一种芯片硅生产用外部防护装置及使用方法制造方法及图纸

技术编号:22496460 阅读:17 留言:0更新日期:2019-11-09 00:22
本发明专利技术公开了一种芯片硅生产用外部防护装置及使用方法,包括顶板,所述顶板底面一体设置有固定框,所述固定框两外侧均连接有导向板,所述导向板表面贯穿设置有导向孔,所述固定框外侧套装有升降框,所述升降框两外侧连接有承载板,所述承载板上表面安装有导向柱,所述导向柱外侧套装有压紧弹簧,所述导向柱上端贯穿所述导向孔且连接有连接板,所述连接板底面连接有升降柱,所述升降柱底端伸入所述固定框内部且连接有弹性伸缩杆,所述弹性伸缩杆的伸缩端安装有刮板。有益效果在于:利用压紧弹簧压动承载板,使承载板通过导向柱、连接板和升降柱带动刮板下降,通过刮板对固定框内壁进行刮清,无需人工刮清,便于实现砂浆的回收再利用。

An external protective device for chip silicon production and its application method

The invention discloses an external protective device for chip silicon production and a use method, including a top plate, the bottom surface of the top plate is integrally provided with a fixed frame, the two outer sides of the fixed frame are connected with a guide plate, the guide plate surface is penetrated with a guide hole, the outer side of the fixed frame is equipped with a lifting frame, the two outer sides of the lifting frame are connected with a bearing plate, and the upper surface of the bearing plate is installed A guide column is installed, the outer side of the guide column is equipped with a compression spring, the upper end of the guide column is penetrated through the guide hole and connected with a connecting plate, the bottom surface of the connecting plate is connected with a lifting column, the bottom end of the lifting column is extended into the interior of the fixed frame and connected with an elastic expansion rod, and the expansion end of the elastic expansion rod is equipped with a scraper. The beneficial effect is that the compression spring is used to press the bearing plate, so that the bearing plate drives the scraper down through the guide column, the connecting plate and the lifting column, and the inner wall of the fixed frame is scraped by the scraper, without manual scraping, so as to realize the recycling of mortar.

【技术实现步骤摘要】
一种芯片硅生产用外部防护装置及使用方法
本专利技术涉及取药装置
,具体涉及一种芯片硅生产用外部防护装置及使用方法。
技术介绍
硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有着惊人的运算能力。在硅片生产过程中,常采用多线切割装置对硅锭进行切割,从而得到硅片,切割过程中驱动台带动硅锭升降,通过动力辊带动粘有砂浆的切割线旋转,通过切割线对硅锭进行切割,为了防止切割时砂浆飞溅,便于对砂浆进行回收再利用,需要使用防护装置进行防护。但是,目前的防护装置进行防止砂浆飞溅,无法实现对其内壁粘附的砂浆进行自动刮清,需要人工清理,增加了操作人员的劳动量,使用效果不理想。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种芯片硅生产用外部防护装置,以解决现有技术中目前的防护装置进行防止砂浆飞溅,无法实现对其内壁粘附的砂浆进行自动刮清,需要人工清理,增加了操作人员的劳动量,使用效果不理想等技术问题。本专利技术提供的诸多技术方案中优选的技术方案利用压紧弹簧压动承载板,使承载板通过导向柱、连接板和升降柱带动刮板下降,通过刮板对固定框内壁进行刮清,无需人工刮清,便于实现砂浆的回收再利用,防止造成浪费等技术效果,详见下文阐述。为实现上述目的,本专利技术提供了以下技术方案:本专利技术提供的一种芯片硅生产用外部防护装置,包括下罩体和顶板,所述下罩体包围在两根动力辊外侧,所述顶板表面贯穿设置有通槽和升降孔,所述通槽位于所述顶板中心且与驱动台相对应,所述升降孔共有两根且对称分布在所述通槽两侧,所述顶板上表面设置有悬挂组件,用于将所述顶板悬挂在驱动台外侧;所述顶板底面一体设置有固定框,所述固定框两外侧均连接有导向板,所述导向板表面贯穿设置有导向孔,所述固定框外侧套装有升降框,所述升降框位于所述下罩体正上方且与所述固定框间隙配合,所述升降框两外侧连接有承载板,所述承载板上表面安装有导向柱,所述导向柱外侧套装有压紧弹簧,所述压紧弹簧位于所述承载板和所述导向板之间,所述导向柱上端贯穿所述导向孔且连接有连接板,所述连接板底面连接有升降柱,所述升降柱底端从所述升降孔伸入所述固定框内部且连接有弹性伸缩杆,所述弹性伸缩杆的伸缩端水平向所述固定框内部延伸且安装有刮板,所述刮板与所述固定框内壁接触,用于对所述固定框内壁进行刮清。作为优选,所述悬挂组件包括承载立板和固定板,所述固定板安装在驱动台上表面,所述固定板侧面贯穿设置有锁紧孔,所述承载立板安装在所述顶板上表面且与所述固定板相对应,所述承载立板远离所述固定板的侧面水平安装有导向管,所述导向管与所述锁紧孔同轴,所述导向管外壁贯穿设置有导向槽,所述导向槽沿着所述导向管轴向延伸,所述导向管内部滑动安装有锁紧柱,所述锁紧柱远离所述固定板的端部设置有拨杆,所述拨杆从所述导向槽内部穿出,所述锁紧柱靠近所述固定板的端部贯穿所述承载立板且向所述锁紧孔延伸,所述锁紧柱外侧设置有压板,所述锁紧柱贯穿所述压板,所述压板位于所述承载立板和所述固定板之间,所述锁紧柱外侧套装有锁紧弹簧,所述锁紧弹簧位于所述压板和所述承载立板之间。作为优选,所述拨杆端部设置有拉环。作为优选,所述导向管外壁贯穿设置有限位槽,所述限位槽靠近所述承载立板,所述限位槽沿着所述导向管径向延伸且与所述导向槽相连通。作为优选,所述弹性伸缩杆包括固定管,所述固定管一端密封且另一端开口,所述固定管密封端与所述升降柱相连接,所述固定管的开口端靠近所述固定框内壁且安装有限位板,所述限位板内部贯穿设置有滑动孔,所述滑动孔内部滑动安装有滑动杆,所述滑动杆外端与所述刮板相连接,所述滑动杆内端伸入所述固定管内部且连接有滑动块,所述滑动块与所述固定管密封端之间连接有撑顶弹簧。作为优选,所述滑动杆和所述滑动孔的截面均为方形,且所述滑动杆与所述滑动孔间隙配合。作为优选,所述刮板底面为斜面,且所述刮板向所述固定框内壁延伸方向的厚度逐渐增加。作为优选,所述固定框的底面为斜面,且所述固定框向所述升降框延伸方向的壁厚逐渐减小。芯片硅生产用外部防护装置的使用方法,包括以下步骤:a、进行安装时,使驱动台位于所述通槽内部,通过所述悬挂组件将所述顶板悬挂在驱动台外侧,将所述下罩体安装在两根动力辊外侧,使所述下罩体位于所述升降框正下方;b、进行硅锭切割时,驱动台带动硅锭下降,随着驱动台的下降,所述升降框与所述下罩体相接触,此时动力辊带动切割线旋转,驱动台继续下降,在所述下罩体的阻力作用下,所述压紧弹簧收缩,在所述导向柱和所述导向孔的限位导向作用下,所述固定框相对所述升降框下降,当切割线与硅锭接触时,通过切割线对硅锭进行切割,通过驱动台带动硅锭下降进给,逐步对硅锭进行切割;c、在切割过程中,切割线表面沾附的砂浆飞溅在所述升降框和所述固定框的内壁,随着驱动台的下降进给,所述固定框相对所述升降框下降,通过所述固定框将所述升降框内壁粘附的砂浆刮清至所述下罩体内部,与此同时所述刮板在所述连接板和所述升降柱的带动下,相对所述固定框上升;d、完成对硅锭的切割时,驱动台带动顶板上升,利用所述压紧弹簧的弹力下压所述承载板,所述固定框相对所述升降框上升,所述刮板在所述导向柱、所述连接板和所述升降柱的带动下相对所述固定框下降,利用所述弹性伸缩杆的弹力推动所述刮板与所述固定框内壁充分接触,通过所述刮板对所述固定框内壁进行刮清,实现所述固定框内壁粘附的砂浆的自动刮清,无需人工清理。有益效果在于:利用压紧弹簧压动承载板,使承载板通过导向柱、连接板和升降柱带动刮板下降,通过刮板对固定框内壁进行刮清,无需人工刮清,便于实现砂浆的回收再利用,防止造成浪费。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术的立体结构示意图;图2是图1的A部分放大示意图;图3是本专利技术的悬挂组件结构放大示意图;图4是本专利技术的主视剖视图;图5是图4的B部分放大示意图;图6是本专利技术的弹性伸缩杆结构放大示意图。附图标记说明如下:1、下罩体;2、动力辊;3、切割线;4、升降框;5、固定框;6、顶板;601、通槽;602、升降孔;7、导向板;701、导向孔;8、连接板;9、悬挂组件;901、承载立板;902、限位槽;903、导向管;904、导向槽;905、拉环;906、拨杆;907、固定板;908、压板;909、锁紧弹簧;9010、锁紧柱;9011、锁紧孔;10、驱动台;11、压紧弹簧;12、导向柱;13、承载板;14、硅锭;15、升降柱;16、刮板;17、弹性伸缩杆;1701、固定管;1702、撑顶弹簧;1703、滑动块;1704、限位板;1705、滑动杆;1706、滑动孔。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将对本专利技术的技术方案进行详细的描述。显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式,都属于本专利技术所保护的范围。参见图1-图6所示,本专利技术提供了一种芯片硅生产用外部防护装置,包括下罩体1和顶板6,下罩体1包围在两本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片硅生产用外部防护装置,其特征在于:包括下罩体(1)和顶板(6),所述下罩体(1)包围在两根动力辊(2)外侧,所述顶板(6)表面贯穿设置有通槽(601)和升降孔(602),所述通槽(601)位于所述顶板(6)中心且与驱动台(10)相对应,所述升降孔(602)共有两根且对称分布在所述通槽(601)两侧,所述顶板(6)上表面设置有悬挂组件(9),用于将所述顶板(6)悬挂在驱动台(10)外侧;所述顶板(6)底面一体设置有固定框(5),所述固定框(5)两外侧均连接有导向板(7),所述导向板(7)表面贯穿设置有导向孔(701),所述固定框(5)外侧套装有升降框(4),所述升降框(4)位于所述下罩体(1)正上方且与所述固定框(5)间隙配合,所述升降框(4)两外侧连接有承载板(13),所述承载板(13)上表面安装有导向柱(12),所述导向柱(12)外侧套装有压紧弹簧(11),所述压紧弹簧(11)位于所述承载板(13)和所述导向板(7)之间,所述导向柱(12)上端贯穿所述导向孔(701)且连接有连接板(8),所述连接板(8)底面连接有升降柱(15),所述升降柱(15)底端从所述升降孔(602)伸入所述固定框(5)内部且连接有弹性伸缩杆(17),所述弹性伸缩杆(17)的伸缩端水平向所述固定框(5)内部延伸且安装有刮板(16),所述刮板(16)与所述固定框(5)内壁接触,用于对所述固定框(5)内壁进行刮清。...

【技术特征摘要】
1.一种芯片硅生产用外部防护装置,其特征在于:包括下罩体(1)和顶板(6),所述下罩体(1)包围在两根动力辊(2)外侧,所述顶板(6)表面贯穿设置有通槽(601)和升降孔(602),所述通槽(601)位于所述顶板(6)中心且与驱动台(10)相对应,所述升降孔(602)共有两根且对称分布在所述通槽(601)两侧,所述顶板(6)上表面设置有悬挂组件(9),用于将所述顶板(6)悬挂在驱动台(10)外侧;所述顶板(6)底面一体设置有固定框(5),所述固定框(5)两外侧均连接有导向板(7),所述导向板(7)表面贯穿设置有导向孔(701),所述固定框(5)外侧套装有升降框(4),所述升降框(4)位于所述下罩体(1)正上方且与所述固定框(5)间隙配合,所述升降框(4)两外侧连接有承载板(13),所述承载板(13)上表面安装有导向柱(12),所述导向柱(12)外侧套装有压紧弹簧(11),所述压紧弹簧(11)位于所述承载板(13)和所述导向板(7)之间,所述导向柱(12)上端贯穿所述导向孔(701)且连接有连接板(8),所述连接板(8)底面连接有升降柱(15),所述升降柱(15)底端从所述升降孔(602)伸入所述固定框(5)内部且连接有弹性伸缩杆(17),所述弹性伸缩杆(17)的伸缩端水平向所述固定框(5)内部延伸且安装有刮板(16),所述刮板(16)与所述固定框(5)内壁接触,用于对所述固定框(5)内壁进行刮清。2.根据权利要求1所述一种芯片硅生产用外部防护装置,其特征在于:所述悬挂组件(9)包括承载立板(901)和固定板(907),所述固定板(907)安装在驱动台(10)上表面,所述固定板(907)侧面贯穿设置有锁紧孔(9011),所述承载立板(901)安装在所述顶板(6)上表面且与所述固定板(907)相对应,所述承载立板(901)远离所述固定板(907)的侧面水平安装有导向管(903),所述导向管(903)与所述锁紧孔(9011)同轴,所述导向管(903)外壁贯穿设置有导向槽(904),所述导向槽(904)沿着所述导向管(903)轴向延伸,所述导向管(903)内部滑动安装有锁紧柱(9010),所述锁紧柱(9010)远离所述固定板(907)的端部设置有拨杆(906),所述拨杆(906)从所述导向槽(904)内部穿出,所述锁紧柱(9010)靠近所述固定板(907)的端部贯穿所述承载立板(901)且向所述锁紧孔(9011)延伸,所述锁紧柱(9010)外侧设置有压板(908),所述锁紧柱(9010)贯穿所述压板(908),所述压板(908)位于所述承载立板(901)和所述固定板(907)之间,所述锁紧柱(9010)外侧套装有锁紧弹簧(909),所述锁紧弹簧(909)位于所述压板(908)和所述承载立板(901)之间。3.根据权利要求2所述一种芯片硅生产用外部防护装置,其特征在于:所述拨杆(906)端部设置有拉环(905)。4.根据权利要求2所述一种芯片硅生产用外部防护装置,其特征在于:所述导向管(903)外壁贯穿设置有限位槽(902),所述限位槽(902)靠近所述承载立板(901),所述限位槽(902)沿着所述导向管(903)径向延伸且与所述导向槽(904)相连通。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭志宏
申请(专利权)人:大同新成新材料股份有限公司
类型:发明
国别省市:山西,14

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