流体控制装置制造方法及图纸

一种流体控制装置，包含输送管路、流量控制单元，以及流体输出单元。所述输送管路供流体流动，所述输送管路包括第一管段以及第二管段。所述流量控制单元连通于所述第一管段与所述第二管段之间，且能被操作地在流通状态以及阻断状态之间切换。所述流体输出单元设置于所述第二管段远离所述流量控制单元的一端，并能控制所述流体经由所述第二管段输出的状态。其中，所述流量控制单元由所述流通状态经过延迟时间后切换至所述阻断状态时，通过所述第二管段内的所述流体的压力与外界压力的压力差，以将所述第二管段内的所述流体回吸，且所述流体输出单元防止所述流体输出。

Fluid Control Device

【技术实现步骤摘要】
流体控制装置
本专利技术涉及一种流体控制装置，特别是涉及一种适用于供应流体的流体控制装置。
技术介绍
一般在半导体湿式制程中，对基板进行蚀刻或清洗步骤时，需要将处理液输送至管路的出口端流出，以对基板表面进行制程处理。但是，当原本供应状态的处理液需停止供应至基板时，由于处理液重量较大或是泡沫较多时，则容易于管路出口端产生滴液现象，此现象将导致基板于制程中受到污染，进而影响基板的品质。
技术实现思路
本专利技术的一目的在于提供一种能够克服
技术介绍
的至少一个缺点的流体控制装置。本专利技术的流体控制装置在一些实施态样中，是包含输送管路、流量控制单元，以及流体输出单元。所述输送管路供流体于其内部流动，所述输送管路包括第一管段以及第二管段。所述流量控制单元连通于所述第一管段与所述第二管段之间，且能被操作地在使所述流体自所述第一管段流至所述第二管段的流通状态，以及使所述流体无法自所述第一管段流至所述第二管段的阻断状态之间切换。所述流体输出单元设置于所述第二管段远离所述流量控制单元的一端，并能控制所述流体经由所述第二管段输出的状态。其中，所述流量控制单元由所述流通状态经过延迟时间后切换至所述阻断状态时，通过所述第二管段内的所述流体的压力与外界压力(即环境气压)的压力差，以将所述第二管段内的所述流体朝所述流量控制单元方向回吸，且所述流体输出单元防止所述流体输出。本专利技术的流体控制装置，所述流量控制单元包括连通于所述第一管段与所述第二管段之间的第一双通阀，通过控制所述第一双通阀的阀开度，使所述流量控制单元在所述流通状态与所述阻断状态之间切换。本专利技术的流体控制装置，还包含回收管路，所述流量控制单元还包括连通于所述输送管路的所述第一管段与所述回收管路之间的第二双通阀、触发模块、连通于所述第一双通阀与所述第二双通阀两者以及所述触发模块之间的连接管路，以及设于所述连接管路上且位于所述触发模块与所述第一双通阀之间的流量控制阀，所述触发模块用于提供触发源至所述第一双通阀与所述第二双通阀，以使所述流量控制单元在所述第一双通阀开启而所述第二双通阀关闭的所述流通状态以及所述第一双通阀关闭而所述第二双通阀开启的所述阻断状态之间切换，以控制所述流体自所述第一管段流向所述第二管段或流向所述回收管路，所述流量控制阀可被操作地改变所述触发源通过的流速，以调整所述延迟时间的长短。本专利技术的流体控制装置，还包含回收管路，所述流量控制单元包括三通阀，所述三通阀具有连通于所述第一管段的输入端、连通于所述第二管段的第一输出端，以及连通于所述回收管路的第二输出端，当所述流量控制单元处于所述流通状态时，所述第一输出端开启而所述第二输出端关闭，以使所述流体自所述三通阀的所述第一输出端输出至所述第二管段，当流量控制单元处于所述阻断状态时，所述第一输出端关闭而所述第二输出端开启，以使所述流体自所述三通阀的所述第二输出端输出至所述回收管路。本专利技术的流体控制装置，所述流量控制单元还包括触发模块、连通于所述触发模块与所述三通阀之间的连接管路，以及设于所述连接管路上且位于所述触发模块与所述三通阀之间的流量控制阀，所述触发模块用于提供触发源至所述三通阀，以使所述流量控制单元在所述流通状态以及所述阻断状态之间切换，所述流量控制阀可被操作地改变所述触发源通过的流速，以调整所述延迟时间的长短。本专利技术的流体控制装置，所述流体输出单元包括管件，以及移动件，所述管件形成与所述第二管段相连通且用于输出所述流体的输出流道，以及连通于所述输出流道的回吸空间，所述移动件可移动地设置于所述管件且能在所述回吸空间内较邻近所述输出流道的第一位置，以及较远离所述输出流道的第二位置间移动，当所述移动件自所述第一位置移动至所述第二位置时，所述输出流道内的所述流体至少部分被吸入所述回吸空间。本专利技术的流体控制装置，所述移动件包括可挠部，以及杆部，所述可挠部设置于所述管件且位于所述回吸空间内，所述杆部连接于所述可挠部的一侧且带动所述可挠部于所述第一位置与所述第二位置间移动。本专利技术的流体控制装置，所述流体输出单元包括管件，以及移动件，所述管件形成与所述第二管段相连通且用于输出所述流体的输出流道，所述移动件可移动地设置于所述管件内并能在未阻断所述输出流道使所述流体能输出的第一位置，以及阻断所述输出流道以防止所述流体输出的第二位置间移动。本专利技术的流体控制装置，所述流体输出单元还包括连接于所述管件的驱动模块，所述驱动模块用于提供气体压力以驱动所述移动件在所述第一位置与所述第二位置之间移动。本专利技术的流体控制装置，所述流体输出单元还包括驱动模块，以及弹性件，所述驱动模块连接于所述管件且用于提供气体压力以驱动所述移动件于所述第一位置与所述二位置间移动，所述弹性件连接于所述管件以及所述移动件之间。本专利技术的流体控制装置，所述输出流道具有呈弯曲状的弯曲段，所述移动件设置于所述管件且和所述弯曲段相对应。本专利技术的流体控制装置，所述流量控制单元先由所述流通状态切换至所述阻断状态，以使所述流体沿着所述第二管段朝所述流量控制单元方向回吸，所述流体输出单元再控制所述流体，以防止所述流体经由所述第二管段输出。本专利技术的流体控制装置，还包含设于所述第二管段且介于所述流量控制单元与所述流体输出单元之间的回吸阀。本专利技术的流体控制装置，所述流量控制单元先由所述流通状态切换至所述阻断状态，以使所述流体沿着所述第二管段朝所述流量控制单元方向回吸，接着由所述回吸阀将所述第二管段内的所述流体往远离所述流体输出单元方向再回吸，最后所述流体输出单元控制所述流体，以防止所述流体经由所述第二管段输出。本专利技术的流体控制装置，所述流体输出单元包括管件，以及移动件，所述管件形成与所述第二管段相连通且用于输出所述流体的输出流道，所述移动件可移动地设置于所述管件内并能在未阻断所述输出流道使所述流体能输出的第一位置，以及阻断所述输出流道以防止所述流体输出的第二位置间移动，所述流量控制单元与所述回吸阀回吸所述流体后，所述输出流道内的所述流体与所述移动件间隔一距离，此时所述移动件自所述第一位置移动至所述第二位置，以使所述流体被所述移动件遮断。本专利技术的流体控制装置，所述延迟时间的长度范围为0.1秒至5秒。本专利技术的有益效果：借由所述流量控制单元在所述延迟时间内由所述流通状态转换至所述阻断状态，使第二管段内的所述流体由于所述第二管段内所述流体的压力与外界压力(即环境气压)的压力差而沿着第二管段朝所述流量控制单元方向回吸，且借由所述流体输出单元防止所述流体输出，以当所述流体于供应状态切换至停止供应状态时，避免所述第二管段内的所述流体滴落至待处理的基板上，而有效地提高基板制程品质。附图说明本专利技术的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：图1是本专利技术流体控制装置的第一实施例、第二实施例及第四实施例的示意图；图2是剖视示意图，说明第一实施例的流体输出单元在第一位置的状态；图3是剖视示意图，说明第一实施例的流体输出单元在第二位置的状态；图4是流程方块图，说明本专利技术流体控制装置的第一实施例的操作步骤；图5是剖视示意图，说明第二实施例的流体输出单元在第一位置的状态；图6是剖视示意图，说明第二实施例的流体输出单元在第二位置的状态；图7是本专利技术流体控制装置的第三实施例的示意图；图8是剖视示意图，说明本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体控制装置，其特征在于，该流体控制装置包含：输送管路，供流体于其内部流动，所述输送管路包括第一管段以及第二管段；流量控制单元，连通于所述第一管段与所述第二管段之间，且能被操作地在使所述流体自所述第一管段流至所述第二管段的流通状态，以及使所述流体无法自所述第一管段流至所述第二管段的阻断状态之间切换；以及流体输出单元，设置于所述第二管段远离所述流量控制单元的一端，并能控制所述流体经由所述第二管段输出的状态；其中，所述流量控制单元由所述流通状态经过延迟时间后切换至所述阻断状态时，通过所述第二管段内的所述流体的压力与外界压力的压力差，以将所述第二管段内的所述流体朝所述流量控制单元方向回吸，且所述流体输出单元防止所述流体输出。

【技术特征摘要】
2018.02.13 TW 1071053031.一种流体控制装置，其特征在于，该流体控制装置包含：输送管路，供流体于其内部流动，所述输送管路包括第一管段以及第二管段；流量控制单元，连通于所述第一管段与所述第二管段之间，且能被操作地在使所述流体自所述第一管段流至所述第二管段的流通状态，以及使所述流体无法自所述第一管段流至所述第二管段的阻断状态之间切换；以及流体输出单元，设置于所述第二管段远离所述流量控制单元的一端，并能控制所述流体经由所述第二管段输出的状态；其中，所述流量控制单元由所述流通状态经过延迟时间后切换至所述阻断状态时，通过所述第二管段内的所述流体的压力与外界压力的压力差，以将所述第二管段内的所述流体朝所述流量控制单元方向回吸，且所述流体输出单元防止所述流体输出。2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于：所述流量控制单元包括连通于所述第一管段与所述第二管段之间的第一双通阀，通过控制所述第一双通阀的阀开度，使所述流量控制单元在所述流通状态与所述阻断状态之间切换。3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于：还包含回收管路，所述流量控制单元还包括连通于所述输送管路的所述第一管段与所述回收管路之间的第二双通阀、触发模块、连通于所述第一双通阀与所述第二双通阀两者以及所述触发模块之间的连接管路，以及设于所述连接管路上且位于所述触发模块与所述第一双通阀之间的流量控制阀，所述触发模块用于提供触发源至所述第一双通阀与所述第二双通阀，以使所述流量控制单元在所述第一双通阀开启而所述第二双通阀关闭的所述流通状态以及所述第一双通阀关闭而所述第二双通阀开启的所述阻断状态之间切换，以控制所述流体自所述第一管段流向所述第二管段或流向所述回收管路，所述流量控制阀可被操作地改变所述触发源通过的流速，以调整所述延迟时间的长短。4.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于：还包含回收管路，所述流量控制单元包括三通阀，所述三通阀具有连通于所述第一管段的输入端、连通于所述第二管段的第一输出端，以及连通于所述回收管路的第二输出端，当所述流量控制单元处于所述流通状态时，所述第一输出端开启而所述第二输出端关闭，以使所述流体自所述三通阀的所述第一输出端输出至所述第二管段，当流量控制单元处于所述阻断状态时，所述第一输出端关闭而所述第二输出端开启，以使所述流体自所述三通阀的所述第二输出端输出至所述回收管路。5.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于：所述流量控制单元还包括触发模块、连通于所述触发模块与所述三通阀之间的连接管路，以及设于所述连接管路上且位于所述触发模块与所述三通阀之间的流量控制阀，所述触发模块用于提供触发源至所述三通阀，以使所述流量控制单元在所述流通状态以及所述阻断状态之间切换，所述流量控制阀可被操作地改变所述触发源通过的流速，以调整所述延迟时间的长短。6.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于：所述流体输出单元包括管件，以及移动件，所述管件形成与所述第二管段相连通且用于输...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯传彰，刘茂林，吴庭宇，赖志讳，
申请(专利权)人：辛耘企业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71