【技术实现步骤摘要】
一种电弧引弧机构
本技术涉及镀膜设备领域，尤其涉及真空工具镀膜设备上的引弧装置。
技术介绍
真空镀膜机引弧针机构部分通常采用O型密封圈形式密封，气缸是往复性的运动，会将粉尘带进密封空间。密封圈面内挤满大量粉尘，破坏密封面导致漏气，影响真空度，需经常更换，影响生产进度，生产效率低。
技术实现思路
为了解决现有真空镀膜机引弧机构存在的密封问题，本技术提供了一种电弧引弧机构。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是：一种电弧引弧机构，气缸安装于气缸座上部，气缸杆贯穿气缸座中心孔，气缸座下侧位于气缸杆外部设有波纹管，波纹管下端连接引弧针杆，引弧针杆上安装引弧针。所述气缸座下部安装绝缘座，绝缘座下部安装法兰，气缸座和绝缘座通过连接螺栓安装于法兰上，连接螺栓外侧与气缸座之间设有小绝缘套，气缸杆贯穿气缸座、绝缘座和法兰安装。所述气缸座与绝缘座之间设有气缸座密封胶圈，气缸座密封胶圈安装在气缸座的胶圈槽内；绝缘座与法兰之间设有绝缘座密封胶圈，绝缘座密封胶圈安装在绝缘座胶圈槽内。所述波纹管上端焊接于气缸座下侧，波纹管下端焊接于引弧针杆上部。所述气缸通过气缸连接螺栓固定于气缸座上；气缸杆与引弧针杆螺纹连接；引弧针通过紧固螺栓安装于引弧针杆上。所述气缸上设有用于控制气缸动作的旋钮手柄。本技术的电弧引弧机构，采用波纹管密封形式，将气缸杆与真空环境隔离，气缸杆处于大气中，不受粉尘影响，可长时间持续工作，大大提高了生产效率；并且引弧针的位置可以在镀膜的过程中随着靶材的消耗进行相应的调整，提高了靶材的利用率，节省了生产成本。附图说明图1是本技术电弧引弧机构非工作状态的主视结构图。图2是本技术电弧引...
【技术保护点】
1.一种电弧引弧机构，其特征在于：气缸（2）安装于气缸座（5）上部，气缸杆（9）贯穿气缸座（5）中心孔，气缸座（5）下侧位于气缸杆（9）外部设有波纹管（8），波纹管（8）下端连接引弧针杆（10），引弧针杆（10）上安装引弧针（11）。
【技术特征摘要】
1.一种电弧引弧机构，其特征在于：气缸（2）安装于气缸座（5）上部，气缸杆（9）贯穿气缸座（5）中心孔，气缸座（5）下侧位于气缸杆（9）外部设有波纹管（8），波纹管（8）下端连接引弧针杆（10），引弧针杆（10）上安装引弧针（11）。2.根据权利要求1所述的一种电弧引弧机构，其特征在于：所述气缸座（5）下部安装绝缘座（6），绝缘座（6）下部安装法兰（7），气缸座（5）和绝缘座（6）通过连接螺栓（14）安装于法兰（7）上，连接螺栓（14）外侧与气缸座（5）之间设有小绝缘套（17），气缸杆（9）贯穿气缸座（5）、绝缘座（6）和法兰（7）安装。3.根据权利要求2所述的一种电弧引弧机构，其特征在于：所述气缸座（5）与绝缘座（6）之间设有...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯玉萍，
申请(专利权)人：大连维钛克科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21
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