一种蒸发源挡板制造技术

本发明专利技术涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。所述一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、磁场检测器、磁感应开关和金属片；挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；第一挡板部与载台相向设置，第三挡板部与载台相向设置；金属片分别设置于第一挡板部与载台相对应的下端、及第三挡板部与载台相对应的下端；磁感应开关设置于载台上；金属片与磁感应开关相向设置；磁场检测器分别设置于金属片两侧，磁场检测器与磁感应开关相向设置。通过该装置，磁场检测器可通过检测每次传送的磁场是否相同，若不同，则说明挡板发生形变而偏移，则会发出警报，告知工作人员发生异常。

A kind of baffle for steam source

The invention relates to the technical field of high vacuum equipment, in particular to a steam source baffle plate. The invention relates to a steam source baffle, which comprises a carrier, a baffle, a magnetic field detector, a magnetic induction switch and a metal sheet; the baffle comprises a first baffle part, a second baffle part and a third baffle part; the second baffle part is concave to cover the steam source opening; the first baffle part is arranged opposite to the carrier, and the third baffle part is arranged opposite to the carrier; the metal sheet is respectively arranged at the first baffle part and the carrier The lower end corresponding to the stage, and the lower end corresponding to the third baffle part and the stage; the magnetic induction switch is arranged on the stage; the metal sheet and the magnetic induction switch are arranged in the opposite direction; the magnetic field detector is arranged on both sides of the metal sheet respectively, and the magnetic field detector and the magnetic induction switch are arranged in the opposite direction. Through the device, the magnetic field detector can detect whether the magnetic field transmitted each time is the same. If it is different, it means that the baffle plate is deformed and displaced, and it will give an alarm to inform the staff of the abnormality.

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发源挡板
本专利技术涉及高真空设备
，特别涉及一种蒸发源挡板。
技术介绍
在OLED蒸镀工艺中采用的小挡板(sourceshutter或smallshutter)，它是蒸发源上部存在的一块不可或缺的挡板，经过加热源对装有有机材料的坩埚进行加热升温，当达到一定温度后，只有当小挡板打开，才会让有机材料蒸汽蒸发出来，被Crystal(石英晶振片)传感器检测到后显示为蒸发源的蒸发速率。而小挡板都是直接采用金属挡板经过加工后便投入使用，在真空镀膜作业过程中，蒸发源小挡板需要不断地进行开合运动或是受到蒸发源高温对其的影响，容易造成弯曲或偏移形变等问题，致使无法完成真空镀膜，而这种异常不能被设备所识别，就不会发出警报，需要操作人员逐一排查引起设备停止运行的原因，造成不必要时间的消耗和人力浪费。
技术实现思路
为此，需要提供一种蒸发源挡板，用以解决现有蒸发源挡板出现弯曲或形变，却无法被设备识别，需要人工逐一排查，造成时间和人力浪费的问题。具体技术方案如下：一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、磁场检测器、磁感应开关和金属片；所述挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；所述第二挡板部分别连接所述第一挡板部和所述第三挡板部，所述第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；所述第一挡板部与所述载台相向设置，所述第三挡板部与所述载台相向设置；所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；所述磁感应开关设置于所述载台上；所述金属片与所述磁感应开关相向设置；所述磁场检测器分别设置于所述金属片两侧，所述磁场检测器与所述磁感应开关相向设置。进一步的，还包括：定位片；所述磁场检测器通过定位片分别设置于所述第一挡板部和所述第三挡板部；所述磁感应开关通过定位片设置于所述载台上。进一步的，所述金属片与所述磁感应开关中间部位相向设置。本专利技术的有益效果是：所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；所述磁感应开关设置于所述载台上；所述金属片与所述磁感应开关相向设置；则可通过控制磁感应开关的开与关，来控制对金属片的吸附与脱附，进而控制挡板的开闭，即如果通有磁场，挡板则会吸在载台上，相反，未有磁场时，挡板则不会被吸在载台上。所述磁场检测器分别设置于所述金属片两侧，所述磁场检测器与所述磁感应开关相向设置，磁场检测器可通过检测每次传送的磁场是否相同(可以是这一次检测的磁场与上一次检测的对比，或是这一次检测的磁场之间相互比对)，若不同，则说明挡板发生形变而偏移，则会发出警报，告知工作人员发生异常。附图说明图1为具体实施方式所述现有技术蒸发源与挡板的位置示意图；图2为具体实施方式所述现有技术挡板发生异常的示意图；图3为具体实施方式所述一种蒸发源挡板的示意图；图4为具体实施方式所述一种蒸发源挡板包括定位片的示意图；图5为具体实施方式所述发出警报的示意图。附图标记说明：1、载台，2、挡板，3、磁场检测器，4、磁感应开关，5、金属片，6、定位片，7、第一挡板部，8、第二挡板部，9、第三挡板部。具体实施方式为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。请参阅图1至图5，在本实施方式中，一种蒸发源挡板的具体实施方式如下：一种蒸发源挡板，包括：载台1、挡板2、磁场检测器3、磁感应开关4和金属片5；所述挡板2包括：第一挡板部7、第二挡板部8和第三挡板部9；所述第二挡板部8分别连接所述第一挡板部7和所述第三挡板部9，所述第二挡板部8内凹用于遮盖蒸发源开口；所述第一挡板部7与所述载台1相向设置，所述第三挡板部9与所述载台1相向设置；所述金属片5分别设置于所述第一挡板部7与所述载台1相对应的下端、及所述第三挡板部9与所述载台1相对应的下端；所述磁感应开关4设置于所述载台1上；所述金属片5与所述磁感应开关4相向设置；所述磁场检测器3分别设置于所述金属片5两侧，所述磁场检测器3与所述磁感应开关4相向设置。如图1所示，现有技术中挡板2与载台1的结构关系如图所示，如图2所示，挡板2在蒸膜作业中已发生形变导致错位或放置位置不正确，此时支持Pin已无法刚好穿过孔洞。如图3所示，在本实施方式中，金属片5分别设置于所述第一挡板部7与所述载台1相对应的下端、及所述第三挡板部9与所述载台1相对应的下端，而磁感应开关4设置于所述载台1上，所述金属片5与所述磁感应开关4相向设置，故而可通过控制磁感应开关4的开与关，来控制对金属片5的吸附与脱附，进而控制挡板2的开闭，当通有磁场时，挡板2则会吸在载台1上，相反，未有磁场时，挡板2则不会被吸在载台1上。其中，所述磁场检测器3分别设置于所述金属片5两侧，所述磁场检测器3与所述磁感应开关4相向设置，磁场检测器3可通过检测每次传送的磁场是否相同(可以是这一次检测的磁场与上一次检测的对比，或是这一次检测的磁场之间相互比对)，若不同，则说明挡板2发生形变而偏移，则会发出警报，告知工作人员发生异常。请参阅图5，在本实施方式中，发出警报的过程大致如下：首先磁场检测器3的连接位点将检测到的信号传输至可编程序控制器(PLC)上，然后PLC将信号传送至可视化的GPCS上面(电脑显示器)，从而与GPCS连接的蜂鸣器就会发出警报声或是在电脑显示器上显示异常红字。需要说明的是，在其它实施方式中，发出警报的方式有各种各样，在这边不做一一说明。进一步，如图4所示，优选地，在本实施方式中，还包括：定位片6；所述磁场检测器3通过定位片6分别设置于所述第一挡板部7和所述第三挡板部9；所述磁感应开关4通过定位片6设置于所述载台1上。定位片6不仅价格低，且结构简单安装方便。进一步，优选地，在本实施方式中，所述金属片5与所述磁感应开关4中间部位相向设置。所述金属片5与所述磁感应开关4中间部位相向设置，即所述金属片5的中间部位与磁感应开关4的中间部位相对应，通过金属片5与所述磁感应开关4中间部位相向设置，在挡板2未发生形变时，设置在金属片5两侧的磁场检测器3检测到的磁场强度则是相同的，故而每次只需比对该次不同的磁场检测器3检测到的磁场强度彼此之间是否相同，即可达到判断挡板2是否发生异常的效果。需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本专利技术的专利保护范围。因此，基于本专利技术的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本专利技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的
，均包括在本专利技术的专利保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源挡板，其特征在于，包括：载台、挡板、磁场检测器、磁感应开关和金属片；所述挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；所述第二挡板部分别连接所述第一挡板部和所述第三挡板部，所述第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；所述第一挡板部与所述载台相向设置，所述第三挡板部与所述载台相向设置；所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；所述磁感应开关设置于所述载台上；所述金属片与所述磁感应开关相向设置；所述磁场检测器分别设置于所述金属片两侧，所述磁场检测器与所述磁感应开关相向设置。

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源挡板，其特征在于，包括：载台、挡板、磁场检测器、磁感应开关和金属片；所述挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；所述第二挡板部分别连接所述第一挡板部和所述第三挡板部，所述第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；所述第一挡板部与所述载台相向设置，所述第三挡板部与所述载台相向设置；所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；所述磁感应开关...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄逸臻，孙玉俊，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35