一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法、系统及设备技术方案

本发明专利技术提供了矢量网络分析仪在片S参数的校准方法、系统及设备，方法包括：获取矢量网络分析仪测量的第一串扰校准件的第一参数；基于第一串扰校准件的第一参数和第一串扰校准件的标定参数获得主串扰误差项；获取矢量网络分析仪基于主串扰误差项测量的第二串扰校准件的第二参数；基于第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项，主串扰误差项和次串扰误差项用于校准矢量网络分析仪。通过主串扰误差项，在矢量网络分析仪测量被测件的在片S参数时进行修正，解决了测量时探针与探针之间的主要串扰误差，通过次串扰误差项，解决了主串扰误差项修正不完善引起的剩余误差，提高了在片S参数校准的准确度。

A Calibration Method, System and Equipment for On-Chip S Parameters of Vector Network Analyser

【技术实现步骤摘要】
一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法、系统及设备
本专利技术属于半导体
，尤其涉及一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法、系统及设备。
技术介绍
12-term系统误差模型和8-term系统误差模型分别对系统源/负载匹配、反射/传输跟踪、方向性、隔离等不理想进行了表征，在低频在片领域(50GHz以下)、同轴和波导领域具有很高的准确度，因而得到了广泛的应用。随着在片测试频率的升高，一些在低频段可以忽略的系统误差在高频段不可忽略，传统的12-term系统误差模型或者8-term误差模型，在高频段对在片S参数校准时误差较大，校准不准确。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了矢量网络分析仪在片S参数的校准方法、系统及设备，以解决目前系统误差模型在高频段对在片S参数校准不准确的问题。本专利技术实施例的第一方面提供了一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，包括：获取矢量网络分析仪测量的第一串扰校准件的第一参数；基于所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数获得主串扰误差项，所述主串扰误差项为矢量网络分析仪测量被测件时第一探针和第二探针之间的串扰误差；获取矢量网络分析仪基于主串扰误差项测量的第二串扰校准件的第二参数；基于所述第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项，所述主串扰误差项和所述次串扰误差项用于校准所述矢量网络分析仪，所述次串扰误差项是主串扰误差项修正不完善的第一探针与第二探针之间的剩余串扰误差。本专利技术实施例的第二方面提供了一种矢量网络分析仪在片S参数的校准系统，包括：第一参数获取模块，用于获取矢量网络分析仪测量的第一串扰校准件的第一参数；第一计算模块，用于基于所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数获得主串扰误差项；第二参数获取模块，用于获取矢量网络分析仪基于主串扰误差项测量的第二串扰校准件的第二参数；第二计算模块，用于基于所述第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项，所述主串扰误差项和所述次串扰误差项用于校准所述矢量网络分析仪。本专利技术实施例的第三方面提供了一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述矢量网络分析仪在片S参数的校准方法的步骤。本专利技术实施例的第四方面提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上所述矢量网络分析仪在片S参数的校准方法的步骤。本专利技术通过主串扰误差项，在矢量网络分析仪测量被测件的在片S参数时进行修正，解决了测量时探针与探针之间的主要串扰误差，通过次串扰误差项，在矢量网络分析仪测量被测件的在片S参数时进行修正，解决了主串扰误差项修正不完善引起的剩余误差，提高了在片S参数校准的准确度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术的一个实施例提供的矢量网络分析仪在片S参数的校准方法的流程示意图；图2是本专利技术的一个实施例提供的主串扰误差项模型的结构示意图；图3是本专利技术的一个实施例提供的次串扰误差项模型的结构示意图；图4是本专利技术的一个实施例提供的Short-Short串扰校准件的结构的示例图；图5是本专利技术的一个实施例提供的Open-Open串扰校准件的结构的示例图；图6是本专利技术的一个实施例提供的Resistor-Resistor串扰校准件的结构的示例图；图7是本专利技术的一个实施例提供的直通传输线的结构的示例图；图8是本专利技术的一个实施例提供的3mm频段时本专利技术与现有技术的仿真结果的示例图；图9是本专利技术的一个实施例提供的220GHz～325GHz频段时本专利技术与现有技术的仿真结果的结构的示例图；图10是本专利技术的一个实施例提供的矢量网络分析仪在片S参数的校准系统的结构示例图；图11是本专利技术的一个实施例提供的终端设备的示意图。具体实施方式以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本专利技术实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本专利技术。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本专利技术的描述。本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“包括”以及其他任何变形，是指“包括但不限于”，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含一系列步骤或单元的过程、方法或系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。此外，术语“第一”、“第二”和“第三”等是用于区别不同对象，而非用于描述特定顺序。为了说明本专利技术所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。实施例1：图1示出了本专利技术一实施例所提供的矢量网络分析仪在片S参数的校准方法的实现流程图，为了便于说明，仅示出了与本专利技术实施例相关的部分，详述如下：如图1所示，本专利技术实施例所提供的一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，包括：S101，获取矢量网络分析仪测量的第一串扰校准件的第一参数；S102，基于所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数获得主串扰误差项，所述主串扰误差项为矢量网络分析仪测量被测件时第一探针和第二探针之间的串扰误差；S103，获取矢量网络分析仪基于主串扰误差项测量的第二串扰校准件的第二参数；S104，基于所述第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项，所述主串扰误差项和所述次串扰误差项用于校准所述矢量网络分析仪，所述次串扰误差项是主串扰误差项修正不完善的第一探针与第二探针之间的剩余串扰误差。在本专利技术的实施例中，第一串扰校准件和第二串扰校准件可以是相同的串扰校准件也可以是不同的串扰校准件。且第一串扰校准件可以包含一种串扰校准件，也可以是多种串扰校准件。第二串扰校准件可以包含一种串扰校准件，也可以包含多种串扰校准件。在本专利技术的实施例中，所述第一串扰校准件的第一参数为所述矢量网络分析仪基于主误差模型对所述第一串扰校准件进行测量获得的，所述主误差模型为利用非串扰校准件对所述矢量网络分析仪进行模型校准获得的8-term误差模型或12-term误差模型。在本专利技术的实施例中，主误差模型采用8-term误差模型，可采用SOLT、LRRM、SOLR、LRM、TRL或MultilineTRL校准方法获得。也可先在系统同轴或波导口进行校准得到8term误差模型，再测量探针S参数，级联计算得到8-term误差模型。如图2所示，在本专利技术的实施例中，S102包括：基于主串扰误差项模型，通过所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数，获得主串扰误差项，所述主串扰误差项模型可以由以下算法获得：YA和YC并联，得因此，YT＝YC+YA；即：其中，YC11、YC12、YC21、YC22为四个主串扰误差项；YT11、YT12、YT21本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，其特征在于，包括：获取矢量网络分析仪测量的第一串扰校准件的第一参数；基于所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数获得主串扰误差项，所述主串扰误差项为矢量网络分析仪测量被测件时第一探针和第二探针之间的串扰误差；获取矢量网络分析仪基于主串扰误差项测量的第二串扰校准件的第二参数；基于所述第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项，所述主串扰误差项和所述次串扰误差项用于校准所述矢量网络分析仪，所述次串扰误差项是主串扰误差项修正不完善的第一探针与第二探针之间的剩余串扰误差。

【技术特征摘要】
1.一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，其特征在于，包括：获取矢量网络分析仪测量的第一串扰校准件的第一参数；基于所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数获得主串扰误差项，所述主串扰误差项为矢量网络分析仪测量被测件时第一探针和第二探针之间的串扰误差；获取矢量网络分析仪基于主串扰误差项测量的第二串扰校准件的第二参数；基于所述第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项，所述主串扰误差项和所述次串扰误差项用于校准所述矢量网络分析仪，所述次串扰误差项是主串扰误差项修正不完善的第一探针与第二探针之间的剩余串扰误差。2.如权利要求1所述的矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，其特征在于，所述第一串扰校准件的第一参数为所述矢量网络分析仪基于主误差模型对所述第一串扰校准件进行测量获得的，所述主误差模型为利用非串扰校准件对所述矢量网络分析仪进行模型校准获得的8-term误差模型或12-term误差模型。3.如权利要求1所述的矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，其特征在于，所述基于所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数获得主串扰误差项包括：基于主串扰误差项模型，通过所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数，获得主串扰误差项，所述主串扰误差项模型为：其中，YC11、YC12、YC21、YC22为四个主串扰误差项；YT11、YT12、YT21、YT22为所述第一串扰校准件的第一参数；YA11、YA12、YA21、YA22为所述第一串扰校准件的标定参数。4.如权利要求1所述的矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，其特征在于，所述获取矢量网络分析仪基于主串扰误差项测量的第二串扰校准件的第二参数，包括：获取矢量网络分析仪测量的第二串扰校准件的初始参数，所述第二串扰校准件的初始参数为所述矢量网络分析仪基于主误差模型对所述第二串扰校准件进行测量获得的，所述主误差模型为利用非串扰校准件对所述矢量网络分析仪进行模型校准获得的8-term误差模型或12-term误差模型；通过所述主串扰误差项对所述初始参数进行修正，获得第二参数。5.如权利要求1所述的矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，其特征在于，所述基于所述第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项包括：基于次串扰误差项模型，通过所述第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项，其中所述次串扰误差项模型为：其中：Smxy为所述第二串扰校准件的第二参数；Saij为...

【专利技术属性】
技术研发人员：王一帮，吴爱华，梁法国，刘晨，邹学锋，胡志富，曹健，霍晔，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：河北,13