矩形真空插板阀制造技术

技术编号：2247383 阅读：211 留言：0更新日期：2012-04-11 18:40

一种矩形真空插板阀是由阀体外壳（１４）、安装有操作把手（１３）的阀门轴（１）及阀体（１７）所组成，其特征是上述阀门轴（１）的上部是通过阀体外壳（１４）的上孔及密封圈（１８）、垫圈（４）、压盖（２）及细钉（８）安装在阀体外壳（１４）上，在上述阀门轴（１）的下部开有定位槽（Ａ），通过定位螺钉（１６）安装有阀体（１７），同时在阀体（１７）的左侧通过弹簧（１０）、垫圈（１１）及螺钉（１２）安装有矩形阀板（７），在阀板（７）的外侧安装有密封圈（５），并通过压板（６）及细钉（９）来固定该密封圈（５），同时在上述阀门轴（１）的下部还设有半圆偏心槽（Ｂ），当顺时针转动把手（１３）时，在半圆偏心槽（Ｂ）段及弹簧（１０）的作用下能使阀体（１７）和阀板（７）之间产生相对移动和复位，使阀板（７）向左移动使固定在阀板（７）上的密封圈（５）压紧要密封矩形通道口，而达到阀体两侧封闭的作用。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于阀门，特别是关于在半导体行业的真空系统中切断或接通不同的真空腔室所使用的阀门。
技术介绍
现在通用的插板阀，其阀口的形状一般为圆形，而且整个阀体的尺寸都比较大，而在半导体行业中，这样的阀门使用在真空与大气之间，这里希望阀门的口径尽量的小，另外穿梭于阀门之间的零件一般是扁平的硅片、CD碟、硬盘等，这样圆形口阀门在这里就不适用了。
技术实现思路
本专利技术的目的就是要解决上述现有技术存在的问题，而提供一种矩形真空插板阀。本专利技术的技术解决方案是由阀体外壳(14)、安装有操作把手(13)的阀门轴(1)及阀体(17)所组成，其特征是上述阀门轴(1)的上部是通过阀体外壳(14)的上孔及密封圈(18)、垫圈(4)、压盖(2)及细钉(8)安装在阀体外壳(14)上，在上述阀门轴(1)的下部开有定位槽(A)，通过定位螺钉(16)安装有阀体(17)，同时在阀体(17)的左侧通过弹簧(10)、垫圈(11)及螺钉(12)安装有矩形阀板(7)，在阀板(7)的外侧安装有密封圈(5)，并通过压板(6)及细钉(9)来固定该密封圈(5)，同时在上述阀门轴(1)的下部还设有半圆偏心槽(B)，当顺时针转动把手(13)时，在半圆偏心槽(B)段及弹簧(10)的作用下能使阀体(17)和阀板(7)之间产生相对移动和复位，使阀板(7)向左移动使固定在阀板(7)上的密封圈(5)压紧要密封矩形通道口，而达到阀体两侧封闭的作用。另外密封圈(3)及密封(15)分别用于安装矩形插板阀左右两个腔体相连的法兰面的密封。采用本专利技术的矩形真空插板阀，结构简单、可靠，大大减小了阀体尺寸，而且密封良好，通...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：初明璋，韩立，刘俊标，安秉谦，顾文琪，
申请(专利权)人：中国科学院电工研究所，
类型：发明
国别省市：

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