用于PVD立式产线设备的载板取放装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及PVD镀膜技术领域，提供了一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置。该装置包括固定板、固定单元和两个支架，两个所述支架分别设置在所述固定板的下方的前后两侧，每个所述支架包括长支腿、短支腿和连接杆，所述长支腿和所述连接杆的顶端分别与所述固定板的左右两侧活动连接，所述连接杆的底端与所述短支腿的顶端活动连接，所述短支腿的中部与所述长支腿的中部活动连接；至少一个所述支架上设有驱动单元，所述驱动单元用于驱动所述支架收拢或展开；所述固定单元用于将载板固定在所述固定板的上表面。本发明专利技术结构简单、操作便捷，不仅能够实现快速、便捷的取放载板，大幅降低工作人员的劳动强度，而且还能显著提高工作效率。

Plate loading device for PVD vertical production line equipment

【技术实现步骤摘要】
用于PVD立式产线设备的载板取放装置
本专利技术涉及PVD镀膜
，尤其涉及一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置。
技术介绍
物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，以下简称PVD)是指用物理的方法例如蒸发、溅射等使镀膜材料气化，在基体表面沉积成膜的技术。由于，物理气相沉积技术具有工艺过程简单，成膜均匀致密，与基片的结合力强等优点，因此被广泛应用于太阳能电池领域。而随着太阳能电池的普及，降低成本、提高产能已经成为太阳能电池企业的重心之一。使用时，需将待镀膜的基片放置在载板上，通过传送带将其传送至工艺腔室进行镀膜。由于，载板暴露在工艺腔室内，因此载板上也会镀上一层薄膜。而随着镀膜次数的增加，载板上镀上的膜层就随之加厚。为了避免这些膜层在镀膜过程中发生脱落，进而对基片的镀膜产生负面影响，因此就需要对载板进行定期清洗。由于，待清洗维护的载板是竖直放置在载板台车上的，且自身尺寸很大，位置较高，不便于水平放倒。与此同时，清洗维护完成后，将载板重新竖直放回PVD设备也十分不便。
技术实现思路
本专利技术要解决的是现有技术中立式放置的载板取放不便的技术问题。为解决上述问题，本专利技术提供了一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置，该装置包括固定板、固定单元和两个支架，两个所述支架分别设置在所述固定板的下方的前后两侧，每个所述支架包括长支腿、短支腿和连接杆，所述长支腿和所述连接杆的顶端分别与所述固定板的左右两侧活动连接，所述连接杆的底端与所述短支腿的顶端活动连接，所述短支腿的中部与所述长支腿的中部活动连接；至少一个所述支架上设有驱动单元，所述驱动单元用于驱动所述支架收拢或展开；所述固定单元用于将载板固定在所述固定板的上表面。其中，所述固定单元包括磁铁和电磁吸合器，所述电磁吸合器设置在所述固定板的底面上，所述磁铁设置在所述载板上。其中，所述电磁吸合器和所述磁铁的数量均为多个，所述电磁吸合器与所述磁铁一一对应设置。其中，所述长支腿和所述短支腿的底端均设有脚轮。其中，所述驱动单元包括驱动件、齿条以及与所述长支腿连接的齿轮箱，所述齿轮箱上开设有横向贯穿的插孔，所述齿条的一端与所述短支腿的顶部活动连接、另一端插设在所述插孔中，所述齿轮箱内设有齿轮，所述齿轮通过转轴与所述齿轮箱连接，所述齿轮与所述齿条啮合，所述驱动件用于驱动所述齿轮转动。其中，所述驱动件包括设置在所述齿轮箱外的摇杆，所述摇杆与所述转轴连接。其中，所述驱动件包括电机和控制器，所述电机与所述转轴连接，所述控制器与所述电机电连接。其中，所述驱动单元包括滑杆以及与所述长支腿连接的滑筒，所述滑杆的一端与所述短支腿的顶部活动连接、另一端滑动插设在所述滑筒中。其中，所述驱动单元包括液压缸，所述液压缸的缸体与所述长支腿连接，所述液压缸的活塞杆与所述短支腿的顶部活动连接。其中，所述固定板上设有与所述载板上的弹簧固定夹一一对应的顶销，所述顶销的底部与所述固定板连接、顶部向上延伸，且所述顶销的长度满足当所述载板固定在所述固定板上时所述顶销的顶部能够顶开所述弹簧固定夹。其中，所述固定板上设有用于支撑所述载板的固定件，所述固定件的底部与所述固定板连接、顶部向上延伸。其中，所述顶销和所述固定件分别与所述固定板可拆卸连接。其中，所述顶销和所述固定件的底部均设有外螺纹，所述固定板上开设有与所述外螺纹配合连接的螺纹孔。本专利技术结构简单、安装便捷，其中，长支腿、短支腿、连接杆和固定板为同步运动，当驱动单元驱动长支腿与短支腿彼此逐渐趋近或远离即支架收拢或展开时，连接杆就会随之转动。由于连接杆和长支腿的顶端均与固定板的底面活动连接，因此在连接杆和长支腿的驱动下固定板也会同时转动，固定板转动的过程中会逐渐趋于竖直或水平状态。由此，当需要清洗载板时，在固定板趋于竖直状态后，可先利用固定单元将载板固定在固定板上，然后再通过驱动单元驱动支架展开，直至固定板处于水平状态，最后解除固定单元的固定作用，工作人员便可直接取下载板进行清洗。反之，当清洗完成后，可先通过固定单元将清洗干净的载板重新固定在处于水平状态的固定板上，然后再通过驱动单元驱动支架收拢，直至固定板趋于竖直状态后，解除固定单元的固定作用，工作人员便可直接将载板平移至载板台车上。可见，利用该装置不仅能够实现快速、便捷的取放载板，大幅降低工作人员的劳动强度，而且还能显著提高工作效率。附图说明图1是本专利技术实施例1中载板处于水平状态时用于PVD立式产线设备的载板取放装置的正视图；图2是本专利技术实施例1中载板处于水平状态时另一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置的正视图；图3是本专利技术实施例1中载板处于水平状态时用于PVD立式产线设备的载板取放装置的左视图；图4是本专利技术实施例1中载板处于竖直状态时用于PVD立式产线设备的载板取放装置的正视图；图5是本专利技术实施例1中载板处于竖直状态时用于PVD立式产线设备的载板取放装置的右视图；图6是本专利技术实施例1中载板处于竖直状态时用于PVD立式产线设备的载板取放装置的左视图。图7是本专利技术实施例2中载板处于水平状态时用于PVD立式产线设备的载板取放装置的俯视图；图8是图7在A处的放大图。附图标记：101、载板；102、子载板；103、弹簧固定夹；201、固定板；202、顶销；203、固定销；204、电磁吸合器；301、长支腿；302、短支腿；303、连接杆；304、齿条；305、齿轮箱；306、脚轮；307、滑筒；308、滑杆；309、缸体；310、活塞杆。具体实施方式为使专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合专利技术中的附图，对专利技术中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，除非另有说明，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的机构或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在专利技术中的具体含义。实施例1结合图1至图6所示，本专利技术提供了一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置，该装置包括固定板201、固定单元和两个支架，两个支架分别设置在固定板201的下方的前后两侧，每个支架包括长支腿301、短支腿302和连接杆303，长支腿301和连接杆303的顶端分别与固定板201的左右两侧活动连接，连接杆303的底端与短支腿302的顶端活动连接，短支腿302的中部与长支腿301的中部活动连接；至少一个支架上设有驱动单元，驱动单元用于驱动支架收拢或展开；固定单元用于将载板101固定在固定板201的上表面。需要说明的是，本实施例中活动连接的方式可以但不限于是铰接或转动连接。由此，当需要清洗载板101时，可先利用驱动单元驱动支架收拢，具体地，在驱动单元的驱动下短支腿302和长支本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，包括固定板、固定单元和两个支架，两个所述支架分别设置在所述固定板的下方的前后两侧，每个所述支架包括长支腿、短支腿和连接杆，所述长支腿和所述连接杆的顶端分别与所述固定板的左右两侧活动连接，所述连接杆的底端与所述短支腿的顶端活动连接，所述短支腿的中部与所述长支腿的中部活动连接；至少一个所述支架上设有驱动单元，所述驱动单元用于驱动所述支架收拢或展开；所述固定单元用于将载板固定在所述固定板的上表面。

【技术特征摘要】
1.一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，包括固定板、固定单元和两个支架，两个所述支架分别设置在所述固定板的下方的前后两侧，每个所述支架包括长支腿、短支腿和连接杆，所述长支腿和所述连接杆的顶端分别与所述固定板的左右两侧活动连接，所述连接杆的底端与所述短支腿的顶端活动连接，所述短支腿的中部与所述长支腿的中部活动连接；至少一个所述支架上设有驱动单元，所述驱动单元用于驱动所述支架收拢或展开；所述固定单元用于将载板固定在所述固定板的上表面。2.根据权利要求1所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述固定单元包括磁铁和电磁吸合器，所述电磁吸合器设置在所述固定板的底面上，所述磁铁设置在所述载板上。3.根据权利要求2所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述电磁吸合器和所述磁铁的数量均为多个，所述电磁吸合器与所述磁铁一一对应设置。4.根据权利要求1所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述长支腿和所述短支腿的底端均设有脚轮。5.根据权利要求1所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述驱动单元包括驱动件、齿条以及与所述长支腿连接的齿轮箱，所述齿轮箱上开设有横向贯穿的插孔，所述齿条的一端与所述短支腿的顶部活动连接、另一端插设在所述插孔中，所述齿轮箱内设有齿轮，所述齿轮通过转轴与所述齿轮箱连接，所述齿轮与所述齿条啮合，所述驱动件用于驱动所述齿轮转动。6.根据权利要求5所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏艳波，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11