一种石墨烯薄膜的制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种石墨烯薄膜的制备装置，包括：进样室、制备室和出样室，所述进样室、制备室和出样室依次连接，所述进样室外设置有第一红外线加热炉，所述制备室外设置有第二红外线加热炉，所述制备室侧壁上设置有第一进气阀，所述第一进气阀上方设有气体温度调节室，所述气体温度调节室顶部设置有第二进气阀，所述第二进气阀设置有两个，分别通过进气管与保护气体箱和生长气体箱相连，本实用新型专利技术结构简单，加热迅速、精准，腔体内气体的通入温度稳定，温差小，能有效提高产品质量。

A Device for Preparing Graphene Films

【技术实现步骤摘要】
一种石墨烯薄膜的制备装置
本技术涉及一种石墨烯应用领域，特别涉及一种石墨烯薄膜的制备装置。
技术介绍
石墨烯薄膜的生长需要在保护气体和生长气体的环境中进行。保护气体以及生长气体的温度和气流是否稳定能够直接影响到石墨烯薄膜生长的品质，因此需要在石墨烯制备腔体通入均匀的气流，尽量减小气体和腔体内的稳产，使气流较稳定。现有的装置在连续石墨烯薄膜制备过程中，管式炉内加热温度，维持温度，保护气体和生长气体更换时带来温差等造成制备腔内温度不稳定，因此，影响石墨烯薄膜的质量。
技术实现思路
本技术的目的是解决现有现有的装置在连续石墨烯薄膜制备过程中，管式炉内加热温度，维持温度，保护气体和生长气体更换时带来温差等造成制备腔内温度不稳定，因此，影响石墨烯薄膜的质量等问题，提供了一种石墨烯薄膜的制备装置，本装置结构简单，加热迅速、精准，腔体内气体的通入温度稳定，温差小，能有效提高产品质量。本技术提供的技术方案为：一种石墨烯薄膜的制备装置，包括：进样室、制备室和出样室，所述进样室、制备室和出样室依次连接，所述进样室外设置有第一红外线加热炉，所述制备室外设置有第二红外线加热炉，所述进样室、制备室和出样室内设置有连通的滑轨，所述滑轨与进样室和出样室密封固定连接，所述滑轨上设置有薄膜制备箱，所述制备室侧壁上设置有第一进气阀，所述第一进气阀上方设有气体温度调节室，所述温度调节室设有温度调节装置，所述气体温度调节室顶部设置有第二进气阀，所述第二进气阀设置有两个，分别通过进气管与保护气体箱和生长气体箱相连，所述进样室和制备室侧壁上设置有真空泵和真空计，所述进样室和制备室内均设置有温度感应器，所述温度感应器与温度控制器电性连接，所述进样室顶部设置有进样口，所述出样室顶部设置有出样口，所述进样室一侧设置有推杆，所述出样室一侧设有磁性套杆，所述磁性套杆包括密封外壳和磁性滑柄，所述磁性滑柄顶端设有抓取部件。优选的是，所述制备室与进样室的连接处设置第一绝热阀门，所述制备室与出样室的连接处设置有第二绝热阀门。优选的是，所述温度调节装置为加热管，所述加热管盘旋在气体温度调节室外壁上。优选的是，所述出样室外壁设有冷冻水循环装置。优选的是，所述第一红外线加热炉和第二红外线加热炉内设置有红外线加热器。本技术的有益效果体现在以下方面：1、结构简单，加热迅速、精准。2、腔体内气体的通入温度稳定，温差小，能有效提高产品质量。附图说明图1和图2均为为所述装置结构示意图。1：进样室，2：制备室，3：出样室，4：第一红外线加热炉，5：第二红外线加热炉，6：滑轨，7：薄膜制备箱，8：第一进气阀，9：气体温度调节室，10：第二进气阀，11：进气管，12：保护气体箱，13：生长气体箱，14：真空泵，15：真空计，16：温度感应器，17：温度控制器，18：进样口，19：出样口，20：磁性套杆，21：密封外壳，22：磁性滑柄，23：抓取部件，24：第一绝热阀门，25：第二绝热阀门，26：加热管，27：冷冻水循环装置，28：红外线加热器,29：推杆。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。如图1和图2所示，一种石墨烯薄膜的制备装置，包括：进样室1、制备室2和出样室3，所述进样室1、制备室2和出样室3依次连接，所述制备室2与进样室1的连接处设置第一绝热阀门24，所述制备室2与出样室3的连接处设置有第二绝热阀门25，所述进样室1外设置有第一红外线加热炉4，所述制备室2外设置有第二红外线加热炉5，所述第一红外线加热炉4和第二红外线加热炉5内设置有红外线加热器28，采用红外加热原理对进样室1进行预加热及对制备室2进行加热，加热温度易控制，加热快速、稳定，精确。所述出样室3外壁设有冷冻水循环装置27，冷冻水循环装置27可对出样室3快速达到室温，以便取出成品，所述进样室1、制备室2和出样室3内设置有连通的滑轨6，所述滑轨6与进样室1和出样室3密封固定连接，所述滑轨6上设置有薄膜制备箱7，所述进样室1顶部设置有进样口18，所述出样室3顶部设置有出样口19，所述进样室1一侧设置有推杆29，所述出样室3一侧设有磁性套杆20，所述磁性套杆20包括密封外壳21和磁性滑柄22，所述磁性滑柄22顶端设有抓取部件23，薄膜制备箱7从进样口18放入，进行预热，预热完成后所述第一绝热阀门24开启，所述推杆29将薄膜制备箱7从进样室1沿滑轨6推入制备室2，薄膜制备完成后第二绝热阀门25开启，所述磁性套杆20将薄膜制备箱7拖入出样室3，进行降温，最后从出样口19取出，所述制备室2侧壁上设置有第一进气阀8，所述第一进气阀8上方设有气体温度调节室9，所述气体温度调节室9外壁上设置有加热管26，所述加热管26盘旋在气体温度调节室9外壁上。所述气体温度调节室9顶部设置有第二进气阀10，所述第二进气阀10设置有两个，分别通过进气管11与保护气体箱12和生长气体箱13相连，所述进样室1和制备室2侧壁上设置有真空泵14和真空计15，所述进样室1和制备室2内均设置有温度感应器16，所述温度感应器16与温度控制器17电性连接，所述温度控制器17与红外线加热器28和加热管26电性相连。所述真空计15和温度感应器16对真空度和温度进行实时监控，根据生产需要对第一进气阀8和两个第二进气阀10以及真空泵14进行调节，准备进入制备室2内的气体先在气体温度调节室9内进行预加热，使进入的气体与原制备室2内的气体温度温差缩小，使制备室2内环境较稳定，以满足连续制备的要求。尽管本技术的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本技术的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本技术并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨烯薄膜的制备装置，其特征在于，包括：进样室、制备室和出样室，所述进样室、制备室和出样室依次连接，所述进样室外设置有第一红外线加热炉，所述制备室外设置有第二红外线加热炉，所述进样室、制备室和出样室内设置有连通的滑轨，所述滑轨与进样室和出样室密封固定连接，所述滑轨上设置有薄膜制备箱，所述制备室侧壁上设置有第一进气阀，所述第一进气阀上方设有气体温度调节室，所述温度调节室设有温度调节装置，所述气体温度调节室顶部设置有第二进气阀，所述第二进气阀设置有两个，分别通过进气管与保护气体箱和生长气体箱相连，所述进样室和制备室侧壁上设置有真空泵和真空计，所述进样室和制备室内均设置有温度感应器，所述温度感应器与温度控制器电性连接，所述进样室顶部设置有进样口，所述出样室顶部设置有出样口，所述进样室一侧设置有推杆，所述出样室一侧设有磁性套杆，所述磁性套杆包括密封外壳和磁性滑柄，所述磁性滑柄顶端设有抓取部件。

【技术特征摘要】
1.一种石墨烯薄膜的制备装置，其特征在于，包括：进样室、制备室和出样室，所述进样室、制备室和出样室依次连接，所述进样室外设置有第一红外线加热炉，所述制备室外设置有第二红外线加热炉，所述进样室、制备室和出样室内设置有连通的滑轨，所述滑轨与进样室和出样室密封固定连接，所述滑轨上设置有薄膜制备箱，所述制备室侧壁上设置有第一进气阀，所述第一进气阀上方设有气体温度调节室，所述温度调节室设有温度调节装置，所述气体温度调节室顶部设置有第二进气阀，所述第二进气阀设置有两个，分别通过进气管与保护气体箱和生长气体箱相连，所述进样室和制备室侧壁上设置有真空泵和真空计，所述进样室和制备室内均设置有温度感应器，所述温度感应器与温度控制器电性连接，所述进样室顶部设置有进...

【专利技术属性】
技术研发人员：李卓娜，李昊伦，
申请(专利权)人：长春光辐科技有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林,22