一种平板显示溅射靶材制造技术

本实用新型专利技术公开了一种平板显示溅射靶材，涉及溅射靶材领域，包括背板和靶材，背板和靶材之间填充有焊料层，焊料层内嵌设有用于固定背板和靶材之间距离的定位件，定位件同时与背板和靶材抵接。针对现有技术存在靶材与背板难以确保平行的问题，本实用新型专利技术在背板和靶材之间设置定位件，使背板和靶材之间的距离保持为定位件的厚度，从而确保背板和靶材平行，有效提高产品的加工精度。

【技术实现步骤摘要】
一种平板显示溅射靶材
本技术涉及溅射靶材领域，更具体地说，它涉及一种平板显示溅射靶材。
技术介绍
平板显示溅射靶材主要包括靶材和背板，靶材和背板通过钎焊的方式结合起来。钎焊形成的结合层需要相对均匀且尽量减少空洞，避免未填满等缺陷，同时需要保证靶材在背板上的相对位置尺寸。目前，常见平板显示溅射靶材生产是：将靶材的焊接面先涂上焊料，在高温状态下，通过人力或者机械翻转过来，将靶材的焊接面朝下，最后直接扣在背板。待焊料冷却后，焊料将靶材与背板固定结合，最后清理周侧溢出的焊料，完成加工。现有技术中，由于高温状态下的焊料具有良好的流动性，直接将靶材扣在背板上，靶材在自重作用下挤压焊料，难以确保靶材表面与背板表面保持平行，从而极大地影响产品质量。
技术实现思路
针对现有技术存在靶材与背板难以确保平行的问题，本技术的目的是提供一种平板显示溅射靶材，其具有确保靶材与背板平行的优点，有效提高溅射靶材的生产质量。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种平板显示溅射靶材，包括背板和靶材，所述背板和靶材之间填充有焊料层，所述焊料层内嵌设有用于固定所述背板和所述靶材之间距离的定位件，所述定位件同时与所述背板和所述靶材抵接。通过上述技术方案，加工时，先在背板上放置定位件，再在背板上涂覆焊料，并让焊料覆盖定位件，接着将靶材扣在焊料上，下压靶材，将定位件压紧在靶材和背板之间，确保靶材和背板之间保持定位件的厚度，便于靶材和背板保持平行，提高产品加工精度；焊料冷却后形成焊料层，清除靶材周侧多余的焊料完成加工。进一步的，所述定位件包括嵌设于所述焊料层内的多个定位柱，多个所述定位柱相互平行设置，所述定位柱侧壁同时与所述背板和所述靶材抵接。通过上述技术方案，定位柱被压紧在靶材和背板之间，确保背板与靶材保持平行；将多个定位柱平行设置，引导多余的焊料从相邻定位柱之间溢出。进一步的，所述靶材表面呈长方形，所述定位柱平行于所述靶材的宽度方向，多个所述定位柱之间固定有连接柱，所述连接柱沿所述靶材宽度的中心线方向设置。通过上述技术方案，连接柱连个多个定位柱，便于取用，加快生产；同时连接柱沿靶材宽度中心线方向设置，便于引导多余的焊料从靶材两侧溢出，提高焊料溢出的速度。进一步的，所述定位件包括嵌设于所述焊料层内的定位网，所述定位网上设置有多个用于容纳所述焊料的网孔，所述定位网两侧分别与所述靶材和所述背板抵接。通过上述技术方案，定位网被压紧在靶材和背板之间，确保靶材和背板保持平行；同时在焊料层内嵌设定位网，可有增强焊料层的结构强度。进一步的，所述定位网于所述网孔周侧均开设有用于连通相邻网孔的连通槽。通过上述技术方案，连通槽连通相邻的网孔，便于网孔内多余的焊料通过连通槽留至四侧的网孔内，直至排出至靶材周侧。进一步的，所述连通槽开口朝向所述靶材。通过上述技术方案，加工时靶材位于背板上方，连通槽开口朝上，焊料加热后，其内部气体溢出至表面，便于通过连通槽排出。进一步的，所述背板靠近所述靶材的侧面设置为粗糙面。通过上述技术方案，将背板一侧设置为粗糙面，有效增强背板和焊料之间的连接强度。进一步的，所述定位件采用铜材料制成。通过上述技术方案，铜和焊料受热伸缩性能相同，有效避免焊料冷却后，焊料与定位件之间产生缝隙。与现有技术相比，本技术的有益效果是：(1)通过在焊料内嵌设定位件，定位件被夹紧在靶材和背板之间，使靶材和背板保持相同距离，确保靶材与背板平行，提高产品精度和质量；(2)进一步地，通过在焊料层内嵌设定位网，定位网压紧在靶材和背板之间，不仅能确保靶材与背板保持平行，还能增加焊料层的结构强度；(3)进一步地，通过将背板一侧打磨成粗糙面，有效增强背板与焊料层之间的连接强度。附图说明图1是本技术的整体结构示意图；图2是图1中A部局部放大图；图3是实施例一中定位件的整体结构示意图；图4是实施例二中定位件的整体结构示意图；图5是图4中B部局部放大图。附图标记：1、背板；2、靶材；3、焊料层；4、定位件；5、定位柱；6、连接柱；7、定位网；8、网孔；9、连通槽；10、粗糙面。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案和有益效果更加清楚，下面结合实施例及附图对本技术作进一步的详细说明，但本技术的实施方式不仅限于此。实施例一如图1和图2所示，一种平板显示溅射靶材，包括表面均呈长方形的背板1和靶材2，且背板1的表面积大于靶材2的表面积，靶材2的材质可为铝或钼，背板1和靶材2之间填充有焊料层3，焊料层3内嵌设有用于固定背板1和靶材2之间距离的定位件4，使用时，现在背板1上设置定位件4，再在背板1上涂覆焊料，焊料没过定位件4，再将靶材2扣在焊料上，下压靶材2，挤压出靶材2与背板1之间多余的焊料，确保定位件4同时与背板1和靶材2抵接，由于背板1和靶材2之间的距离为定位件4的厚度，便于确保靶材2与背板1表面保持平行，从而提高产品质量。背板1靠近靶材2的侧面经打磨后，形成粗糙面10，增加背板1与焊料之间的连接强度。定位件4采用铜材料制成，铜与焊料的受热伸缩性能相近，可有效避免冷却，定位件4与焊料之间形成裂痕。如图1和图3所示，定位件4包括嵌设于焊料层3内沿靶材2宽度方向设置的多个定位柱5，多个定位柱5相互平行设置，且定位柱5横截面为圆形，定位柱5侧壁同时与背板1和靶材2抵接，确保背板1和靶材2之间的距离始终为定位柱5的直径。多个定位柱5之间固定有连接柱6，连接柱6将多个定位柱5连接在一起，便于使用。连接柱6沿靶材2宽度的中心线方向设置，使用时，靶材2扣在焊料上后，利用连接柱6，限制焊料的流动，以靶材2宽度中心线为界，引导多余的焊料从靶材2的两侧溢出，提高焊料溢出的速度。实施例二如图1和图4所示，定位件4包括嵌设于焊料层3内的定位网7，定位网7上形成有多个用于容纳焊料的网孔8，定位网7两侧分别与靶材2和背板1抵接，确保靶材2与背板1之间的距离保持为定位网7的厚度。如图4和图5所示，定位网7于网孔8周侧均开设有用于连通相邻网孔8的连通槽9，通过设置连通槽9，单个网孔8内多余的焊料通过连通槽9流入至周侧的网孔8内，从而挤出多余的焊料，便于背板1和靶材2同时与定位网7抵接。连通槽9开口朝向靶材2，制作时，靶材2位于背板1的上方，加热背板1以及焊料，焊料流动性增加，焊料内的气体溢出至焊料表面，便于通过连通槽9排出，从而提高产品质量。综上所述：本技术加工时，先将定位件4固定在背板1的上表面，再向背板1浇筑焊料，并让定位件4没在焊料内，接着将靶材2扣在焊料上，对靶材2施加压力，定位件4压紧在靶材2和背板1之间，靶材2和背板1之间保持定位件4的厚度，从而便于靶材2和背板1保持平行，待焊料冷却后，焊料形成焊料层3，清除靶材2周侧多余的焊料。本技术使用时，定位网7嵌设在焊料层3内，定位件4被夹紧在靶材2和背板1之间，使靶材2和背板1保持相同距离，确保靶材2与背板1平行，提高产品精度和质量；定位件4采用铜材质加工而成，有利于减少定位件4和焊料之间的受热伸缩差距，从而避免定位件4与焊料层3之间形成缝隙；通过将背板1一侧打磨成粗糙面10，有效增强背板1与焊料层3之间的连接强度；通过在焊料层3内嵌设定位网7，定位网7压紧在靶材2和背板1之间，不仅能确保靶材2与背板1保持本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平板显示溅射靶材，包括背板（1）和靶材（2），其特征在于，所述背板（1）和靶材（2）之间填充有焊料层（3），所述焊料层（3）内嵌设有用于固定所述背板（1）和所述靶材（2）之间距离的定位件（4），所述定位件（4）同时与所述背板（1）和所述靶材（2）抵接。

【技术特征摘要】
1.一种平板显示溅射靶材，包括背板（1）和靶材（2），其特征在于，所述背板（1）和靶材（2）之间填充有焊料层（3），所述焊料层（3）内嵌设有用于固定所述背板（1）和所述靶材（2）之间距离的定位件（4），所述定位件（4）同时与所述背板（1）和所述靶材（2）抵接。2.根据权利要求1所述的一种平板显示溅射靶材，其特征在于，所述定位件（4）包括嵌设于所述焊料层（3）内的多个定位柱（5），多个所述定位柱（5）相互平行设置，所述定位柱（5）侧壁同时与所述背板（1）和所述靶材（2）抵接。3.根据权利要求2所述的一种平板显示溅射靶材，其特征在于，所述靶材（2）表面呈长方形，所述定位柱（5）平行于所述靶材（2）的宽度方向，多个所述定位柱（5）之间固定有连接柱（6），所述连接柱（6）沿所述靶材（2）宽度的中...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢建栋，张小伟，张扬，
申请(专利权)人：东曹上海电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31