气体房内，此混合阀门箱可以直接放置在工艺生产机台端附近，提升安全性；3、气液混合充分有效，控制有效可靠，操作简单，机械装置维护容易成本低。附图说明图1为本技术的工艺流程示意图。具体实施方式现结合附图及实施例对本技术作进一步地说明。实施例1参见图1，一种简易型气液混合阀门箱，包括箱体1，其特征在于，在所述箱体1内设有：——载气管路，用于输送载气，根据工艺生产机台需求和气体属性，通常选用的是H2和N2等作为载气，其进气口设于箱体1上；——液态源管路，用于输送液态源，其进液口设于箱体1上；——真空射流器4，其进气口连接所述载气管路的出口端，其真空吸入口连接液态源管路的出口端，用于蒸发气化液态源并使之与载气混合形成混合气；其工作原理：载气气体经过真空射流器中的细长混气段时，载气以高速流动，会在混气段形成真空，由其真空吸入口吸入少量液态源，液态源进入混气段后立即蒸发气化，在真空射流器4的喉管处与载气气体充分剧烈混合，未气化的微小液珠也会依附在载气气体表面，形成均匀气液混合气；——混合输出分配管路，其一端为混合气进气端，其另一端为吹扫气进气端；所述混合气进气端连接所述真空射流器4的混合气出口，其管路上依次设有若干T型三通阀，T型三通阀的混合气输出通连接输出管的一端，输出管的另一端用于连接相应的工艺生产机台，为工艺生产机台输送混合气；——吹扫管路，其吹扫气进口设于箱体1上，其出口连接所述混合输出分配管路的吹扫气进气端。当整个系统需要维护时，通过吹扫气体和工艺生产机台的真空泵抽真空相配合，可以对系统的管路及阀件进行有效置换吹扫净。进一步的，所述的箱体1为带负压抽风系统2的金属防爆柜体，金属防爆柜体正面还设有带防爆玻璃的柜门。进一步的，所述载气管路为采用1/4”管径的载气管道，并在载气管道上沿载气输送方向依次设有手动隔离阀MV1、减压阀REG1、压力表PG1、单向阀CV1、可调节式气体流量计LFM、气动隔离阀。进一步的，所述的液态源管路为采用1/4”管径的输液管道，并在输液管道上沿液态源输送方向依次设启动隔离阀AV1、第一压力传感器PT1、可设定流量的液体流量计LFM。进一步的，所述的分配控制阀采用T型三通阀。本案中采用T型三通阀的原因是，一旦分配控制阀有混合气残留的话，时间长了随着温度和压力的变化，液体蒸气有冷凝风险，气液局部分离造成对工艺机台不利的风险。而当T型三通阀关闭后，阀门内部无死角，不会有混合气残留。进一步的，所述的T型三通阀设有1～4个。进一步的，所述的混合输出分配管路采用1/2”管径的主管，且在混合气进气端和与之最近的T型三通阀之间的主管上设有第二压力传感器PT2。进一步的，所述的主管直至输出管分别设有伴热保温装置，比如电加热带，以防止温度压力变化引起的管道内蒸气冷凝。进一步的，所述箱体1上还设有若干用于侦测泄露用的传感器，所述传感器包括温度传感器、光感传感器、烟感传感器；所述箱体1的底部还设有漏液开关，防止漏液。进一步的，所述的箱体1的外壁上还固定设有实现自动控制用的电气控制箱3，可用于集中控制各种电控类阀门、真空射流器，并同时获取相关电控类阀门、真空射流器，及各种流量计、压力表的相关数据，进一步的也可以控制负压抽风系统2。在工艺生产机台试生产过程中，通过大致调节载气流量计和液体流量计，也即本案中的可调节式气体流量计和可设定流量的液体流量计来大致控制一个液态源蒸气含量比的混合气流量；由于真空射流器对液体的蒸发气化量小，故通常设置为4个混合气出口，同时满足4个工艺机台的生产需求量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种简易型气液混合阀门箱，包括箱体(1)，其特征在于，在所述箱体(1)内设有：——载气管路，用于输送载气，其进气口设于箱体(1)上；——液态源管路，用于输送液态源，其进液口设于箱体(1)上；——真空射流器(4)，其进气口连接所述载气管路的出口端，其真空吸入口连接液态源管路的出口端，用于蒸发气化液态源并使之与载气混合形成混合气；——混合输出分配管路，其一端为混合气进气端，其另一端为吹扫气进气端；所述混合气进气端连接所述真空射流器(4)的混合气出口，其管路上依次设有若干分配控制阀，分配控制阀的混合气输出通连接输出管的一端，输出管的另一端用于连接相应的工艺生产机台，为工艺生产机台输送混合气；——吹扫管路，其吹扫气进口设于箱体(1)上，其出口连接所述混合输出分配管路的吹扫气进气端。

【技术特征摘要】
1.一种简易型气液混合阀门箱，包括箱体(1)，其特征在于，在所述箱体(1)内设有：——载气管路，用于输送载气，其进气口设于箱体(1)上；——液态源管路，用于输送液态源，其进液口设于箱体(1)上；——真空射流器(4)，其进气口连接所述载气管路的出口端，其真空吸入口连接液态源管路的出口端，用于蒸发气化液态源并使之与载气混合形成混合气；——混合输出分配管路，其一端为混合气进气端，其另一端为吹扫气进气端；所述混合气进气端连接所述真空射流器(4)的混合气出口，其管路上依次设有若干分配控制阀，分配控制阀的混合气输出通连接输出管的一端，输出管的另一端用于连接相应的工艺生产机台，为工艺生产机台输送混合气；——吹扫管路，其吹扫气进口设于箱体(1)上，其出口连接所述混合输出分配管路的吹扫气进气端。2.如权利要求1所述的一种简易型气液混合阀门箱，其特征在于：所述的箱体(1)为带负压抽风系统(2)的金属防爆柜体，金属防爆柜体正面还设有带防爆玻璃的柜门。3.如权利要求1所述的一种简易型气液混合阀门箱，其特征在于：所述载气管路为采用1/4”管径的载气管道，并在载气管道上沿载气输送方向依次设有手动隔离阀MV1、减压阀REG1、压力表PG1、单向阀CV1、可调节...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈一林，效义，薛元，
申请(专利权)人：至砾机电设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31