一种传送装置和加工设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种传送装置和加工设备。该传送装置包括导轮、导轨和驱动件，导轮与驱动件活动连接，导轮在驱动件的驱动下转动；导轨活动设置在导轮上，导轨随导轮的转动而移动；导轨用于设置待传送件；传送装置还包括减震机构，导轮设置在减震机构上。该传送装置，通过设置减震机构，不仅能对传送过程中的待传送件形成支撑，而且能缓冲导轮传送待传送件过程中的震动，从而能够吸收或释放至少部分震动能量，进而减小或消除了震动对待传送件的损坏，提高了待传送件的工艺品质。

A conveyor and processing equipment

【技术实现步骤摘要】
一种传送装置和加工设备
本技术涉及半导体器件制备
，具体地，涉及一种传送装置和加工设备。
技术介绍
在半导体器件的制备工艺中，经常会涉及半成品的半导体器件需要在各个工艺腔室内穿行，以完成其在各个工艺腔室内的不同制备工艺。半导体器件通过传送设备传送至不同的工艺腔室中，传统的传送设备是通过固定设置在传送设备中的导轮实现对半导体器件的传送，即通常将半导体器件固定于载板上，载板上设置有导轨，导轨与导轮相互咬合，从而在导轮转动的带动下，将固定有半导体器件的载板传送至目标工艺腔室内。目前的传送设备由于其安装误差，通常在半导体器件的传送过程中不可避免地会产生震动，由于导轮是固定安装，所以在载板的传送过程中，震动很容易造成半导体器件的损坏。如何减小传送过程中震动对半导体器件的损坏已成为目前亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种传送装置和加工设备。该传送装置不仅能对传送过程中的待传送件形成支撑，而且能缓冲导轮传送待传送件过程中的震动，从而能够吸收或释放至少部分震动能量，进而减小或消除了震动对待传送件的损坏，提高了待传送件的工艺品质。本技术提供一种传送装置，传送装置包括导轮、导轨和驱动件，所述导轮与所述驱动件活动连接，所述导轮在所述驱动件的驱动下转动；所述导轨活动设置在导轮上，所述导轨随所述导轮的转动而移动,所述导轨用于设置待传送件；所述传送装置还包括减震机构，所述导轮设置在所述减震机构上。优选地，所述减震机构包括弹性支撑部，所述弹性支撑部包括支撑杆和支撑臂，所述支撑杆的一端固定在传送载台上，所述支撑杆的另一端与所述支撑臂的中点活动连接；所述支撑臂的两端分别连接一个所述导轮，所述导轮能在所述驱动件的驱动下绕其轴自转；所述弹性支撑部还包括弹性件，所述弹性件沿其弹力方向的一端固定在传送载台上，所述弹性件沿其弹力方向的另一端与所述支撑臂连接。优选地，所述弹性件为两个，所述两个所述弹性件以所述支撑杆为对称轴对称设置。优选地，所述弹性件的弹力方向垂直于所述待传送件的传送方向。优选地，所述弹性支撑部为多个，多个所述弹性支撑部沿直线排布，且所述弹性支撑部的排布方向平行于所述待传送件的传送方向。优选地，所述减震机构还包括多个传动件，每个所述传动件活动连接两个所述导轮，所述传动件能在作为主动轮的一个所述导轮的转动下带动作为从动轮的另一个所述导轮转动。优选地，所述传动件的传动方向平行于所述待传送件的传送方向。优选地，所述支撑臂与所述支撑杆之间通过铰链连接。优选地，所述导轮与所述驱动件之间通过万向联轴器连接。本技术还提供一种加工设备，用于对待传送件进行加工，所述加工设备包括上述传送装置，所述传送装置用于对所述待传送件进行加工。本技术的有益效果：本技术所提供的传送装置，通过设置减震机构，不仅能对传送过程中的待传送件形成支撑，而且能缓冲导轮传送待传送件过程中的震动，从而能够吸收或释放至少部分震动能量，进而减小或消除了震动对待传送件的损坏，提高了待传送件的工艺品质。本技术所提供的加工设备，通过采用上述传送装置，减少或消除了传送过程中的震动对待传送件的损坏，提高了待传送件的传送稳定性，从而提高了该加工设备对待传送件的加工质量。附图说明图1为本技术实施例中传送装置传送板状待传送件的结构示意图；图2为本技术实施例中传送装置中的弹性支撑部支撑板状待传送件的结构示意图；图3为本技术实施例中传送装置中减震机构的结构示意图。其中的附图标记说明：1.板状待传送件；101.基片；102.载板；2.导轨；3.导轮；4.驱动件；5.减震机构；51.弹性支撑部；510.支撑杆；511.支撑臂；512.弹性件；52.传动件；6.传送载台；M.弹力方向；L.传送方向；7.磁流体密封轴承；8.传动轴万向节；9.工艺腔。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术所提供的一种传送装置和加工设备作进一步详细描述。为了解决传送过程中震动对半导体器件的损坏的技术问题，本技术实施例提供一种传送装置。如图1所示，传送装置包括导轮3、导轨2和驱动件4，导轮3与驱动件4活动连接，导轮3在驱动件4的驱动下转动。导轨2活动设置在导轮3上，导轨2随导轮3的转动而移动，导轨2用于设置待传送件。传送装置还包括减震机构5，导轮3设置在减震机构5上。其中，减震机构5用于支撑导轮3并缓冲导轮3传送待传送件过程中的震动。待传送件为板状待传送件1，板状待传送件1固定于导轨2上。板状待传送件1如其上固定有待加工基片101的载板102。该板状待传送件1在传送中可以竖直放置，也可以水平放置。驱动件4如电机。本实施例中的传送装置，通过设置减震机构5，不仅能对传送过程中的板状待传送件1形成支撑，而且能缓冲导轮3传送板状待传送件1过程中的震动，从而能够吸收或释放至少部分震动能量，进而减小或消除了震动对载板102上基片101的损坏，提高了板状待传送件1的工艺品质。优选的，本实施例中，如图2所示，减震机构5包括弹性支撑部51，弹性支撑部51包括支撑杆510和支撑臂511，支撑杆510的一端固定在传送载台6上，支撑杆510的另一端与支撑臂511的中点活动连接；支撑臂511的两端分别连接一个导轮3，导轮3能在驱动件4的驱动下绕导轮3的轴自转。如此设置，能实现支撑杆510和支撑臂511对板状待传送件1的平衡支撑。支撑臂511的两端分别连接一个导轮3，导轮3能在驱动件4的驱动下绕其轴自转。通过支撑杆510与支撑臂511之间的活动连接，能够实现导轮3对板状待传送件1的灵活支撑。相对于现有的导轮3固定于传送载台6上的情况，上述结构的弹性支撑部51能够对板状待传送件1在传送过程中产生的震动形成缓冲，从而能够吸收或释放至少部分震动能量，进而减小或消除震动对板状待传送件1的损坏。本实施例中，弹性支撑部51还包括弹性件512，弹性件512沿其弹力方向的一端固定在传送载台6上，弹性件512沿其弹力方向的另一端连接支撑臂511，以对支撑臂511形成弹性支撑。弹性件512的设置，能够进一步缓冲导轮3传送板状待传送件1过程中的震动，从而进一步吸收或释放震动能量，进而进一步减小或消除震动对板状待传送件1的损坏。优选的，本实施例中，弹性件512为两个，两个弹性件512以支撑杆510为对称轴镜像对称设置。如此设置，使两个弹性件512能够实现对板状待传送件1的平衡支撑，从而能够实现对传送中板状待传送件1震动的平衡缓冲，确保板状待传送件1传送过程中的稳定性。进一步优选的，弹性件512采用弹簧。其中，两个弹簧采用同一规格，如两个弹簧的长度、直径和弹性系数均相同。弹簧能够对传送中板状待传送件1的震动形成很好的缓冲，并能在缓冲过程中吸收或释放震动能量，从而使板状待传送件1在传送中不会受到震动的影响，确保其能够稳定传送。当然，弹性件512也可以采用其他的具有弹性的器件。本实施例中，弹性件512的弹力方向M垂直于板状待传送件1的传送方向L。如此设置，能使板状待传送件1在传送过程中更加稳定，从而减小或避免传送过程中震动对其的影响和损坏。另外，导轮3和导轨2的接触面上分别形成有大小和形状相互适配的凸凹结构，凸凹结构相互本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传送装置，其特征在于，所述传送装置包括导轮、导轨和驱动件，所述导轮与所述驱动件活动连接，所述导轮在所述驱动件的驱动下转动；所述导轨活动设置在导轮上，所述导轨随所述导轮的转动而移动,所述导轨用于设置待传送件；所述传送装置还包括减震机构，所述导轮设置在所述减震机构上。

【技术特征摘要】
1.一种传送装置，其特征在于，所述传送装置包括导轮、导轨和驱动件，所述导轮与所述驱动件活动连接，所述导轮在所述驱动件的驱动下转动；所述导轨活动设置在导轮上，所述导轨随所述导轮的转动而移动,所述导轨用于设置待传送件；所述传送装置还包括减震机构，所述导轮设置在所述减震机构上。2.根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述减震机构包括弹性支撑部，所述弹性支撑部包括支撑杆和支撑臂，所述支撑杆的一端固定在传送载台上，所述支撑杆的另一端与所述支撑臂的中点活动连接；所述支撑臂的两端分别连接一个所述导轮，所述导轮能在所述驱动件的驱动下绕其轴自转；所述弹性支撑部还包括弹性件，所述弹性件沿其弹力方向的一端固定在传送载台上，所述弹性件沿其弹力方向的另一端与所述支撑臂连接。3.根据权利要求2所述的传送装置，其特征在于，所述弹性件为两个，所述两个所述弹性件以所述支撑杆为对称轴对称设置。4.根据权利要求3所述的传送装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：周兴宝，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11