保持器单元及销制造技术

提供能够使被刻划加工的被加工物的品质提高的保持器单元及销。保持器单元具备：保持器，其具有第一插入孔(114)；刻划轮，其具有第二插入孔(121)；以及销(130)，其被插入第一插入孔(114)及第二插入孔(121)，且至少相对于第二插入孔(121)以非压入的状态被插入。销(130)包含限制结构(130A)，该限制结构(130A)限制刻划轮的扫描方向DD上的销(130)相对于刻划轮的移动。

Retainer unit and pin

【技术实现步骤摘要】
保持器单元及销
本专利技术涉及用于刻划加工的保持器单元及销。
技术介绍
在对脆性材料基板等被加工物形成刻划线时使用刻划装置。刻划装置具备保持器单元。保持器单元具备对被加工物进行刻划加工的刻划轮。在刻划加工中，在将刻划轮压靠于被加工物的表面的状态下，被加工物与刻划轮相对地移动，从而在被加工物形成刻划线。需要说明的是，作为以往的刻划装置的一例可举出专利文献1。现有技术文献专利文献专利文献1：曰本特开2017-119348号公报专利技术要解决的课题在使用以往的刻划装置来对被加工物进行刻划加工的情况下，有时被加工物的品质产生偏差。例如，有时垂直裂纹的形成状态在形成于被加工物的刻划线的各个部位不同。在优选的裂纹的形成状态中，在刻划线的整体，垂直裂纹中的1次裂纹的深度及2次裂纹的深度一定。在品质低的被加工物中，例如1次裂纹的深度在刻划线的各个部位不同，包含1次裂纹比其他的部分浅的部分或深的部分。裂纹的形成状态例如影响被加工物的断开的状态。从提高断开后的被加工物的品质这一点考虑，也优选被刻划加工的被加工物的品质高的情况。
技术实现思路
用于解决课题的方案本专利技术所涉及的保持器单元具备：保持器，其具有第一插入孔；刻划轮，其具有第二插入孔；以及销，其被插入所述第一插入孔及所述第二插入孔，且至少相对于所述第二插入孔以非压入的状态被插入，所述销包含限制结构，该限制结构限制所述刻划轮的扫描方向上的所述销相对于所述刻划轮的移动。为了检查被刻划加工了的被加工物的品质的偏差的原因，本申请专利技术人对在刻划加工时的销的状态进行了观察。在该观察中，如图14所示，使用了以往的保持器单元300，该保持器单元300具备具有圆形的第一插入孔311的保持器310、具有圆形的第二插入孔321的刻划轮320、以及圆柱型的销330。销330相对于保持器310及刻划轮320的各自以非压入的状态被插入第一插入孔311及第二插入孔321。图14所示的保持器310、刻划轮320及销330的关系是与第一插入孔311的中心轴心301正交的基准剖面中的通常的刻划加工时的关系。观察的结果确认了：在以往的保持器单元300中，在通常的刻划加工时，第一插入孔311及销330具有至少以下三种关系。在第一种关系中，第一插入孔311的内周面312与销330的外周面331的接触点302相对于第一插入孔311的中心轴心301而位于刻划轮320的扫描方向D1的后方、且位于高度方向D2的上方。高度方向D2在基准剖面中与扫描方向D1正交。在第二种关系中，相对于第一插入孔311的中心轴心301而位于扫描方向D1的前方的第一插入孔311的内周面312与销330的外周面331之间形成有微小的间隙(以下称作“前方间隙303”)。在第三种关系中，在高度方向D2上的第一插入孔311的内周面312的顶点313与销330的外周面331之间形成有微小的间隙(以下称作“上方间隙304”)。需要说明的是，在此，为了对基准剖面中的关系进行表述，用接触点描述内周面312与外周面331的关系，但是实际的内周面312与外周面331的关系是实质上的线接触或接触面积微小的面接触。另外，在第二插入孔321与销330之间也同样地存在三种关系。在第一种关系中，第二插入孔321的内周面与销330的外周面331的接触点305相对于第二插入孔321的中心轴心322而位于刻划轮320的扫描方向D1的后方、且位于高度方向D2的下方。高度方向D2在基准剖面中与扫描方向D1正交。在第二种关系中，在相对于第二插入孔321的中心轴心322而位于扫描方向D1的前方的第二插入孔321的内周面与销330的外周面331之间形成有微小的间隙306。在第三种关系中，在高度方向D2上的第二插入孔321的内周面的下端与销330的外周面331之间形成有微小的间隙。裂纹的形成状态受在刻划加工时的刻划轮320的载荷的影响。在刻划轮320的载荷不稳定的情况下，裂纹的形成状态也不稳定。推断第一插入孔311的内周面312与销330的外周面331的关系对刻划轮320的载荷的状态带来影响。其机理例如被认为如下这样。在刻划加工时有时刻划轮320从被加工物受到的反作用力降低。这是例如由于在被加工物的表面存在的被加工物的挠曲、或因被加工物的加工条件引起的被加工物的挠曲而产生的。与被加工物的挠曲相关的被加工物的加工条件例如是被加工物的厚度薄、在以层叠状态被加工的被加工物中局部地形成有单层的部分、及在对被加工物进行搬运的输送机的表面上存在的挠曲等。在刻划轮320的反作用力降低了的情况下，扫描方向D1上的对销330的阻力降低，在第二插入孔321内销330的位置容易向扫描方向D1的前方变动。另外，在第一插入孔311与销330之间存在有前方间隙303，因此伴随着对销330的阻力的降低，销330在第一插入孔311中相对于保持器310向行驶方向D1的前方移动。在第一插入孔311与销330之间存在有上方间隙304，因此销330在第一插入孔311中相对于保持器310也向上方移动。伴随着销330相对于保持器310向上方移动，刻划轮320向远离被加工物的表面的方向移动，刻划轮320施加于被加工物的载荷降低。在销330相对于刻划轮320及保持器310的位置再次稳定了的状态下，降低了的载荷增加。如此，认为伴随着销330相对于保持器310的移动，刻划轮320的载荷发生变动，由此裂纹的形成状态变得不稳定。在本专利技术所涉及的保持器单元中，在销设置有限制刻划轮的扫描方向上的销相对于刻划轮的移动的限制结构，因此即使在刻划加工时刻划轮从被加工物受到的反作用力降低了的情况下，销在扫描方向上的相对于保持器的移动也被限制结构限制。因此，刻划轮朝向远离被加工物的表面的方向的移动也被限制，刻划轮的载荷的降低得到抑制。由此，在刻划加工时不易产生刻划轮的载荷的变动，裂纹的形成状态稳定，被刻划加工的被加工物的品质提高。在所述保持器单元的一例中，与所述第二插入孔的中心轴心正交的基准剖面中的所述销的剖面形状被决定为所述第二插入孔的内周面与所述销通过第一接触点及第二接触点这两点进行接触，从而构成所述限制结构。刻划轮通过两点而被支承于销，因此刻划轮的旋转稳定。另外，通过销的剖面形状来构成限制结构，因此限制结构简单。在所述保持器单元的一例中，所述基准剖面中的所述销的剖面形状是多边形。因此，能够容易地制造包含限制结构的销。与销的剖面形状为圆形的情况相比，成品率提高。在使用剖面形状为多边形的销的保持器单元中，在与轴向正交的剖面中，销通过多个点而与刻划轮接触。在刻划加工时销实质上不绕销的中心轴心旋转，在绕销的中心轴心的方向上销与刻划轮的接触点的位置实质上不发生变化。由此，在刻划加工时的刻划轮的旋转稳定，被刻划加工了的被加工物的品质变高。在所述保持器单元的一例中，所述基准剖面中的所述销的剖面形状是四边形。因此，能够将第一接触点与第二接触点的距离设定得较长。该距离越长，则刻划轮的位置的稳定性越高。另外，能够容易地制造包含限制结构的销。在所述保持器单元的一例中，所述四边形包含相对于所述销的中心轴心而位于所述扫描方向的后方且上方的第一顶点、位于比所述第一顶点靠所述扫描方向的前方的位置的第二顶点、以及所述第一顶点及所述第二顶点以外的第三顶点及第四顶点，所述第一顶点通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种保持器单元，具备：保持器，其具有第一插入孔；刻划轮，其具有第二插入孔；以及销，其被插入所述第一插入孔及所述第二插入孔，且至少相对于所述第二插入孔以非压入的状态被插入，所述销包含限制结构，该限制结构限制所述刻划轮的扫描方向上的所述销相对于所述刻划轮的移动。

【技术特征摘要】
2018.04.27 JP 2018-087710;2019.03.29 JP 2019-068921.一种保持器单元，具备：保持器，其具有第一插入孔；刻划轮，其具有第二插入孔；以及销，其被插入所述第一插入孔及所述第二插入孔，且至少相对于所述第二插入孔以非压入的状态被插入，所述销包含限制结构，该限制结构限制所述刻划轮的扫描方向上的所述销相对于所述刻划轮的移动。2.根据权利要求1所述的保持器单元，其中，与所述第二插入孔的中心轴心正交的基准剖面中的所述销的剖面形状被决定为所述第二插入孔的内周面与所述销通过第一接触点及第二接触点这两点进行接触，从而构成所述限制结构。3.根据权利要求2所述的保持器单元，其中，所述基准剖面中的所述销的剖面形状是多边形。4.根据权利要求3所述保持器单元，其中，所述基准剖面中的所述销的剖面形...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾山浩，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP