限位件、工作平台组件及活化热退火设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种限位件、工作平台组件及活化热退火设备，属于设备制造技术领域，其可解决现有基板的限位结构容易造成基板损坏的问题。本实用新型专利技术的限位件，用于设置在工作平台的承载面上，以对置于承载面上的基板进行限位；限位件包括至少一个斜面部，斜面部具有用于与基板接触的第一表面，以及与第一表面相对的第二表面，第一表面为平面或弧面，第二表面为平面；斜面部具有第一端和第二端，在从第一端到第二端的方向上，第一表面与第二表面间的距离逐渐增大；斜面部至少靠近第一端的部分用于置于基板和承载面之间。

Limiting Parts, Working Platform Components and Activated Thermal Annealing Equipment

【技术实现步骤摘要】
限位件、工作平台组件及活化热退火设备
本技术属于设备制造
，具体涉及一种限位件、工作平台组件及活化热退火设备。
技术介绍
基板的制备需要经过多道工序，有些工序需要在不同的设备中完成，或者，有些工序需要在同一设备中不同的制备区间完成，因此，基板需要在不同的设备之间传送，或者，在同一设备的不同制备区间之间传送。一般地，采用传送装置进行基板的传送。参见图1，传送装置在传送基板时，基板2放置在传送装置的工作平台4上，在基板传送过程中，基板难免在外力作用下在工作平台上移动，例如，基板在快速热退火(rapidthermalannealing，简称RTA)设备中的高温腔室进入冷却腔室后，冷热气流相遇会造成基板在工作平台上的移动。为了防止基板在工作平台上大范围的移动，在工作平台上，对应基板2的每个直角的位置各外侧设置有两个圆柱凸起5，基板2的4个角共对应8个圆柱凸起5，8个圆柱凸起5组成对基板进行限位的限位结构。但是，当基板在承载面上发生剧烈移动时，基板会撞到圆柱凸起上，圆柱凸起和基板的碰撞面积小，且碰撞冲击力中与基板垂直的分力较大，因此，容易造成基板的损坏。
技术实现思路
本技术针对现有的基板的限位结构容易造成基板损坏的不足，提供一种结构合理，限位效果好且生产工艺简单的限位件、工作平台组件及活化热退火设备。解决本技术技术问题所采用的技术方案是一种限位件，用于设置在工作平台的承载面上，以对置于所述承载面上的基板进行限位；所述限位件包括至少一个斜面部，所述斜面部具有用于与所述基板接触的第一表面，以及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面为平面或弧面，所述第二表面为平面；所述斜面部具有第一端和第二端，在从所述第一端到所述第二端的方向上，所述第一表面与所述第二表面间的距离逐渐增大；所述斜面部至少靠近所述第一端的部分用于置于所述基板和所述承载面之间。可选地，所述限位件包括第一斜面部和第二斜面部；所述第一斜面部和所述第二斜面部均与一连接部相连，所述第一斜面部的第二表面和所述第二斜面部的第二表面共面；所述第一斜面部的所述第一端到所述第二端的方向与所述第二斜面部的所述第一端到所述第二端的方向相互垂直。可选地，所述第一斜面部和所述第二斜面部的结构相同。可选地，在所述第一斜面部和所述第二斜面部之间形成有缺失结构。可选地，所述第一表面和所述第二表面之间的夹角为10°至15°。可选地，每个所述斜面部中，所述第一表面和所述第二表面之间的最小距离不大于0.5mm，且最大距离至少为5mm。可选地，所述第二表面上设有用于对所述限位件进行定位的定位柱。可选地，所述第二表面上设有两个定位柱。可选地，所述第一表面上设有防滑结构。解决本技术技术问题所采用的技术方案是一种工作平台组件，包括工作平台以及多个上述的限位件；所述工作平台具有用于承载所述基板的承载面；所述限位件设于所述工作平台的承载面上。可选地，所述工作平台的承载面具有用于承载所述基板的基板放置区，所述基板放置区为矩形，所述基板放置区的每个侧边设有至少一个所述斜面部。可选地，所述限位件为上述的限位件，数量为4个，分别设置在所述基板放置区的4个角处，每个所述限位件的两个所述第一表面分别对应于所述基板放置区的相邻两侧边。可选地，所述工作平台上设有用于供所述定位柱插入的安装孔。解决本技术技术问题所采用的技术方案是一种活化热退火设备，包括上述的工作平台组件。附图说明图1为相关技术中基板的限位结构示意图；图2为本技术实施例提供的一种限位件的结构示意图；图3为本技术实施例提供的再一种限位件的结构示意图；图4为本技术实施例提供的另一种限位件的结构示意图；图5图4中的限位件的仰结构示意图；图6为本技术实施例提供的再一种限位件的结构示意图；图7为本技术实施例提供的一种工作平台的结构示意图。其中，附图标记为：1、限位件；2、基板；3、平板；4、工作平台；5、圆柱凸起；01、斜面部；11、第一表面；12、第二表面；101、第一端；102、第二端；1a、第一斜面部；1b、第二斜面部；1c、连接部；1d、缺失结构；1e、定位柱；A、第一斜面部的斜面方向；B、第二斜面部的斜面方向；α、第一表面和第二表面之间的夹角。具体实施方式为使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细描述。实施例1如图1至7所示，本实施例提供一种限位件，用于设置在工作平台4的承载面上，以对置于承载面上的基板2进行限位。限位件1包括至少一个斜面部01，斜面部01具有用于与基板2接触的第一表面11，以及与第一表面11相对的第二表面12，第一表面11为平面或弧面，第二表面12为平面。斜面部01具有第一端101和第二端102，在从第一端101到第二端102的方向上，第一表面11与第二表面12间的距离逐渐增大；斜面部01至少靠近第一端101的部分用于置于基板2和承载面之间。本实施例中，参见图2、7，当限位件1对设置在工作平台4的承载面上的基板2进行限位时，斜面部01靠近第一端101的部分置于承载面和基板2之间，限位件1的第一表面11和基板2接触，第二表面12设置在承载面上。在从第一端101到第二端102的方向A上，第一表面11和第二表面12之间的距离越来越大，也即第一表面11与承载面之间的距离越来越大。而由于限位件1与基板2的相对位置，使得基板2在向远离第一端101(靠近第二端102)方向的移动过程就是在第一表面11上爬坡的过程，因此，基板2自身的重力以及基板2在第一表面11上移动时所受的摩擦力，使得基板2较难运动，从而限位件1实现了对基板2的限位。同时，基板2在承载面上进行移动时，基板2也可在一定范围内在限位件1的第一表面11上移动，故限位件1对基板2的限位不是刚性的阻挡，而是允许基板2在第一表面11上运动，从而通过第一表面11和基板2之间的摩擦以及基板2自身的重力缓冲了基板2和限位件1之间的碰撞力度，最终避免了因基板2和限位件1刚性碰撞而造成的基板2的损坏。可选地，参见图3至6，限位件1包括两个斜面部01，即第一斜面部1a和第二斜面部1b。第一斜面部1a和第二斜面部1b均与一连接部1c相连，第一斜面部1a的第二表面12和第二斜面部1b的第二表面12共面。第一斜面部1a的第一端101到第二端102的方向A与第二斜面部1b的第一端101到第二端102的方向B相互垂直。当采用上述方案中限位件1对基板2进行限位时，基板2设置在工作平台的承载面上，基板2与承载面的垂直的4个表面为基板2的竖面，限位件1可以放置在基板2的直角所在位置处，也即，第一斜面部1a和基板2的两个相邻的竖面中的一者相对，第二斜面部1b和基板2的两个相邻的竖面中的另一者相对。第一斜面部1a用于限制基板在向远离第一斜面部1a的第一端101(靠近第二端102)方向上的移动；第二斜面部1b用于限制基板在向远离第二斜面部1b的第一端101(靠近第二端102)方向移动的限制。如此，一个上述结构的限位件1即可对基板2在向两个方向上移动的限制，从而，若采用上述结构的限位件1对基板2进行限位，则可以减少限位件1的使用数量，例如，若要实现承载面上基板2向各个方向上的移动的限制，仅需在基板2的一对对角处各本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种限位件，用于设置在工作平台的承载面上，以对置于所述承载面上的基板进行限位；其特征在于，所述限位件包括至少一个斜面部，所述斜面部具有用于与所述基板接触的第一表面，以及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面为平面或弧面，所述第二表面为平面；所述斜面部具有第一端和第二端，在从所述第一端到所述第二端的方向上，所述第一表面与所述第二表面间的距离逐渐增大；所述斜面部至少靠近所述第一端的部分用于置于所述基板和所述承载面之间。

【技术特征摘要】
1.一种限位件，用于设置在工作平台的承载面上，以对置于所述承载面上的基板进行限位；其特征在于，所述限位件包括至少一个斜面部，所述斜面部具有用于与所述基板接触的第一表面，以及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面为平面或弧面，所述第二表面为平面；所述斜面部具有第一端和第二端，在从所述第一端到所述第二端的方向上，所述第一表面与所述第二表面间的距离逐渐增大；所述斜面部至少靠近所述第一端的部分用于置于所述基板和所述承载面之间。2.根据权利要求1所述的限位件，其特征在于，所述限位件包括第一斜面部和第二斜面部；所述第一斜面部和所述第二斜面部均与一连接部相连，所述第一斜面部的第二表面和所述第二斜面部的第二表面共面；所述第一斜面部的所述第一端到所述第二端的方向与所述第二斜面部的所述第一端到所述第二端的方向相互垂直。3.根据权利要求2所述的限位件，其特征在于，所述第一斜面部和所述第二斜面部的结构相同。4.根据权利要求2所述的限位件，其特征在于，在所述第一斜面部和所述第二斜面部之间形成有缺失结构。5.根据权利要求1或2所述的限位件，其特征在于，所述第一表面和所述第二表面之间的夹角为10°至15°。6.根据权利要求1或2所述的限位件，其特征在于，每个所述斜面部中，所述第一表面和所述第二表面之间的最小...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭雄，左丞，陈玉楠，饶杨，党康鹏，陈宏，金钟，秦鹏，王博，罗仲丽，黄世飞，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，重庆京东方光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11