一种自动去边机用水洗槽装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种自动去边机用水洗槽装置，包括槽体，槽体顶部设有槽盖，槽体内部形成槽腔，槽腔内设有喷淋装置，喷淋装置包括喷头和管路，喷淋装置为多组，喷头通过管路连接，喷头均匀分布在槽腔侧壁和槽腔底面。本实用新型专利技术具有的有益效果为：结构简单，操作方便，通过在不同位置设置多组喷淋装置，可实现被清洗物品的全方位清洗，解决了被清洗物品清洗不干净、不彻底的问题，提高了生产效率，节省了人工成本，保证了物料干净无污染。

A Water Washing Tank Device for Automatic Edge Remover

【技术实现步骤摘要】
一种自动去边机用水洗槽装置
本技术属于半导体制造
，尤其是涉及一种自动去边机用水洗槽装置。
技术介绍
近年来，随着电子产品的日益普及和更新，在产业高速发展、政策利好以及技术进步等因素的共同助力下，国内半导体产业的成长势头迅猛，产业维持高速增长。在半导体的制造过程中，水洗槽清洗工艺贯穿整个制作流程，发挥着重大作用。硅片、芯片等半导体部件在加工过程中，会用到多道药液处理工艺，为了保证半导体清洗干净且不污染下道工序，通常会进行多级水洗过程，从而将药液水清洗干净。现有的水洗槽装置大多结构比较简单，水洗槽开口设计，容易造成水洗槽内部污染，且水流方向单一，存在硅片清洗不彻底等问题。结构复杂的水洗槽装置，占地面积大，浪费空间，且不适用于自动去边机的清洗工艺。
技术实现思路
本技术要解决的问题是提供一种水洗槽装置；尤其是结构紧凑、清洗彻底，且专门适合于硅片清洗的一种自动去边机用水洗槽装置。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种自动去边机用水洗槽装置，包括槽体，所述槽体顶部设有槽盖，所述槽体内部形成槽腔，所述槽腔内设有喷淋装置，所述喷淋装置包括喷头和管路，所述喷淋装置为多组，所述喷头通过所述管路连接，所述喷头均匀分布在所述槽腔侧壁和所述槽腔底面。进一步的，所述喷淋装置包括第一喷淋装置、第二喷淋装置和第三喷淋装置，所述第一喷淋装置置于所述槽腔顶部，所述第一喷淋装置包括第一喷头和第一管路，所述第一喷头为多个，所述第一喷头通过所述第一管路连接，所述第一喷头均匀分布在所述槽腔侧壁上，所述第二喷淋装置置于所述槽体中部，所述第二喷淋装置包括第二喷头和第二管路，所述第二喷头为多个，所述第二喷头通过所述第二管路连接，所述第二喷头均匀分布在所述槽腔侧壁上，所述第三喷淋装置置于所述槽腔底部，所述第三喷淋装置包括第三喷头和第三管路，所述第三喷头为多个，所述第三喷头通过所述第三管路连接，所述第三喷头呈环形状均匀分布在所述槽腔底面上。进一步的，所述槽体底部设有排水连接盒。进一步的，所述槽腔底面设有斜坡，所述槽腔底面四周高于所述槽腔底面中心，所述槽腔底面中心处设有排水口，所述排水口与所述排水连接盒联通。进一步的，所述槽体为圆形柱或方形柱。进一步的，所述槽盖通过开盖装置与所述槽体连接。进一步的，所述开盖装置包括连接杆、支撑杆和滑动装置，所述连接杆一端连接所述槽盖，所述连接杆另一端连接所述支撑杆一端，所述支撑杆另一端连接所述滑动装置，所述连接杆与所述槽盖平齐，所述连接杆与所述支撑杆垂直。进一步的，所述滑动装置为轨道和/或直线光轴。进一步的，所述开盖装置包括连接杆和伸缩机构，所述连接杆一端连接所述槽盖，所述连接杆另一端连接所述伸缩机构，所述连接杆与所述伸缩机构铰接，所述连接杆靠近端部位置处设有支撑杆，所述支撑杆与所述伸缩机构平行分布。进一步的，所述伸缩机构为气缸。本技术具有的优点和积极效果是：1、本技术结构简单，操作方便，通过在不同位置设置多组喷淋装置，可实现被清洗物品的全方位清洗，解决了被清洗物品清洗不干净、不彻底的问题，提高了生产效率，节省了人工成本，保证了物料干净无污染。2、本技术将多组喷淋装置高度集装在一个水洗槽内，相较于同类装置具有更高的集成度，占地面积小，使用方便，节省了空间。3、本技术通过设置开盖装置控制槽盖的开合，方便快捷，平时将槽盖关闭，避免落入灰尘等外来物，干净卫生，且提高了清洗效率，在夹取物料的过程中，槽盖打开，便于搬运被清洗物品的机械手进出，槽盖的开合程度适用于多种大小的物料，使用范围广。4、本技术槽体底部设有排水连接盒，方便废水的回收利用，节能环保。附图说明图1是本技术实施例的主视图图2是本技术实施例的左视图图3是本技术实施例的槽腔侧壁喷头分布示意图图4是本技术实施例的槽腔底部喷头分布示意图图5、图6是本技术实施例的开盖装置示意图图中：1、槽盖2、槽体3、第一喷淋装置4、第二喷淋装置5、槽腔6、第三喷淋装置7、排水口8、排水连接盒9、开盖装置10、第一喷头11、第一管路12、第二喷头13、第二管路14、第三喷头15、第三管路16、斜坡17、连接杆18、支撑杆19、滑动装置20、伸缩机构具体实施方式下面结合附图对本技术实施例做进一步描述：如图1-2所示，一种自动去边机用水洗槽装置，包括槽体2，槽体2为圆形柱或方形柱，槽体2顶部设有槽盖1，槽盖1通过开盖装置9与槽体2连接。槽体2内部形成槽腔5，槽腔5内设有喷淋装置，喷淋装置包括喷头和管路。喷淋装置为多组，本实施例优选三组。喷淋装置包括第一喷淋装置3、第二喷淋装置4和第三喷淋装置6。第一喷淋装置3置于槽腔5顶部，第一喷淋装置3包括第一喷头10和第一管路11，第一喷头10为多个，第一喷头10通过第一管路11连接，第一喷头10均匀分布在槽腔5侧壁上。第二喷淋装置4置于槽体2中部，第二喷淋装置4包括第二喷头12和第二管路13，第二喷头12为多个，第二喷头12通过第二管路13连接，第二喷头12均匀分布在槽腔5侧壁上，第一喷头10与第二喷头12的分布如图3所示。第三喷淋装置6置于槽腔5底部，第三喷淋装置6包括第三喷头14和第三管路15，第三喷头14为多个，第三喷头14通过第三管路15连接，第三喷头14呈环形状均匀分布在槽腔5底面上，如图4所示。槽体2底部设有排水连接盒8。槽腔5底面设有斜坡16，槽腔5底面四周高于槽腔5底面中心，槽腔5底面中心处设有排水口7，排水口7与排水连接盒8联通。如图5所示，开盖装置9为滑动式，开盖装置9包括连接杆17、支撑杆18和滑动装置19，连接杆17一端连接槽盖1，连接杆17另一端连接支撑杆18一端，支撑杆18另一端连接滑动装置19，连接杆17与槽盖1平齐，连接杆17与支撑杆18垂直。滑动装置19为可以使支撑杆18水平移动的装置，从而使支撑杆18带动连接杆17，连接杆17带动槽盖1水平移动，实现槽盖1的开合，滑动装置19可以为轨道，也可以为直线光轴等装置。如图6所示，开盖装置9为升降式，开盖装置9包括连接杆17和伸缩机构20，连接杆17一端连接槽盖1，连接杆17另一端连接伸缩机构20，连接杆17与伸缩机构20铰接，连接杆17靠近端部位置处设有支撑杆18，支撑杆18与伸缩机构20平行分布。槽盖1以支撑杆18与连接杆17铰接处为支点，通过伸缩机构20的上下伸缩，实现槽盖1的开合，优选的，本实施例的伸缩机构20为气缸。本技术实施例的工作原理是：打开槽盖1，搬运被清洗物品的机械手将被清洗物品放入槽腔5内，喷头通过管路连接供水系统，多层喷淋装置对被清洗物品进行全方位清洗，解决了被清洗物品清洗不干净、不彻底的问题，提高了生产效率，节省了人工成本，保证了物料干净无污染。喷头喷出的液体进入槽腔5后，在自身重力的作用下下沉，槽腔5底面设有斜坡16，槽腔5底面四周高于槽腔5底面中心，槽腔5底面中心处设有排水口7，排水口7与排水连接盒8联通，槽体2底部的排水连接盒8，方便废水的回收利用，节能环保。本技术具有的优点和积极效果是：1、本技术结构简单，操作方便，通过在不同位置设置多组喷淋装置，可实现被清洗物品的全方位清洗，解决了被清洗物品清洗不干净、不彻底的问题，提高了生产效率，节省了人工成本，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动去边机用水洗槽装置，包括槽体，其特征在于：所述槽体顶部设有槽盖，所述槽体内部形成槽腔，所述槽腔内设有喷淋装置，所述喷淋装置包括喷头和管路，所述喷淋装置为多组，所述喷头通过所述管路连接，所述喷头均匀分布在所述槽腔侧壁和所述槽腔底面。

【技术特征摘要】
2018.08.01 CN 20182122622781.一种自动去边机用水洗槽装置，包括槽体，其特征在于：所述槽体顶部设有槽盖，所述槽体内部形成槽腔，所述槽腔内设有喷淋装置，所述喷淋装置包括喷头和管路，所述喷淋装置为多组，所述喷头通过所述管路连接，所述喷头均匀分布在所述槽腔侧壁和所述槽腔底面。2.根据权利要求1所述的一种自动去边机用水洗槽装置，其特征在于：所述喷淋装置包括第一喷淋装置、第二喷淋装置和第三喷淋装置，所述第一喷淋装置置于所述槽腔顶部，所述第一喷淋装置包括第一喷头和第一管路，所述第一喷头为多个，所述第一喷头通过所述第一管路连接，所述第一喷头均匀分布在所述槽腔侧壁上，所述第二喷淋装置置于所述槽体中部，所述第二喷淋装置包括第二喷头和第二管路，所述第二喷头为多个，所述第二喷头通过所述第二管路连接，所述第二喷头均匀分布在所述槽腔侧壁上，所述第三喷淋装置置于所述槽腔底部，所述第三喷淋装置包括第三喷头和第三管路，所述第三喷头为多个，所述第三喷头通过所述第三管路连接，所述第三喷头呈环形状均匀分布在所述槽腔底面上。3.根据权利要求1或2所述的一种自动去边机用水洗槽装置，其特征在于：所述槽体底部设有排水连接盒。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，杨桂贺，王国瑞，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：天津,12