一种轻减装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种轻减装置，包括：形成有水平面的底座；左立柱，左立柱的下端可转动地设在底座上且垂直于水平面；右立柱，右立柱的下端可转动地设在底座上且垂直于水平面，左立柱与右立柱之间的间距可调节；左圆柱，左圆柱形成有左柱孔，左圆柱套设在左立柱上；右圆柱，右圆柱形成有右柱孔，右圆柱套设在右立柱上，左圆柱与右圆柱的形状尺寸相同且位于相同的高度；中间轴承，中间轴承设在底座上且位于左立柱与右立柱之间，中间轴承的轴线与水平面平行，左立柱的轴线与右立柱的轴线同在第一平面上，中间轴承的轴线与第一平面平行。该轻减装置能够精确地对不同尺寸的晶圆料盒进行限位，监测左圆柱与右圆柱之间的距离或角速度和电机的电压。

A lightening device

【技术实现步骤摘要】
一种轻减装置
本技术涉及机械制造
，特别涉及一种轻减装置。
技术介绍
生产中常需要传输上料装置进行上料，不同的上料需求对上料装置的精确度要求不同，现有的一些上料装置虽然能够满足上料要求，但是由于精确度地，影响生产加工产品的生产质量和效率，可能由于上料不当影响后续的生产过程。比如在半导体行业，半导体制造已经成为重要产业，在半导体加工过程中晶圆是重要的半导体材料，在半导体的加工生产过程中，需要将晶圆放置于晶圆料盒或晶圆料箱中，由于晶圆料盒或晶圆料箱的尺寸大小不同，现有的晶圆料盒的限位装置尺寸固定，难以同时适用于不同尺寸的晶圆料盒，在晶圆料盒向前移动的过程中，易导致料盒的位置出现偏差，影响晶圆的上料，影响后续生产工序，降低生产效率，给生产带来不便。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种轻减装置。为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：根据本技术实施例的轻减装置，包括：底座，所述底座上形成有水平面；左立柱，所述左立柱的下端可转动地设在所述底座上且垂直于所述水平面；右立柱，所述右立柱的下端可转动地设在所述底座上且垂直于所述水平面，所述左立柱与所述右立柱之间的间距可调节；左圆柱，所述左圆柱形成有沿其轴向贯穿的左柱孔，所述左圆柱利用所述左柱孔套设在所述左立柱上；右圆柱，所述右圆柱形成有沿其轴向贯穿的右柱孔，所述右圆柱利用所述右柱孔套设在所述右立柱上，所述左圆柱与所述右圆柱的形状尺寸相同且位于相同的高度；中间轴承，所述中间轴承设在所述底座上且位于所述左立柱与所述右立柱之间，所述中间轴承的轴线与所述水平面平行，所述左立柱的轴线与所述右立柱的轴线同在第一平面上，所述中间轴承的轴线与所述第一平面平行。进一步地，所述轻减装置还包括：左轴承，所述左轴承设在所述水平面上，所述左立柱的下端穿入所述左轴承的内圈中；右轴承，所述右轴承设在所述水平面上，所述右立柱的下端穿入所述右立柱的内圈中。进一步地，所述左立柱、所述左轴承和所述左圆柱分别为多个且数量相等，所述右立柱、所述右轴承和所述右圆柱分别为多个且数量相等，所述左轴承沿所述水平面的前后方向间隔开设置，每个所述左立柱的下端穿入相应的所述左轴承的内圈，每个所述左圆柱套设在相应的所述左立柱上，所述右轴承沿所述水平面的前后方向间隔开设置，每个所述右立柱的下端穿入相应的所述右轴承的内圈，每个所述右圆柱套设在相应的所述右立柱上，多个所述左立柱的轴线共同所在的平面与多个所述右立柱的轴线共同所在的平面平行。进一步地，所述左圆柱在所述左立柱上的高度可调节，所述右圆柱在所述右立柱上的高度可调节；所述中间轴承在竖直方向上的高度分别小于所述左圆柱与所述右圆柱在竖直方向上的高度。进一步地，所述中间轴承为多个，多个所述中间轴承间隔开设置，多个所述中间轴承分别位于所述水平面上的多个所述左立柱的轴线共同所在的平面与多个所述右立柱的轴线共同所在的平面之间的位置。进一步地，所述轻减装置还包括：距离传感器，所述距离传感器用于检测所述左圆柱与所述右圆柱之间的距离并生成发出相应的距离信号；报警器，所述报警器能够接收到所述距离信号，所述报警器接收到所述距离信号后开始报警或停止报警；所述距离传感器构成为当所述左圆柱与所述右圆柱之间的距离大于距离阈值时所述距离传感器生成发出能够报警的距离信号，所述报警器接收到所述能够报警的距离信号后开始报警。进一步地，所述轻减装置还包括：第一角速度传感器，所述第一角速度传感器用于检测所述左圆柱的角速度并生成发出相应的第一角速度信号；所述报警器能够接收到所述第一角速度信号，所述报警器接收到所述第一角速度信号后开始报警或者停止报警。进一步地，所述轻减装置还包括：第二角速度传感器，所述第二角速度传感器用于检测所述右圆柱的角速度并生成发出相应的第二角速度信号；比较器，所述比较器能够接收到所述第一角速度信号与所述第二角速度信号，所述比较器接收到所述第一角速度信号与所述第二角速度信号后将所述第一角速度信号与所述第二角速度信号进行比较并发出相应的角速度比较信号；所述报警器接收到所述角速度比较信号后开始报警或停止报警。进一步地，所述轻减装置还包括：左驱动电机，所述左驱动电机与所述左立柱相连，以驱动所述左立柱转动；右驱动电机，所述右驱动电机与所述右立柱相连，以驱动所述右立柱转动。进一步地，所述轻减装置还包括：第一电压传感器，所述第一电压传感器用于检测所述左驱动电机的电压并生成发出相应的第一电压信号；第二电压传感器，所述第二电压传感器用于检测所述右驱动电机的电压并生成发出相应的第二电压信号；所述比较器能够接收到所述第一电压信号和所述第二电压信号，所述比较器将所述第一电压信号和所述第二电压信号比较后发出电压比较信号，所述报警器接收到所述电压比较信号后开始报警或停止报警。本技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：根据本技术的轻减装置，能够准确地进行传输上料，能够精确地对晶圆料盒进行限位，通过调节左立柱与右立柱之间的间距能够对不同尺寸的料盒进行限位，使得晶圆料盒能够稳定移动，减小偏差，保证晶圆上料的精确度，减少因料盒位置偏差给后续生产带来的不便，提高生产效率，通过左圆柱与右圆柱的转动能够带动料箱移动，左圆柱与右圆柱之间的距离或角速度出现异常时报警器能够报警，驱动电机的电压出现异常时能够报警，便于及时发现异常进行检查校准。附图说明图1为本技术实施例的轻减装置的结构示意图；图2为本技术实施例的轻减装置的报警器的连接示意图。附图标记：轻减装置100；底座10；左立柱20；右立柱30；左圆柱40；右圆柱50；中间轴承60；左轴承70；右轴承71；距离传感器72；报警器73；第一角速度传感器74；第二角速度传感器75；比较器76；左驱动电机77；右驱动电机78；第一电压传感器79；第二电压传感器80。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另作定义，本技术中使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。下面结合附图具体描述根据本技术实施例的轻减装置100。如图1和图2所示，根据本技术实施例的轻减装置100包括底座10、左立柱20、右立柱30、左圆柱40、右圆柱50和中间轴承60。具体而言，底座10上形成有水平面；左立柱20的下端可转动地设在底座10上且垂直于水平面；右立柱30的下端可转动地设在底座10上且垂直于水平面，左立柱20与右本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种轻减装置，其特征在于，包括：底座，所述底座上形成有水平面；左立柱，所述左立柱的下端可转动地设在所述底座上且垂直于所述水平面；右立柱，所述右立柱的下端可转动地设在所述底座上且垂直于所述水平面，所述左立柱与所述右立柱之间的间距可调节；左圆柱，所述左圆柱形成有沿其轴向贯穿的左柱孔，所述左圆柱利用所述左柱孔套设在所述左立柱上；右圆柱，所述右圆柱形成有沿其轴向贯穿的右柱孔，所述右圆柱利用所述右柱孔套设在所述右立柱上，所述左圆柱与所述右圆柱的形状尺寸相同且位于相同的高度；中间轴承，所述中间轴承设在所述底座上且位于所述左立柱与所述右立柱之间，所述中间轴承的轴线与所述水平面平行，所述左立柱的轴线与所述右立柱的轴线同在第一平面上，所述中间轴承的轴线与所述第一平面平行；所述轻减装置还包括：左轴承，所述左轴承设在所述水平面上，所述左立柱的下端穿入所述左轴承的内圈中；右轴承，所述右轴承设在所述水平面上，所述右立柱的下端穿入所述右立柱的内圈中；所述轻减装置还包括：距离传感器，所述距离传感器用于检测所述左圆柱与所述右圆柱之间的距离并生成发出相应的距离信号；报警器，所述报警器能够接收到所述距离信号，所述报警器接收到所述距离信号后开始报警或停止报警；所述距离传感器构成为当所述左圆柱与所述右圆柱之间的距离大于距离阈值时所述距离传感器生成发出能够报警的距离信号，所述报警器接收到所述能够报警的距离信号后开始报警；所述轻减装置还包括：第一角速度传感器，所述第一角速度传感器用于检测所述左圆柱的角速度并生成发出相应的第一角速度信号；所述报警器能够接收到所述第一角速度信号，所述报警器接收到所述第一角速度信号后开始报警或者停止报警；所述轻减装置还包括：第二角速度传感器，所述第二角速度传感器用于检测所述右圆柱的角速度并生成发出相应的第二角速度信号；比较器，所述比较器能够接收到所述第一角速度信号与所述第二角速度信号，所述比较器接收到所述第一角速度信号与所述第二角速度信号后将所述第一角速度信号与所述第二角速度信号进行比较并发出相应的角速度比较信号；所述报警器接收到所述角速度比较信号后开始报警或停止报警；所述轻减装置还包括：左驱动电机，所述左驱动电机与所述左立柱相连，以驱动所述左立柱转动；右驱动电机，所述右驱动电机与所述右立柱相连，以驱动所述右立柱转动；所述轻减装置还包括：第一电压传感器，所述第一电压传感器用于检测所述左驱动电机的电压并生成发出相应的第一电压信号；第二电压传感器，所述第二电压传感器用于检测所述右驱动电机的电压并生成发出相应的第二电压信号；所述比较器能够接收到所述第一电压信号和所述第二电压信号，所述比较器将所述第一电压信号和所述第二电压信号比较后发出电压比较信号，所述报警器接收到所述电压比较信号后开始报警或停止报警。...

【技术特征摘要】
1.一种轻减装置，其特征在于，包括：底座，所述底座上形成有水平面；左立柱，所述左立柱的下端可转动地设在所述底座上且垂直于所述水平面；右立柱，所述右立柱的下端可转动地设在所述底座上且垂直于所述水平面，所述左立柱与所述右立柱之间的间距可调节；左圆柱，所述左圆柱形成有沿其轴向贯穿的左柱孔，所述左圆柱利用所述左柱孔套设在所述左立柱上；右圆柱，所述右圆柱形成有沿其轴向贯穿的右柱孔，所述右圆柱利用所述右柱孔套设在所述右立柱上，所述左圆柱与所述右圆柱的形状尺寸相同且位于相同的高度；中间轴承，所述中间轴承设在所述底座上且位于所述左立柱与所述右立柱之间，所述中间轴承的轴线与所述水平面平行，所述左立柱的轴线与所述右立柱的轴线同在第一平面上，所述中间轴承的轴线与所述第一平面平行；所述轻减装置还包括：左轴承，所述左轴承设在所述水平面上，所述左立柱的下端穿入所述左轴承的内圈中；右轴承，所述右轴承设在所述水平面上，所述右立柱的下端穿入所述右立柱的内圈中；所述轻减装置还包括：距离传感器，所述距离传感器用于检测所述左圆柱与所述右圆柱之间的距离并生成发出相应的距离信号；报警器，所述报警器能够接收到所述距离信号，所述报警器接收到所述距离信号后开始报警或停止报警；所述距离传感器构成为当所述左圆柱与所述右圆柱之间的距离大于距离阈值时所述距离传感器生成发出能够报警的距离信号，所述报警器接收到所述能够报警的距离信号后开始报警；所述轻减装置还包括：第一角速度传感器，所述第一角速度传感器用于检测所述左圆柱的角速度并生成发出相应的第一角速度信号；所述报警器能够接收到所述第一角速度信号，所述报警器接收到所述第一角速度信号后开始报警或者停止报警；所述轻减装置还包括：第二角速度传感器，所述第二角速度传感器用于检测所述右圆柱的角速度并生成发出相应的第二角速度信号；比较器，所述比较器能够接收到所述第一角速度信号与所述第二角速度信号，所述比较器接收到所...

【专利技术属性】
技术研发人员：任豪杰，张茜，仇金龙，
申请(专利权)人：旺天凯精密机器昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32