输送装置制造方法及图纸

一种输送装置，其包括一个驱动电机、一个被驱动电机驱动的驱动臂和一个连接着驱动臂前端的输送台。驱动电机的输出通过一个曳引驱动减速器而传递到驱动臂上，该减速器包括一根外接轴、多根环绕着外接轴外圆周布置的中间轴、一个内接着中间轴外圆周的内接滚筒和一个托架，所述托架具有由一个支柱部分连接着的一对板；其中，输入是从外接轴引入的，而输出取自托架。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种曳引驱动减速器，其包括一根外接轴、多根环绕着外接轴外圆周接触着布置的中间轴和一个内接着中间轴外圆周的内接滚筒。本专利技术还涉及一种输送装置，其使用了作为驱动装置的曳引驱动减速器，减速器包括一根外接轴、多根环绕着外接轴外圆周接触着布置的中间轴和一个内接着中间轴外圆周的内接滚筒。本专利技术还涉及一种用在输送装置中的双轴编码器结构。
技术介绍
(1)在包括一根外接轴、多根环绕着外接轴外圆周接触着布置的中间轴和一个内接着中间轴外圆周的内接滚筒的曳引驱动减速器中，驱动电机的旋转从外接轴引入，中间轴被支承件可旋转地支承着，输出取自支承件，这种曳引驱动减速器是众所周知的(例如JP-A-58-119746)。然而，在传统众所周知的曳引驱动减速器中，如果多根中间轴的直径存在偏差，则用于引出输出的支承件的旋转中心可能不与外接轴的中心一致。因此，取自支承件的输出可能出现旋转不均匀性，这一点是不利的。也就是说，在传统曳引驱动减速器中，来自驱动电机的旋转力被引入外接轴上，与此相反，输出取自支承着中间轴的支承件。在这种情况下，如果因多根中间轴的直径存在偏差而导致内接滚筒的中心错位，则输出的旋转中心会绕着原始旋转中心旋转，旋转半径等于错位量，因此，旋转中心的错位将导致输出侧的旋转出现误差。为此，本专利技术的一个目的是提供一种没有上述问题的曳引驱动减速器。(2)在需要禁止微粒的精细加工领域，例如半导体晶片或LCD(液晶显示器)玻璃底板加工领域，被输送的材料必然不能通过夹持(抓持被输送的材料)而被输送(无法保持)。因此，作为这种输送领域的运送方法，现在的状况是利用系统的输送装置进行输送，其中被输送材料只被放在(只被支承在)手臂(末端操作器)段。然而，在这种输送装置中，支承件包括有机(例如橡胶或类似物)支承和无机(陶瓷或类似物)支承，因此有一个问题是，尽管有机支承的摩擦力相对较大，但不能用在高温部分中。此外，还有一种真空吸收系统，然而，尽管该系统可以用在空气中，但不能够用于产生在半导体晶片或LCD(液晶显示器)玻璃底板的加工中希望使用的真空。此外，在真空吸收方法中，结构复杂而且成本高。因此，在许多情况下，被输送的材料(晶片或类似物)只被手臂支承段的摩擦力保持着。然而，当这种材料被突然移动或在移动中出现振动时，被输送的材料会出现滑动和错位，从而会出现诸如产生颗粒、控制故障、被输送材料受损等缺点。因此，为了将输送装置用在这样的精确输送领域，需要有这样的输送装置，即它可以进行振动(加速度)极小的输送(平稳输送)。在这种需要禁止颗粒和需要用于精确加工诸如半导体晶片或LCD(液晶显示器)玻璃底板等的输送工具中，通常要使用直接传动(DD)系统驱动装置(JP-A-3-281183)。然而，在DD系统驱动装置中，由于输出密度(扭矩/体积，扭矩/电机功率)较小，因此存在的问题是驱动装置较大而且电源功率也较大。一方面，为了实现驱动装置紧凑化的目的，现有一种使用了带齿轮机构的减速器的输送装置。通过使用带齿轮机构的减速器，驱动装置的紧凑化变得可行。然而，由于设有齿轮，因此有一个问题是存在游隙，或者会产生振动或噪音。此外，为了降低振动或噪音，在使用了带齿轮机构的减速器的输送装置中，控制会变得复杂，而成本较高。为此，本专利技术的另一个目的是提供一种输送装置，其能够解决上述传统技术中伴随的问题，而且曳引驱动减速器被用作驱动装置，以及提供一种紧凑和低振动、低噪音的输送装置，其可以用在半导体晶片或LCD(液晶显示器)玻璃底板加工中。(3)在需要禁止颗粒和需要用于精确加工诸如半导体晶片或LCD(液晶显示器)玻璃底板等的输送工具中，众所周知的是一种布置在真空中的光学编码器(例如JP-W-8-506771(USP5,720,590))。在JP-W-8-506771中公开的输送装置中，由于编码器和轴承设在真空环境中，因此必须使用真空环境中要求采用的高成本编码器和轴承。此外，由于轴承用在真空环境中，因此在希望提高负载能力时，轴承将成为颗粒产生的一个因素。因此，有一个问题是负载能力不能提高。为此，本专利技术的另一个目的是提供一种用在简单构造的输送装置中的双轴输出编码器结构。
技术实现思路
根据本专利技术的第一个方面，与现有技术相伴的问题可以通过这样一种曳引驱动减速器而解决，该减速器包括一根外接轴、多根环绕着外接轴外圆周接触着布置的中间轴和一个内接着中间轴外圆周的内接滚筒，其中一个可旋转地支承着中间轴的支承件是固定着的，一个驱动电机连接着多根中间轴中的至少一根，输出取自直径大于中间轴外径的外接轴。在本专利技术中，旋转被引入中间轴上，而输出取自安置在中心的外接轴。也就是说，由外接轴构成的输出轴设置在基准输出的旋转中心上，而支承件是固定的。根据这种结构，即使多根中间轴的直径存在偏差，但由于处于自由状态的内接滚筒也会因中间轴的直径偏差而出现变形，因此其旋转中心会同时错位。其结果是，因多根中间轴的直径偏差而导致的旋转误差不会产生在作为输出轴的外接轴上。此外，本专利技术还可以应用在需要多个同轴输出的情况下。也就是说，在曳引驱动装置以这样的方式构造出来后，在包括一根外接轴、多根环绕着外接轴外的圆周布置的中间轴和一个内接着中间轴外圆周的内接滚筒的曳引驱动减速器中，曳引驱动减速器的特征在于两根以上的外接轴同轴布置；相应的多根中间轴环绕着相应外接轴的外圆周接触着布置；一个可旋转地支承着相应中间轴的支承件是固定着的；旋转分别引入到成对中间轴中的至少一根上，输出取自相对应的外接轴，而且可以引出两个以上的同轴输出，此外，不带输出误差的输出可以取自同轴式输出轴。特别是，具有这种输出轴的曳引驱动减速器具有非常优秀的特性，例如，可以用作工业机器人的驱动段的驱动机构。根据本专利技术的第二个方面，提供了一种输送装置，其包括一个驱动电机、一个被驱动电机驱动的驱动臂和一个连接在驱动臂顶端的输送台，其中驱动电机的输出通过一个曳引驱动减速器而传递到驱动臂上，该减速器包括外接轴、多根环绕着外接轴外圆周布置的中间轴和一个内接着中间轴外圆周的内接滚筒。根据本专利技术的输送装置，驱动装置可以紧凑化，而且通过使用不带齿轮的减速器，可以实现光滑的驱动，振动和噪音可以降低，而且可以在不导致被输送材料错位的情况下实现输送。这是因为在使用了曳引驱动减速器后，不存在游隙(间隙)，因此在驱动启动时不会产生因间隙导致的冲击，这样，不会导致被输送材料的错位。在本专利技术中，输送装置可以被制作成具有两根同轴布置的输出轴的装置，其中每根输出轴分别通过一个相应的曳引驱动减速器连接着一个相应的驱动电机，该减速器包括外接轴、多根环绕着外接轴外圆周布置的中间轴和一个内接着中间轴外圆周的内接滚筒，两个同轴输出可以取自两根输出轴。在这种情况下，输送装置的两根同轴布置的输出轴和曳引驱动减速器的一个输出件可以彼此整体连接，或者可以通过诸如环形皮带等传动件相连。曳引驱动减速器可以将一个用于可旋转地支承着多根中间轴的托架固定住，并且从成对中间轴中的至少一根引入旋转，输出取自相应的外接轴，或者也可以从外接轴输入旋转，并将一个内接着多根中间轴的内接滚筒固定住，而旋转输出取自可旋转地支承着多根中间轴的托架。此外，如果本专利技术的输送装置是以这样的方式构造的，即前级减速器连接着曳引驱动减速器的前级，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种输送装置，其包括一个驱动电机、一个被驱动电机驱动的驱动臂和一个连接着驱动臂前端的输送台，其特征在于：驱动电机的输出通过一个曳引驱动减速器而传递到驱动臂上，该减速器包括一根外接轴、多根环绕着外接轴外圆周布置的中间轴、一个内接着中间轴外圆周的内接滚筒和一个托架，所述托架具有由一个支柱部分连接着的一对板；其中，输入是从外接轴引入的，而输出取自托架。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：森弘树，渡边徹也，奥野长平，前川高弘，
申请(专利权)人：纳博特斯克株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]