本发明专利技术涉及一种具有翼板元件的真空闸阀，其包括封闭盘，用于通过移位到开口上方并且将封闭盘压在开口上来气密地封闭开口。封闭盘与其联接的连接杆利用线性驱动单元可线性调节，因此封闭盘可在暴露开口的位置和中间位置之间移位，在该中间位置所述盘被推到该开口上。为了利用接合元件使封闭盘通过其封闭侧而压在阀座上，从而处于闭合位置，将至少两个翼板可枢转地在一个翼板端部经由第一接合部安装在封闭盘的背面上，并且在另一个翼板端部经由第二接合部安装在支承件上。该翼板、背面和支承件形成铰接的平行四边形。每个翼板与相应的第一、第二接合部形成由弹性材料构成的共用一体式部件，该第一接合部和第二接合部分别由翼板上的薄壁柔性区段形成。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种真空闸阀，其包括封闭盘，用于通过将该封闭盘移位到开口上并利用至少两个翼板(limb)将该封闭盘压在该开口上而基本 气密地封闭该开口。
技术介绍
现有技术中公开了用于基本气密地封闭通向阀室内开口的流路的真 空阀的不同实施方式。尤其在必须在不存在污染微粒的尽可能受保护的 氛围下进行的IC和半导体制造的领域内，使用真空闸阀，该真空闸阀也 被称为真空闸门。例如在半导体晶片或液晶基板的生产厂内，高度敏感 的半导体或液晶元件顺序通过多个处理室，在这些处理室内，分别通过 处理装置对存在于处理室内的半导体元件进行处理。在处理室内的处理 期间以及在从处理室到处理室的传输期间，所述高度敏感的半导体元件 必须始终位于保护氛围内——具体而言要在无空气的环境内。处理室例 如经由连接通道相互连接，例如可用真空闸阀打开处理室以便部件从一 个制造室传递到下一个制造室，并且在已经执行各个制造步骤之后被气 密地密封。这种真空闸阀还由于上述使用领域和相关的尺寸设定 (dimensioning)被称为真空输送阀，并且还由于它们的矩形开口横截面 被称为矩形闸门。现有技术公开了真空阀的各种实施方式，尤其是其密封和驱动技术。 尤其在还被称为阀闸或矩形闸门的真空闸阀或闸阀与梭阀(shuttle valve) 之间依相应的驱动技术而存在区别，封闭和打开通常是分两步进行的。在第一步内，如例如在US 6,416，037(Geiser)或US 6,056，266(Blecha) 中公开的那样，在闸阀的情况下，阀盖(具体为封闭盘)线性移位到基 本平行于阀座的开口上，或者在如例如US 6，089，537 (Olmsted)中公开的那样，在梭阀的情况下，阀盖绕旋转轴枢转到开口上，而封闭盘和阀 室的阀座并不会接触。在第二步内，封闭盘的封闭侧被压在阀室的阀座 上，从而该开口被气密地密封。该密封例如经由设置在封闭盘的封闭侧 上并且被压在围绕该开口的阀座上的垫圈实现，或者经由封闭盘的封闭 侧压靠在其上的阀座垫圈而实现。现有技术中(例如在US6，629，682B2内)公开了不同的密封设备。 垫圈的合适材料例如为商标名为Viton⑧的弹性密封材料。分两步进行的闸阀的封闭运动可利用不同的机构实现。例如安装在 两个连接杆上的阀盖经由连接杆连接到驱动结构，该驱动机构通过沿该 连接杆轴线的大致线性运动而允许封闭盘在将被封闭的幵口的上方基本 平行地移位。利用相同驱动机构，通过枢转连接杆可使此时位于与开口 相对的位置并且与该阀座基本平行且间隔一定距离的封闭盘沿阀座的方 向旋转并且将其基本垂直地压在阀座上。还可仅使用一个连接杆而不是 两个连接杆。同样可使用多个连接杆。现有技术公开了不同类型的这种驱动机构，该驱动机构在所有情况 下都将导致连接杆并因此导致封闭盘具有稍微不同的移位路径。因此， 例如，可启动封闭盘垂直于阀座的绝对线性运动而不是使封闭盘在阀座 上沿弧形旋转运动。例如US 6,432,518 Bl、 US 5,415,376 A、 US 5，641，149 A、 US 6,045,117 A、 US 5，934，646 A、 US 5，755，255 A、 US 6,082,706、 US 6，095，180和US 6,629,682 B2中公开了允许封闭盘在开口上方进行基本线 性的移位并且将封闭盘基本垂直地压在围绕该开口的阀座上的驱动机构。利用分两步进行的封闭过程，垫圈几乎不会受到将损坏该垫圈的任 何剪切力，这是因为封闭盘因连接杆旋转而基本线性地垂直运动到阀座 上。但是，两步运动顺序还可由多个单独的驱动机构实现。例如，US 6,056,266 (Blecha)和US 6，561，484 (Nakagawa)描述了这样的闸阀，该 闸阀的连接杆仅沿该连接杆轴线线性地移位，结果封闭盘可在开口上方 平行移位，而封闭盘和阀座不会接触。在此情况下，驱动机构可由简单 的线性运动驱动器例如汽缸驱动器(cylinder drive)形成。将封闭盘压在阀座上可由两部分式封闭盘内的或者在封闭盘和连接杆之间的单独驱动器实现。如US 6,056,266 (Blecha)所示，此单独的驱动器具体呈汽缸驱 动器的形式，利用该驱动器可将封闭盘的封闭侧线性地并且垂直地压在 阀座上。US 6，561，483 (Nakagawa)和US 6，561，484 (Nakagawa等)公开了 包括两部分式封闭盘的不同实施方式中的闸阀。第一盘部分具有开口 。 第二盘部分利用可延长的体部连接到第一盘部分。致动器设置在第一和 第二盘部分之间，从而这两个盘部分可相互靠近和远离地主动移动。可 延伸体部呈波纹管的形式。第一盘部分可通过该致动器压在阀座上，第 二盘部分(尤其在阀座侧上具有过压的情况下)可选地被支承在相对的 阀室侧上。尤其是由于必须使用波纹管或者用于将第一盘部分密封在第 二盘部分以及阀座上的多个密封环，所以这种在封闭盘内具有驱动器的 真空阀的设计比较复杂，在维修方面是不利的，并且易于污染。所述真空阀的普遍缺点在于，必须允许沿基本相互成直角的两个方 向实现尽可能线性的上述两种运动的至少一个驱动机构的设计通常比较 复杂。US 5,769,952 (Komino)公开了一种闸阔，该闸阀呈真空输送阀的 形式，并且主要由线性移位驱动器、可沿其连接杆轴线线性移位的连接 杆和封闭盘构成。封闭盘经由两个翼板连接到该连接杆。通过连接杆在 封闭方向上沿该连接杆轴线线性移位，该封闭盘可在阀幵口上方平行地 移位，该封闭盘与围绕该开口的阀座相对并与其相隔一定距离。所述两 个翼板均在一个翼板端部安装在横向于该连接杆延伸并且平行于该阀座 的平面走行的横杆上，并且在另一翼板端部利用枢转支承以可枢转的方 式安装在封闭盘上。两个翼板沿横杆的方向相互平行地设置，并且分别 具有相对于封闭盘和相对于横杆的共同几何旋转轴线。翼板以这样的方 式保持封闭盘，即，相对于连接杆的线性移位方向的封闭方向而言，横 杆侧的几何旋转轴线低于封闭部件侧的旋转轴线，从而逆着连接杆的封 闭方向作用在封闭盘的力导致两条旋转轴线之间相对于封闭方向的距离 减小。导向辊设置在封闭盘的线性移位路径的端部。如果封闭盘和导向辊之间接触，则封闭盘不再可沿封闭方向进一步移位。但是，线性移位 驱动器继续在封闭盘上施加力，从而翼板可转出，因此接近线性移位方 向的垂直位置并且起到了杠杆的作用。因此，封闭盘沿阀座的方向移位 并且被压在阀座上。这种具有翼板机构的闸阀的优点是由于连接杆仅需要沿线性移位，所以驱动器的设计比较简单。但是，垂直地作用在连接杆轴线上并且必 须被连接杆支承吸收的力带来问题。由于封闭盘被支承在导向辊上并且 因此必须吸收较大的力，所以封闭盘必须设计为具有较大的尺寸。由于 旋转轴线的设置，所以不能确保封闭盘与阀座并行对准，因此封闭盘最 初歪斜地搁置在阀座上并与其接触，密封物上的剪切力不可避免并且不 能确保均匀分布的接触力。通过使用导向辊和枢转支承，不能防止特别 是由于摩擦而生成微粒，并且因此不能确保无微粒。JP 60222670描述了一种真空闸阀，其中封闭部件利用两个翼板安装 在可线性移位的连接杆上，这两个翼板可以平行四边形的方式枢转并且 沿连接杆的移位方向平行且相本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种真空闸阀，该真空闸阀包括：.阀壁（１），该阀壁具有开口（２）和围绕该开口走行的阀座（３），.封闭盘（４），该封闭盘具有封闭侧（５），用于基本气密地封闭该开口（２），.至少一个连接杆（６），所述连接杆机械地联接到所述封闭盘（４），. 线性驱动单元（７），利用该线性驱动单元可使所述连接杆（６）沿其连接杆轴线（８）线性地在两个移位方向（１１）上移位，从而所述封闭盘（４）可基本平行于所述阀座（３）在以下位置之间移位 ○暴露所述开口（２）的位置（Ｏ）和 ○中间位置（Ｉ），在该中间位置所述盘被推到所述开口（２）上，并且所述封闭侧（５）至少部分地位于与所述阀座（３）相对、大致平行并且间隔一定距离的位置处，.至少两个翼板（１３），所述翼板是平行的，并在所述连接杆（６）的所述移位方向（１１）上间隔一定距离，○每个翼板 （１３）分别 在一个翼板端部（２６）处经由第一接合部（１４）可枢转地安装在所述封闭盘（４）的与所述封闭侧（５）相对的背面（９）上，并且 在另一个翼板端部（２７）处经由第二接合部（１６）可枢转地安装在支承件（２２）上。 ○所述至少两个翼板（１３）、所述封闭盘（５）的所述背面（９）和所述支承件（２２）形成平行四边形（２５），该平行四边形被所述第一接合部（１４）和第二接合部（１６）铰接，从而所述封闭盘（５）和所述支承件（２２）可沿所述连接杆（６）的所述两个移位方向（１１）平行且间隔开地枢转，每个翼板（１３）与相应的第一接合部（１４）和相应的第二接合部（１６）形成由弹性材料构成的共同一体式部件，所述第一接合部（１４）和所述第二接合部（１６）分别由所述翼板（１３）上的薄壁柔性区段形成，.接合元件（１０ａ；１０ｂ），所 述接合元件被这样定制和形成，使得可沿所述连接杆（６）的所述封闭方向（１２）防止所述铰接平行四边形（２５）的一个区段在达到所述中间位置（Ｉ）之后沿所述连接杆（６）的所述封闭方向（１２）进一步移位，在所述连接杆（６）沿所述封闭方向（１２）进一步移位时所述翼板（１３）转出，从而所述封闭盘（４）通过其封闭侧（５）而被压在所述阀座（３）上，处于所述封闭位置（Ｃ），从而所述开口（２）被气密地封闭。...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔塞茨，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]
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