一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件技术方案

本实用新型专利技术的一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件，包括水冷固定件单元、进液口和出液口；水冷固定件单元设置有前蓄液腔体、后蓄液筒和隔液板，前蓄液腔体与隔液板之间形成前蓄液内腔，后蓄液筒和隔液板之间形成后蓄液内腔；前蓄液内腔和后蓄液内腔通过隔液板隔开，隔液板上设置有多个导流口；前蓄液内腔与进液口和出液口连通；后蓄液内腔通过导流口与前蓄液内腔连通；液体从进液口注入并通过导流口流经前蓄液内腔和所述后蓄液内腔。本实用新型专利技术的用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件，通过冷却液体带走密封圈处或者其他周边工件处的热量，使之可长期工作在更高温度环境，有利于改善镀膜系统生长薄膜的质量。

A Water Cooling Component for Flat-Plate PECVD Coating System

【技术实现步骤摘要】
一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件
本技术涉及光伏设备领域，更具体地说，涉及一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件。
技术介绍
PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)镀膜系统中微波传输天线外部由石英管实现真空与大气环境之间的隔离，在石英管两端采用O型橡胶密封圈进行真空密封。由于工艺室内的温度远高于橡胶密封圈的工作温度，因此必须要对橡胶密封圈进行必要的冷却才能实现真空与大气之间的隔离。目前行业内镀膜系统均采用的高压鼓风机强制风冷方式对密封圈进行冷却，工艺温度不能超过420℃。实验数据表明，当工艺温度达到450℃时，薄膜的品质会对最终产品有着非常明显的提高。但目前的冷却方式无法使密封圈长期工作在450℃。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件，将镀膜系统内的冷却方式由单一的强制风冷改为风冷+水冷组合。即，在保证原来的冷却方法之外，将冷却液体引入到水冷组件以对水冷组件周边的密封圈或者其他周边工件进行冷却，通过冷却液体带走密封圈处或者其他周边工件处的热量，使之可长期工作在更高温度环境，有利于改善镀膜系统生长薄膜的质量。为了达到上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件，包括水冷固定件单元、进液口和出液口；所述水冷固定件单元设置有前蓄液腔体、后蓄液筒和隔液板，所述前蓄液腔体与所述隔液板之间形成前蓄液内腔，所述后蓄液筒和所述隔液板之间形成后蓄液内腔；所述前蓄液内腔和所述后蓄液内腔通过所述隔液板隔开，所述隔液板上设置有多个导流口；所述前蓄液内腔与所述进液口和所述出液口连通；所述后蓄液内腔通过导流口与所述前蓄液内腔连通；液体从进液口注入并通过所述导流口流经所述前蓄液内腔和所述后蓄液内腔。优选的，所述水冷固定件单元包括前水冷固定件和后水冷固定件；所述前水冷固定件包括隔液板和前蓄液腔体，所述隔液板上设置有多个导流口；所述前蓄液内腔与所述进液口和所述出液口连通；所述后水冷固定件包括隔离筒和后蓄液筒，所述隔液板套接在所述隔离筒外周；所述隔离筒、所述隔液板和所述前蓄液腔体之间形成前蓄液内腔，所述隔离筒、所述隔液板与所述后蓄液筒之间形成后蓄液内腔。优选的，所述前蓄液内腔包括第一前蓄液内腔和第二前蓄液内腔；所述第一前蓄液内腔和所述第二前蓄液内腔通过隔腔板隔开，所述进液口与所述第一前蓄液内腔连通，所述出液口与所述第二前蓄液内腔连通；液体从进液口注入所述第一前蓄液内腔并通过导流口流入所述后蓄液内腔，再从所述后蓄液内腔通过导流口流入所述第二前蓄液内腔，以从所述出液口流出。优选的，所述导流口包括进液导流口和出液导流口，所述进液导流口与所述第一前蓄液内腔连通，所述出液导流口与所述第二前蓄液内腔连通。优选的，还包括导流管，所述导流管设置在所述后蓄液内腔内并与所述进液导流口连通。优选的，所述隔液板上均匀设置有六个导流口。优选的，所述进液口与所述进液管连通，所述出液口与所述出液管连通。根据上述的技术方案，可以知道，在本技术中，水冷固定件单元设置有前蓄液内腔和后蓄液内腔，前蓄液内腔和后蓄液内腔通过隔液板隔开，液体从进液口注入先进入到前蓄液内腔，通过导流口再流入后蓄液内腔，当后蓄液内腔充满流体后，随着液体的不断注入，液体再从出液口流出，通过液体的不断循环使得水冷组件能够不断带走周边环境的热量，从而使得水冷组件直接或者间接连接的设备组件和设备环境起到降温的作用，将镀膜系统内的冷却方式由单一的强制风冷改为风冷+水冷组合，在保证原来的冷却方法之外，将冷却液体引入到水冷组件以对水冷组件周边的密封圈或者其他周边工件进行冷却，通过冷却液体带走密封圈处或者其他周边工件处的热量，使之可长期工作在更高温度环境，使工艺环境温度可以更设定的更高，以提高镀膜质量，提升产品品质。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件的立体图；图2为本技术的用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件的后视图；图3为本技术的用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件的正视局部图；图4为本技术的用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件的后视局部图；图5为本技术的后水冷固定件的立体图；其中，附图中标记如下：1-进液口，2-出液口，3-前蓄液腔体，4-隔液板，5-后蓄液筒，6-进液导流口，7-隔离筒，8-第一前蓄液内腔，9-第二前蓄液内腔，10-隔腔板，11-出液导流口，12-导流管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，图1为本技术的用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件的立体图；图2为本技术的用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件的后视图；图3为本技术的用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件的正视局部图；图4为本技术的用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件的后视局部图；图5为本技术的后水冷固定件的立体图。如图1-5，一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件，包括水冷固定件单元、进液口1和出液口2；所述水冷固定件单元设置有前蓄液腔体3、后蓄液筒5、隔液板4、前蓄液内腔和后蓄液内腔，所述前蓄液腔体3与所述隔液板4之间形成前蓄液内腔，所述后蓄液筒5和所述隔液板4之间形成后蓄液内腔；所述前蓄液内腔和所述后蓄液内腔通过所述隔液板4隔开，所述隔液板4上设置有多个导流口，优选的，所述隔液板4上均匀设置有六个导流口，当然也可以设计为四个或者八个，只要能够达到相同的技术效果即可，所述进液口1与所述进液管连通，所述出液口2与所述出液管连通；所述前蓄液内腔与所述进液口1和所述出液口2连通；所述后蓄液内腔通过导流口与所述前蓄液内腔连通；液体从进液口1注入并通过所述导流口流经所述前蓄液内腔和所述后蓄液内腔。液体从进液口1注入先进入到前蓄液内腔，通过导流口再流入后蓄液内腔，此时可以待前蓄液内腔充满液体后再通过导流口再流入后蓄液内腔，也可以直接通过导流口流入后蓄液内腔，当后蓄液内腔充满流体后，随着液体的不断注入，液体再从出液口2流出，通过液体的不断循环使得水冷组件能够不断带走周边环境的热量，从而使得水冷组件直接或者间接连接的设备组件和设备环境起到降温的作用，以增加设备的使用寿命和设备的工作周期，同时也能够进一步改善工作环境，这里需要说明的是，此实施例中水冷固定件单元可以是将前蓄液腔体3、后蓄液筒5、隔液板4、前蓄液内腔和后蓄液内腔一体成型，也可以是可拆卸组装，只要能够达到相同的技术效果即可。为了使得装置更好的组装与拆卸，水冷固定件单元包括前水冷固定件和后水冷固定件；如图3所示，所述前水冷固定件包括隔液板4和前蓄液腔体3，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件，其特征在于，包括水冷固定件单元、进液口和出液口；所述水冷固定件单元设置有前蓄液腔体、后蓄液筒和隔液板，所述前蓄液腔体与所述隔液板之间形成前蓄液内腔，所述后蓄液筒和所述隔液板之间形成后蓄液内腔；所述前蓄液内腔和所述后蓄液内腔通过所述隔液板隔开，所述隔液板上设置有多个导流口；所述前蓄液内腔与所述进液口和所述出液口连通；所述后蓄液内腔通过导流口与所述前蓄液内腔连通；液体从进液口注入并通过所述导流口流经所述前蓄液内腔和所述后蓄液内腔。

【技术特征摘要】
1.一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件，其特征在于，包括水冷固定件单元、进液口和出液口；所述水冷固定件单元设置有前蓄液腔体、后蓄液筒和隔液板，所述前蓄液腔体与所述隔液板之间形成前蓄液内腔，所述后蓄液筒和所述隔液板之间形成后蓄液内腔；所述前蓄液内腔和所述后蓄液内腔通过所述隔液板隔开，所述隔液板上设置有多个导流口；所述前蓄液内腔与所述进液口和所述出液口连通；所述后蓄液内腔通过导流口与所述前蓄液内腔连通；液体从进液口注入并通过所述导流口流经所述前蓄液内腔和所述后蓄液内腔。2.如权利要求1所述的用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件，其特征在于，所述水冷固定件单元包括前水冷固定件和后水冷固定件；所述前水冷固定件包括隔液板和前蓄液腔体，所述隔液板上设置有多个导流口；所述前蓄液内腔与所述进液口和所述出液口连通；所述后水冷固定件包括隔离筒和后蓄液筒，所述隔液板套接在所述隔离筒外周；所述隔离筒、所述隔液板和所述前蓄液腔体之间形成前蓄液内腔，所述隔离筒、所述隔液板与所述后蓄液筒之间形成后蓄液内腔。3.如权利要求2所述的用于平板式PE...

【专利技术属性】
技术研发人员：何振杰，
申请(专利权)人：杭州海莱德智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33