导流式双孔真空阀制造技术

一种真空阀，具有并列连接腔孔与泵孔的主流道及副流道、打开关闭所述主流道中的主阀座的主阀体，和打开关闭副流道中的副阀座的副阀体，在所述主阀体上，除了提升式地打开关闭主阀座的阀密封部件外，还设置了嵌装在主阀座内孔中的且逐渐变尖细的流量调节部，在打开所述副阀体之后打开主阀体时，使该流量调节部发挥使排气流量逐渐增大的功能。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及接在真空腔与真空泵之间、逐渐把真空腔内压力降低到真空压力的导流式双孔真空阀。因此，在连接上述真空腔与真空泵的流道中，设置了具有流道面积大的主阀体和流道面积小的副阀体的真空阀，如图7所示，首先，在通过气压使流道面积小的副阀体打开地进行初期排气后，通过打开流道面积大的主阀体而使气体吸入量分阶段变化。不过，由于主阀体的流道面积明显比副阀体的大，所以即便在打开副阀体时进行初期排气后马上打开主阀体，仍然会产生激烈的流量变化，结果，容易在真空腔内发生气体紊流。为实现上述目的，本专利技术提供了一种导流式双孔真空阀，它具有用于与真空腔相连的腔孔及用于与真空泵相连的泵孔；具有这些孔的阀壳；并列连接所述腔孔与泵孔的、截面面积大的主流道及截面面积比该主流道小的副流道；打开关闭所述主流道中的主阀座的主阀体及打开关闭所述副流道中的副阀座的副阀体；通过第一阀杆与该主阀体相连的第一活塞及通过第二阀杆与该副阀体相连的第二活塞；使开阀方向上的气压作用在第一活塞上的主压力作用室及使开阀方向上的气压作用在第二阀杆上的副压力作用室；在关阀方向上对所述主阀体施加弹力的第一弹簧件及在关阀方向上对所述副阀体施加弹力的第二弹簧件，所述主阀体具有通过接触和离开所述主阀座而提升地打开关闭该主阀座的阀密封部件、和嵌在该主阀座的内孔中并通过该阀密封部件在该内孔中移动的柱形流量调节部，所述流量调节部具有这样的功能，即它通过逐渐变尖细的结构而在所述阀密封部件打开时使流动于主流道中的空气流量逐渐增大。具有上述结构的本专利技术真空阀在排放真空腔内气体的场合下，例如通过气压使副阀体动作以打开流道面积小的副阀座，由此进行初期排气，随后，使主阀体动作以打开流道面积大的主阀座，由此进行以后的排气。此时，由于所述主阀体具有逐渐变尖细的柱形流量调节部，所以，由于该流量调节部发挥了在主阀体打开时逐渐增大流动于主流道中的空气流量的作用，所以防止了由剧烈排气而引发的真空阀内的紊流。根据本专利技术的具体实施形式，所述主阀体在与该流量调节部相连的位置上具有比该流量调节部粗的止动部，在所述主阀座的内孔中形成了嵌接并定位该止动部的阶梯部，通过这些止动部和阶梯部而限定了所述主阀体的关阀位置。所述主阀体的流量调节部在轴线方向上连续地具有多个坡度不同的斜面，或者通过多个平滑曲面而逐渐成尖细的形状。根据本专利技术的其它具体实施形式，所述副流道及副阀体被组装到所述主阀体内，所述第二活塞及副压力作用室被组装到第一活塞内，所述第二阀杆被细装到第一阀杆内，所述主阀体在与所述流量调节部相连的位置上具有比该流量调节部粗的止动部，在所述主阀座的内孔中形成了嵌接并定位该止动部的阶梯部，通过这些止动部和阶梯部而限定了所述主阀体的关阀位置。在这种场合下，可以形成为，所述第一活塞具有连同所述主压力作用室与副压力作用室的通孔，所述阀壳具有一个用于给所述主压力作用室输送压缩空气的操作孔。或者，可以形成为，所述阀壳具有用于单独地给所述主压力作用室和副压力作用室输送压缩空气的第一及第二操作孔，其中第一操作孔通过设置于阀壳上的通孔与主压力作用室连通，第二操作孔能够通过设置于阀壳和第一阀杆内部的通孔与副压力作用室连通图2是表示本专利技术的真空阀第2实施例的截面图，它分别示出了副阀体的打开状态和关闭状态。图3是表示本专利技术的真空阀第3实施例的截面图，它分别示出了副阀体的打开状态和关闭状态。图4是表示本专利技术真空阀的操作压力和排气流量之间关系的特性图。图5是表示本专利技术真空阀的主阀体的其它结构的主要部分的截面图。图6是表示本专利技术真空阀的主阀体的其它结构的主要部分的截面图。图7是表示传统真空阀的操作压力与排气流量之间的关系的特性图。所述主阀机构具有打开关闭主流道A中的主阀座7的主阀体8、通过气压作用而动作地驱动主阀体8的第一活塞9、把主阀体7与第一活塞9连接起来的第一阀杆10。主阀体8包括中央开口的圆盘形第一阀座6、安装在所述第一阀座6的周边部上的环形阀密封部件8a，它通过使阀密封部件8a接触离开主阀座7而提升地打开关闭主阀座7。主阀座8还与第一阀座6一体地具有嵌装在主阀座7的内孔7a中的短圆柱形止动部68和流量调节部69。其中，位于第一阀座6的根部侧的止动部68具有一致的直径，从而它在主阀体8关阀时抵靠着内孔7a内周的阶梯部7b，通过这种抵接，限定了主阀体8的关阀位置。流量调节部69被设置在比止动部68更靠近主阀体8前端的附近位置上，通过在轴线方向上连续地具有坡度不同的多个斜面69a、69b，从而逐渐形成了尖细形状。因而，通过随着阀密封部件8a的打开而在内孔7a内移动，使该流量调节部发挥了使流动于主流道A中的空气流量逐渐增大的功能。当主阀体8一直移动到打开行程结束时，该流量调节部69处于从主阀座7的内孔7a中完全抽出的位置上。所述第一阀座6的中央开口形成了副流道B的一部分，并且它通过设置于第一阀座6中的通道72与泵孔4连通第一阀杆10的前端部嵌装并止动于第一阀座6的中央部内，并且通过止动轮11被固定住而不能被拔出。图中的12是保持第一阀杆10与第一阀座6之间的气密性的密封件。第一阀杆10的后端部通过导套14及密封件30可自由滑动且不透气地贯通了阀壳1内部的台座13，所述后端部突出到成型于台座13、缸15及上述盖子2之间的第一活塞室16内，并且它通过螺母17与可自由滑动地设置在第一活塞室16中的第一活塞9气密连接。第一活塞9在其外周上具有气密地滑动于第一活塞室16的内壁上的垫圈18及导杆19，在第一活塞9与台座13之间分段形成的主压力作用室20与开没于汽缸15侧壁上的操作孔21连通。因此，当通过所述操作孔21给主压力作用室20供应压缩空气时，第一活塞9后退地打开了主阀体8。在这种场合下，在上述操作孔21中供应通过电动气动调节器而控制压力的压缩空气。在所述阀壳1内部，在装于上述第一阀座6上的弹簧座22与台座13之间，设置了由沿着闭锁方向对主阀体8施加弹力的两个卷簧23a、23b构成的第一弹簧件23，与此同时，在夹在阀壳1与台座13之间的波纹管座25与第一阀座6之间，设置了内藏第一阀杆10与两个弹簧23a、23b的波纹管27。图中的28是保持阀壳1与波纹管座25之间的气密性的密封件。31是连通波纹管27的内侧空间与外界的呼吸孔，32是连接第一活塞9的后面的呼吸室与外界的呼吸孔。另一方面，所述副阀机构具有打开关闭设置于主阀体8上的副流道B中的副阀座35的副阀体36、通过气压作用而动作地驱动副阀体36的第二活塞37、连接副阀体36和第二活塞37的第二阀杆38，这些部件如下所述地与上述主阀机构组装成一体。就是说，副阀座35被安装在通过固定螺栓33被同轴固定于第一阀座6中央凹窝内的圆环形第二阀座34上。副阀体36具有通过接触离开副阀座35而提升地打开关闭在副阀座35的凸缘状阀密封部件36a，和嵌在副阀座35内孔35a中的针阀形流量调节部36b，副阀体可前后自由滑动地容放在成型于第一阀杆10的前端上的中空部10a内，并且通过由卷簧构成的第三弹簧件40在关阀方向上承受弹力。图中的42是使副阀体36的后室与外界连通的呼吸孔，43是保持第一阀杆10与副阀体36之间的气密性的密封件。第二阀杆38气密且可自由滑动地插在第一阀杆10内，其后端部突出在成型本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种导流式双孔真空阀，其特征在于，它具有：用于与真空腔相连的腔孔及用于与真空泵相连的泵孔；具有这些孔的阀壳；并列连接所述腔孔与泵孔的截面面积大的主流道及截面面积比该主流道小的副流道；打开关闭所述主流道中的主阀座的主阀体及打开关闭所述副流道中的副阀座的副阀体；通过第一阀杆与该主阀体相连的第一活塞及通过第二阀杆与该副阀体相连的第二活塞；使开阀方向上的气压作用在第一活塞上的主压力作用室及使开阀方向上的气压作用在第二阀杆上的副压力作用室；在关阀方向上对所述主阀体施加弹力的第一弹簧件及在关阀方向上对所述副阀体施加弹力的第二弹簧件，所述主阀体具有通过接触和离开所述主阀座而提升地打开关闭该主阀座的阀密封部件，和嵌在该主阀座的内孔中并通过打开关闭该阀密封部件而在该内孔中变移的柱形流量调节部，所述流量调节部具有这样的功能，即它通过逐渐变尖细的结构而在所述阀密封部件打开时使流动于主流道中的空气流量逐渐增大。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：梶谷昌生，
申请(专利权)人：速睦喜股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]