真空以及真空破坏用复合阀制造技术

得到一种真空以及真空破坏用的复合阀，该真空以及真空破坏用的复合阀通过采用简单且合理的设计构造，使整体紧凑化且简单化，同时也改善了真空用以及加压用的各流路的配置和流路长度的问题。将主阀部（１）和流路合流部（２）以及先导阀部（３）形成为同等的宽度，同时沿阀轴线（Ｌ）一列并且一体地结合，该主阀部（１）通过真空用以及加压用的两个阀部件（８）、（９），单独开闭用于将真空压供给到负荷的真空流路（６）以及用于将真空破坏用的压力流体供给到负荷的加压流路（７）；该流路合流部（２）通过一个合流口（１０），将上述真空流路（６）和加压流路（７）连接到负荷；该先导阀部（３）通过两个先导阀（１１）、（１２），单独对上述阀部件（８）、（９）进行开闭操作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空以及真空破坏用复合阀，更详细地说是涉及构成为针对吸附台等的负荷，交替供给真空压和真空破坏用的压力流体的复合阀。
技术介绍
例如，在各种加工装置中，在将工件运送到规定的加工场所或收容场所等的情况下，使用真空吸附装置。该真空吸附装置具有吸附台、吸入泵等的真空源、供给用于真空破坏的压力流体的压力流体源、连接在这些真空源以及压力流体源和上述吸附台之间的真空转换装置，利用该真空转换装置，通过将上述吸附台连接到真空源来吸附工件，运送到规定的场所，然后，通过利用上述真空转换装置将吸附台连接到压力流体源，破坏真空而解除吸附，将工件释放到该位置。用于这样的真空吸附装置的上述真空转换装置，例如专利文献1或者专利文献2所述的那样，是通过组合多个电磁阀和转换阀等构成，这些电磁阀和转换阀与节流阀等的其他的相关零件一起被组装在装置主体上。特开平5-26367公报特开平8-309684公报但是，上述以往的真空转换装置，是通过象上述那样将多个电磁阀和转换阀与其他的相关零件一起一体组装在装置主体上而构成的，都是各个零件以各种各样的朝向安装在装置主体的各种各样的位置上，所以不仅作为整体大型杂乱，而且流路也复杂地伸入，流路长度也长，还有很多要改善的地方。因此，本专利技术的目的就是替代上述以往的真空转换装置，提供一种真空以及真空破坏用的复合阀，该真空以及真空破坏用的复合阀通过采用简单且合理的设计构造，使整体紧凑化且简单化，同时也改善了与真空用以及加压用的各流路的配置和流路长度相关的问题点。
技术实现思路
为了达到上述目的，本专利技术的复合阀的特征在于，具有主阀部、流路合流部以及先导阀部，该主阀部具有与真空源连接的真空口、与压力流体源连接的加压口、对连结上述真空口和合流口的真空流路进行开闭的真空侧阀部件、以及对连结上述加压口和合流口的加压流路进行开闭的加压侧阀部件；该流路合流部具有用于与负荷连接的上述合流口、分别位于上述真空流路中以及加压流路中的过滤室、可自由拆装地配设在各过滤室内的滤清器；上述先导阀部具有两个单独对上述主阀部的真空侧阀部件以及加压侧阀部件进行操作的先导阀，上述主阀部和流路合流部以及先导阀部被形成为同等的宽度，上述流路合流部结合在主阀部的轴线方向的一端侧，同时，上述先导阀部结合在另一端侧，据此，这些主阀部和流路合流部以及先导阀部沿上述轴线结合为一列。希望在本专利技术中，上述主阀部具有在轴线方向延伸的一个阀孔，上述真空侧阀部件以及加压侧阀部件可单独动作地被收容在该阀孔内，这些阀部件在彼此相对的一侧具有受压面积小的恢复用受压部，同时，在相反的一侧具有受压面积大的驱动用受压部，来自上述加压口的压力流体总是作用于上述恢复用受压部，由上述先导阀供给的先导流体作用于驱动用受压部。另外，也可以是上述合流口形成在上述流路合流部的前端面，并且，上述两个过滤室，沿轴线方向形成于该流路合流部的内部的隔着上述合流口相对的位置，上述过滤器借助可从上述前端面侧自由拆装的滤清器保持器与该滤清器保持器一起可自由拆卸地安装在各过滤室内。再有，在本专利技术中最好上述滤清器呈圆筒状，另外，上述滤清器保持器呈圆柱状，在该滤清器保持器的内部形成流路孔，该流路孔构成上述真空流路或者加压流路的一部分，该流路孔的一端通过滤清器保持器的侧面的孔开口与上述合流口连通，上述滤清器安装在该滤清器保持器的外周，覆盖该孔开口。另外，在本专利技术中，也可以是在上述主阀部的上面安装节流阀，通过该节流阀对在上述加压主流路内流动的压力流体的流量进行调节。再有，希望在本专利技术中，复合阀的两侧面是用于连接其他的复合阀的实质上为平的连接面，另外，上述加压口和真空口在宽度方向贯通上述主阀部，可以与所连接的其他的复合阀的加压口和真空口连接。专利技术的效果通过采用将主阀部和流路合流部以及先导阀部沿阀的轴线一列并且一体地结合这样非常简单合理的设计构造，可以作为具有与通常的电磁阀同样的构成的复合阀而构成，其结果为，整体被紧凑化且被简单化，同时，真空用以及加压用的各流路的配置也被简单化，可以谋求缩短流路的长度。附图说明图1是有关本专利技术的复合阀的一个实施方式的剖视图。图2是放大图1的主阀部所示的主要部位放大图。图3是放大图1的流路合流部所示的主要部位放大图。图4是图1的分解立体图。图5是表示通过有关本专利技术的复合阀，构成阀总成情况的中途的组装状态的立体图。具体实施例方式图1-图4是表示有关本专利技术的真空以及真空破坏复合阀的一个实施方式，该复合阀V是由主阀部1、流路合流部2以及先导阀部3构成，该主阀部1通过真空侧以及加压侧的两个阀部件8、9，单独开闭用于将真空压供给到负荷的真空流路6以及用于将真空破坏用的压力流体(例如空气)供给到负荷的加压流路7；该流路合流部2通过一个合流口10，将上述真空流路6和加压流路7连接到负荷；该先导阀部3通过两个先导阀11、12，单独对上述两个阀部件8、9进行开闭操作，这些主阀部1和流路合流部2以及先导阀部3沿阀的轴线L一列并且一体地结合。另外，该复合阀V如图5所示，其构成为，通过具有同样的构成的其他的复合阀V相互连接，与被称为配管单元100和配电单元101的相关部件一起，集中搭载在轨道102上，可以作为阀总成使用。因此，该复合阀V的宽度(厚度)作为整体大致一定，其宽度方向的两侧面为了连接其他的复合阀V或相关零件等，实质上成为平的连接面13。下面，详细叙述上述复合阀V的具体的构成。上述复合阀V的主阀部1具有主阀部壳体16，该主阀部壳体16具有矩形且纵向长的剖面形状。该主阀部壳体16由多个单元构成，是通过将位于中央的阀单元16a、位于该阀单元16a的轴线L方向一端侧的手动单元16b、跨越两单元16a、16b，位于这些阀单元16a和手动单元16b的底部的端口单元16c相互结合而构成。在上述阀单元16a上形成沿上述轴线L延伸的一个阀孔17，在该阀孔17内的一个半部侧和另一个半部侧，可单独动作地收容着滑阀式的上述真空侧阀部件8和加压侧阀部件9。这些阀部件8、9在相互相对的一侧的端面具有受压面积小的恢复用受压部8a、9a，同时在相互相反的一侧的端部具有受压面积大的驱动用受压部8b、9b。该驱动用受压部8b、9b由与该阀部件8、9的端面接触的活塞18、19形成，在该活塞18、19的外侧形成先导用的受压室21、22。这样，若从上述先导阀11、12向对应的受压室21、22供给先导流体，则象图1以及图2的加压侧阀部件9那样，阀部件8、9被活塞18、19推动，向阀孔17的内侧的连通位置移动，另外，若上述受压室21、22的先导流体被排出，则象图1以及图2的真空侧阀部件8那样，通过作用在恢复用受压部8a、9a上的、来自加压口5的流体压，上述阀部件8、9被推动，恢复到外侧的断开位置。另外，在上述阀单元16a上，形成真空第一通孔6a以及真空第二通孔6b和加压第一通孔7a以及加压第二通孔7b，该真空第一通孔6a以及真空第二通孔6b在上述真空侧阀部件8的动作区域、在与上述阀孔17不同的位置上开口；该加压第一通孔7a以及加压第二通孔7b在加压侧阀部件9的动作区域、在与上述阀孔17不同的位置上开口。上述真空第一通孔6a与形成在上述端口单元16c上的真空口4连通，真空第二通孔6b与真空连通孔6c连通，该真空连通孔6c在与上述流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空以及真空破坏用复合阀，其特征在于，具有主阀部、流路合流部以及先导阀部，该主阀部具有与真空源连接的真空口、与压力流体源连接的加压口、对连结所述真空口和合流口的真空流路进行开闭的真空侧阀部件、以及对连结所述加压口和合流口的加压流路进行开闭的加压侧阀部件；该流路合流部具有用于与负荷连接的上述合流口、分别位于所述真空流路中以及加压流路中的过滤室、可自由拆装地配设在各过滤室内的滤清器；所述先导阀部具有两个单独对所述主阀部的真空侧阀部件以及加压侧阀部件进行操作的先导阀，所 述主阀部和流路合流部以及先导阀部被形成为同等的宽度，所述流路合流部结合在主阀部的轴线方向的一端侧，同时，所述先导阀部结合在另一端侧，据此，这些主阀部和流路合流部以及先导阀部沿所述轴线结合为一列。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宫添真司，松本拓实，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]