本实用新型专利技术公开了一种硅片自动翻转装置，其结构包括支撑架、挡板、第一电机、面板、滑槽、控制箱、开关按键、外壳、丝杆、滑溜板、光杆、支撑杆、插座口和机械手臂，通过设置了机械手臂，通过机械手臂上的第二电机控制第二支杆的前后转动，通过第三电机控制夹板的左右转动，通过对第一电机和第二电机结合控制，进而对夹板上的硅片进行多角度调节，并且机械手臂的零件均由螺栓进行相互连接，方便对机械手臂上的零件进行拆卸更换，达到了能够快速高效的将硅片进行传送翻转，使得硅片的两面能够依次进行加工的硅片传送翻转装置，并且维护方便的有益效果。
An automatic turning device for silicon wafer
【技术实现步骤摘要】
一种硅片自动翻转装置
本技术涉及硅片生产器械
，具体涉及一种硅片自动翻转装置。
技术介绍
硅片就是以硅为材料制造的片状物体，一般是指纯度很高的结晶硅单晶硅制成的，单晶硅的分子结构非常稳定，硅片在生产过程中，需要将硅片进行翻转，从而使其变换加工面此外，当硅片加工时，也需要对其进行翻转检查，随着硅片生产技术的提升，传统方法一般是利用人工将硅片进行翻转，硅片的加工效率较低，并且工人的劳动强度较大，难以满足生产的需要。而现有硅片翻转机构结构复杂，维护不方便。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题为了克服现有技术不足，现提出一种硅片自动翻转装置，以解决传统方法一般是利用人工将硅片进行翻转，硅片的加工效率较低，并且工人的劳动强度较大，难以满足生产的需要。而现有硅片翻转机构结构复杂，维护不方便的问题，达到了能够快速高效的将硅片进行传送翻转，使得硅片的两面能够依次进行加工的硅片传送翻转装置，并且维护方便的有益效果。(二)技术方案本技术通过如下技术方案实现：本技术提出了一种硅片自动翻转装置：包括支撑架、挡板、第一电机、面板、滑槽、控制箱、开关按键、外壳、丝杆、滑溜板、光杆、支撑杆、插座口和机械手臂，所述支撑架左侧与挡板进行螺栓连接，所述挡板组成顶端距离前端边缘十厘米处与第一电机进行螺栓连接，所述支撑架顶端面边角处设置有螺栓孔，并且通过螺栓与面板进行锁紧固定，所述面板内侧距离前端边缘十厘米处设置有滑槽，所述挡板左侧后端距离顶部边缘十厘米处与控制箱进行螺栓连接，所述控制箱左侧与开关按键进行嵌入配合，所述第一电机右侧通过转动轴贯穿挡板和外壳左侧与丝杆左端圆心处进行螺栓连接，并且丝杆右端通过插接轴承与外壳内部右侧进行插接，所述丝杆外侧与滑溜板内中部进行螺纹连接，所述滑溜板内部前后两侧与光杆进行滑动连接，并且光杆左右两端均与外壳内侧进行螺栓连接，所述滑溜板顶端中部与支撑杆进行螺栓连接，所述支撑杆后端与机械手臂进行螺栓连接，所述外壳顶端与面板底部进行螺栓连接，所述挡板左侧前端距离底端边缘十厘米处与插座口进行嵌入配合，并且插座口左右两侧通过螺栓与挡板进行锁紧固定，所述机械手臂由第一支杆、第二支杆、第二电机、固定板、夹块、夹板、第三电机、联轴器和弹簧组成，所述第一支杆左侧后端与第二电机进行螺栓连接，所述第二电机通过转动轴贯穿第一支杆与第二支杆内部前端左侧进行插接，所述第二支杆内部后端与第三电机进行嵌入，并且通过螺栓进行锁紧固定，所述第三电机后端通过转动轴贯穿联轴器与固定板前端中部进行螺栓连接，所述固定板内部后端上下两侧距离中部一厘米处与弹簧进行嵌入配合，并且与弹簧外侧进行焊接固定，所述弹簧内侧与夹块前端进行螺栓连接，所述夹块后端内侧与夹板进行螺栓连接，所述第一支杆前端面与支撑杆后端面顶部进行螺栓连接，所述第一电机、第二电机、第三电机和插座口分别与开关按键电连接。进一步的，所述夹块、夹板和弹簧均设置有两个，并且对立设置。进一步的，所述丝杆的长度与滑槽的长度一致，并且滑槽的内部宽度大于支撑杆的宽度。进一步的，所述夹板内侧设置有一层厚度为0.1CM的橡胶垫，并且橡胶垫外侧设置有防滑纹路。进一步的，所述光杆均设置有两个，分别与滑溜板内部前后两侧进行插接。进一步的，所述第二支杆的长度小于第一支杆。进一步的，所述开关按键均设置有三个。进一步的，所述第一电机的型号为Y2-160L-4极电机。进一步的，所述第二电机和第三电机的型号为M315-401系列微型电机。(三)有益效果本技术相对于现有技术，具有以下有益效果：以解决传统方法一般是利用人工将硅片进行翻转，硅片的加工效率较低，并且工人的劳动强度较大，难以满足生产的需要。而现有硅片翻转机构结构复杂，维护不方便的问题，通过设置了机械手臂，通过机械手臂上的第二电机控制第二支杆的前后转动，通过第三电机控制夹板的左右转动，通过对第一电机和第二电机结合控制，进而对夹板上的硅片进行多角度调节，并且机械手臂的零件均由螺栓进行相互连接，方便对机械手臂上的零件进行拆卸更换，达到了能够快速高效的将硅片进行传送翻转，使得硅片的两面能够依次进行加工的硅片传送翻转装置，并且维护方便的有益效果。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的丝杆结构示意图；图3为本技术的机械手臂结构示意图；图4为本技术的第二支杆内部结构示意图。图中：支撑架-1、挡板-2、第一电机-3、面板-4、滑槽-5、机械手臂-6、控制箱-7、开关按键-8、外壳-9、丝杆-10、滑溜板-11、光杆-12、支撑杆-13、插座口-14、第一支杆-61、第二支杆-62、第二电机-63、固定板-64、夹块-65、夹板-66、第三电机-67、联轴器-68、弹簧-69。具体实施方式本技术方案中：机械手臂6、第一支杆61、第二支杆62、第二电机63、固定板64、夹块65、夹板66、第三电机67、联轴器68和弹簧69为本技术含有实质创新性构件。支撑架1、挡板2、第一电机3、面板4、滑槽5、控制箱7、开关按键8、外壳9、丝杆10、滑溜板11、光杆12、支撑杆13和插座口14为实现本技术技术方案必不可少的连接性构件。为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。请参阅图1、图2、图3与图4，本技术提供一种硅片自动翻转装置：包括支撑架1、挡板2、第一电机3、面板4、滑槽5、控制箱7、开关按键8、外壳9、丝杆10、滑溜板11、光杆12、支撑杆13、插座口14和机械手臂6，支撑架1左侧与挡板2进行螺栓连接，挡板2组成顶端距离前端边缘十厘米处与第一电机3进行螺栓连接，支撑架1顶端面边角处设置有螺栓孔，并且通过螺栓与面板4进行锁紧固定，面板4内侧距离前端边缘十厘米处设置有滑槽5，挡板2左侧后端距离顶部边缘十厘米处与控制箱7进行螺栓连接，控制箱7左侧与开关按键8进行嵌入配合，第一电机3右侧通过转动轴贯穿挡板2和外壳9左侧与丝杆10左端圆心处进行螺栓连接，并且丝杆10右端通过插接轴承与外壳9内部右侧进行插接，丝杆10外侧与滑溜板11内中部进行螺纹连接，滑溜板11内部前后两侧与光杆12进行滑动连接，并且光杆12左右两端均与外壳9内侧进行螺栓连接，滑溜板11顶端中部与支撑杆13进行螺栓连接，支撑杆13后端与机械手臂6进行螺栓连接，外壳9顶端与面板4底部进行螺栓连接，挡板2左侧前端距离底端边缘十厘米处与插座口14进行嵌入配合，并且插座口14左右两侧通过螺栓与挡板2进行锁紧固定，机械手臂6由第一支杆61、第二支杆62、第二电机63、固定板64、夹块65、夹板66、第三电机67、联轴器68和弹簧69组成，第一支杆61左侧后端与第二电机63进行螺栓连接，第二电机63通过转动轴贯穿第一支杆61与第二支杆62内部前端左侧进行插接，第二支杆62内部后端与第三电机67进行嵌入，并且通过螺栓进行锁紧固定，第三电机67后端通过转动轴贯穿联轴器68与固定板64前端中部进行螺栓连接，固定板64内部后端上下两侧距离中部一厘本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种硅片自动翻转装置，包括支撑架(1)、挡板(2)、第一电机(3)、面板(4)、滑槽(5)、控制箱(7)、开关按键(8)、外壳(9)、丝杆(10)、滑溜板(11)、光杆(12)、支撑杆(13)和插座口(14)，其特征在于：还包括机械手臂(6)，所述支撑架(1)左侧与挡板(2)进行螺栓连接，所述挡板(2)组成顶端距离前端边缘十厘米处与第一电机(3)进行螺栓连接，所述支撑架(1)顶端面边角处设置有螺栓孔，并且通过螺栓与面板(4)进行锁紧固定，所述面板(4)内侧距离前端边缘十厘米处设置有滑槽(5)，所述挡板(2)左侧后端距离顶部边缘十厘米处与控制箱(7)进行螺栓连接，所述控制箱(7)左侧与开关按键(8)进行嵌入配合，所述第一电机(3)右侧通过转动轴贯穿挡板(2)和外壳(9)左侧与丝杆(10)左端圆心处进行螺栓连接，并且丝杆(10)右端通过插接轴承与外壳(9)内部右侧进行插接，所述丝杆(10)外侧与滑溜板(11)内中部进行螺纹连接，所述滑溜板(11)内部前后两侧与光杆(12)进行滑动连接，并且光杆(12)左右两端均与外壳(9)内侧进行螺栓连接，所述滑溜板(11)顶端中部与支撑杆(13)进行螺栓连接，所述支撑杆(13)后端与机械手臂(6)进行螺栓连接，所述外壳(9)顶端与面板(4)底部进行螺栓连接，所述挡板(2)左侧前端距离底端边缘十厘米处与插座口(14)进行嵌入配合，并且插座口(14)左右两侧通过螺栓与挡板(2)进行锁紧固定，所述机械手臂(6)由第一支杆(61)、第二支杆(62)、第二电机(63)、固定板(64)、夹块(65)、夹板(66)、第三电机(67)、联轴器(68)和弹簧(69)组成，所述第一支杆(61)左侧后端与第二电机(63)进行螺栓连接，所述第二电机(63)通过转动轴贯穿第一支杆(61)与第二支杆(62)内部前端左侧进行插接，所述第二支杆(62)内部后端与第三电机(67)进行嵌入，并且通过螺栓进行锁紧固定，所述第三电机(67)后端通过转动轴贯穿联轴器(68)与固定板(64)前端中部进行螺栓连接，所述固定板(64)内部后端上下两侧距离中部一厘米处与弹簧(69)进行嵌入配合，并且与弹簧(69)外侧进行焊接固定，所述弹簧(69)内侧与夹块(65)前端进行螺栓连接，所述夹块(65)后端内侧与夹板(66)进行螺栓连接，所述第一支杆(61)前端面与支撑杆(13)后端面顶部进行螺栓连接，所述第一电机(3)、第二电机(63)、第三电机(67)和插座口(14)分别与开关按键(8)电连接。...
【技术特征摘要】
1.一种硅片自动翻转装置，包括支撑架(1)、挡板(2)、第一电机(3)、面板(4)、滑槽(5)、控制箱(7)、开关按键(8)、外壳(9)、丝杆(10)、滑溜板(11)、光杆(12)、支撑杆(13)和插座口(14)，其特征在于：还包括机械手臂(6)，所述支撑架(1)左侧与挡板(2)进行螺栓连接，所述挡板(2)组成顶端距离前端边缘十厘米处与第一电机(3)进行螺栓连接，所述支撑架(1)顶端面边角处设置有螺栓孔，并且通过螺栓与面板(4)进行锁紧固定，所述面板(4)内侧距离前端边缘十厘米处设置有滑槽(5)，所述挡板(2)左侧后端距离顶部边缘十厘米处与控制箱(7)进行螺栓连接，所述控制箱(7)左侧与开关按键(8)进行嵌入配合，所述第一电机(3)右侧通过转动轴贯穿挡板(2)和外壳(9)左侧与丝杆(10)左端圆心处进行螺栓连接，并且丝杆(10)右端通过插接轴承与外壳(9)内部右侧进行插接，所述丝杆(10)外侧与滑溜板(11)内中部进行螺纹连接，所述滑溜板(11)内部前后两侧与光杆(12)进行滑动连接，并且光杆(12)左右两端均与外壳(9)内侧进行螺栓连接，所述滑溜板(11)顶端中部与支撑杆(13)进行螺栓连接，所述支撑杆(13)后端与机械手臂(6)进行螺栓连接，所述外壳(9)顶端与面板(4)底部进行螺栓连接，所述挡板(2)左侧前端距离底端边缘十厘米处与插座口(14)进行嵌入配合，并且插座口(14)左右两侧通过螺栓与挡板(2)进行锁紧固定，所述机械手臂(6)由第一支杆(61)、第二支杆(62)、第二电机(63)、固定板(64)、夹块(65)、夹板(66)、第三电机(67)、联轴器(68)和弹簧(69)组成，所述第一支杆(61)左...
【专利技术属性】
技术研发人员：王磊，邵雨昕，
申请(专利权)人：苏州瑞多精密技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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