一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备，管道清洁装置包括牵引机构和清洁机构；所述牵引机构用于自动牵引所述清洁机构进入目标管道并在所述目标管道中移动，以及自动牵引所述清洁机构退出目标管道；所述清洁机构用于在所述牵引机构的牵引下对所述目标管道的内壁进行清洁。本发明专利技术实施例能够对目标管道进行清洁，清除目标管道内壁的沉积物，保证目标管道通畅，以解决真空泵异常宕机的问题。

A Pipeline Cleaning Device, Pipeline and Etching Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备
本专利技术涉及刻蚀领域，尤其涉及一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备。
技术介绍
在目前的集成电路的制造过程中，薄膜刻蚀有干法刻蚀和湿法刻蚀两种，对于一般a-Si、SiNx、SiOx，以及一些金属膜的刻蚀多采用干法刻蚀。具体的，刻蚀气体被导入反应室并与待刻蚀工件的表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。使用干法刻蚀会有大量副产物生成，需通过排气管道排出，经厂务酸排管道至厂务喷淋塔二次处理。在实际生产过程中，经常会遇到真空泵宕机的问题。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备，能够对目标管道进行清洁，清除目标管道内壁的沉积物，保证目标管道通畅。第一方面，本专利技术实施例提供了一种管道清洁装置，该装置包括牵引机构和清洁机构；所述牵引机构用于自动牵引所述清洁机构进入目标管道并在所述目标管道中移动，以及自动牵引所述清洁机构退出目标管道；所述清洁机构用于在所述牵引机构的牵引下对所述目标管道的内壁进行清洁。可选的，所述牵引机构包括牵引驱动部和牵引执行部，所述牵引执行部与所述牵引驱动部连接，所述清洁机构设置于所述牵引执行部上，所述牵引驱动部用于通过驱动所述牵引执行部牵引所述清洁机构；优选地，所述清洁机构包括清洁棉。可选的，所述牵引驱动部包括第一电机和第二电机，所述牵引执行部包括牵引绳，所述牵引绳的两端分别连接至所述第一电机和所述第二电机，所述牵引绳可穿设于所述目标管道中。可选的，所述牵引机构还包括牵引辅助部，所述牵引辅助部用于辅助调节所述牵引绳的位置；优选地，所述牵引辅助部包括第一牵引滑轮、第一滑轮伸缩杆、第二牵引滑轮和第二滑轮伸缩杆，所述第一牵引滑轮固定于所述第一滑轮伸缩杆的一端，所述第二牵引滑轮固定于所述第二滑轮伸缩杆的一端，所述牵引绳可经分别置于所述目标管道两端的所述第一牵引滑轮和所述第二牵引滑轮穿设于所述目标管道中。第二方面，本专利技术实施例提供了一种管道，该管道中设置有如本专利技术第一方面所述的管道清洁装置，所述管道包括主管道，所述主管道为目标管道。可选的，所述管道还包括第一辅助管道和第二辅助管道；所述第一辅助管道包括相对的第一端和第二端，所述第一辅助管道的侧壁上形成有第一通孔，所述第一辅助管道通过所述第一通孔与所述主管道的一端相连通；所述第一辅助管道包括位于所述第一辅助管道的第一端与所述第一通孔之间的第一分管道，以及位于所述第一辅助管道的侧壁上且与所述第一通孔相对的第二分管道；所述第一分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端封闭；所述第二分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端与外界相连通；所述第二辅助管道包括相对的第一端和第二端，所述第二辅助管道的侧壁上形成有第二通孔，所述第二辅助管道通过所述第二通孔与所述主管道的另一端相连通；所述第二辅助管道包括位于所述第二辅助管道的第一端与所述第二通孔之间的第三分管道，以及位于所述第二辅助管道的侧壁上且与所述第二通孔相对的第四分管道；所述第三分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端封闭；所述第四分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端与外界相连通；所述管道清洁装置包括第一电机和第二电机，所述第一电机设置于所述第一分管道中，所述第二电机设置于所述第三分管道中；优选地，所述管道清洁装置还包括第一牵引滑轮、第一滑轮伸缩杆、第二牵引滑轮和第二滑轮伸缩杆，所述第一滑轮伸缩杆固定于所述第一分管道中，所述第二滑轮伸缩杆固定于所述第三分管道中；所述第一牵引滑轮可通过所述第一滑轮伸缩杆伸至所述主管道的中心轴线处，以及缩回所述第一分管道中；所述第二牵引滑轮可通过所述第二滑轮伸缩杆伸至所述主管道的中心轴线处，以及缩回所述第三分管道中。可选的，所述第一辅助管道还包括位于所述第一辅助管道的第二端与所述第一通孔之间，且与所述第一分管道相对的第五分管道，所述第五分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端与外界相连通，所述第五分管道中设置有第一阀门；所述第一分管道的第二端形成有第一进液口，所述第一分管道设置有喷淋机构，所述喷淋机构与所述第一进液口相连；优选地，所述第二分管道中设置有第二阀门，所述第四分管道中设置有第三阀门。可选的，所述第三分管道的第二端形成有第二进液口，在所述管道清洁装置的清洁机构通过牵引机构牵引至所述第三分管道中时，所述清洁机构与所述第二进液口相接叠。可选的，所述管道的侧壁上形成有干燥气体进口；优选地，所述干燥气体进口形成于所述第四分管道的侧壁上。第三方面，本专利技术实施例提供了一种刻蚀设备，包括刻蚀反应室、真空泵和如本专利技术第二方面所述的管道；所述管道的一端与所述刻蚀反应室相连通，另一端与所述真空泵相连。本专利技术实施例中，牵引机构自动牵引清洁机构进入目标管道并在所述目标管道中移动，清洁机构在牵引机构的牵引下对目标管道的内壁进行清洁，将目标管道内壁的沉积物冲刷至目标管道的一端并排出，在完成清洁后，牵引机构自动牵引清洁机构退出目标管道。本专利技术实施例能够对目标管道进行清洁，清除目标管道内壁的沉积物，保证目标管道通畅，以解决真空泵异常宕机的问题。附图说明下面根据附图和实施例对本专利技术作进一步详细说明。图1为本专利技术实施例提供的一种管道清洁装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的另一种管道清洁装置的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的另一种管道清洁装置的结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的一种管道的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的另一种管道的结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的另一种管道的结构示意图；图7为本专利技术实施例提供的另一种管道的结构示意图。具体实施方式为使本专利技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本专利技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。正如
技术介绍
中提到的，现有的刻蚀气体排放过程中，经常会遇到真空泵宕机的问题。专利技术人经过研究发现，出现上述问题的原因在于：刻蚀反应产生的副产物沉积在排气管道内壁，导致管道堵塞，进而导致真空泵异常宕机。针对上述问题，本专利技术实施例提供了一种管道清洁装置，用于清除目标管道内壁的沉积物，在本专利技术实施例中，目标管道可以为干法刻蚀的排气管道。需本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管道清洁装置，其特征在于，包括牵引机构和清洁机构；所述牵引机构用于自动牵引所述清洁机构进入目标管道并在所述目标管道中移动，以及自动牵引所述清洁机构退出所述目标管道；所述清洁机构用于在所述牵引机构的牵引下对所述目标管道的内壁进行清洁。

【技术特征摘要】
1.一种管道清洁装置，其特征在于，包括牵引机构和清洁机构；所述牵引机构用于自动牵引所述清洁机构进入目标管道并在所述目标管道中移动，以及自动牵引所述清洁机构退出所述目标管道；所述清洁机构用于在所述牵引机构的牵引下对所述目标管道的内壁进行清洁。2.根据权利要求1所述的管道清洁装置，其特征在于，所述牵引机构包括牵引驱动部和牵引执行部，所述牵引执行部与所述牵引驱动部连接，所述清洁机构设置于所述牵引执行部上，所述牵引驱动部用于通过驱动所述牵引执行部牵引所述清洁机构；优选地，所述清洁机构包括清洁棉。3.根据权利要求2所述的管道清洁装置，其特征在于，所述牵引驱动部包括第一电机和第二电机，所述牵引执行部包括牵引绳，所述牵引绳的两端分别连接至所述第一电机和所述第二电机，所述牵引绳可穿设于所述目标管道中。4.根据权利要求3所述的管道清洁装置，其特征在于，所述牵引机构还包括牵引辅助部，所述牵引辅助部用于辅助调节所述牵引绳的位置；优选地，所述牵引辅助部包括第一牵引滑轮、第一滑轮伸缩杆、第二牵引滑轮和第二滑轮伸缩杆，所述第一牵引滑轮固定于所述第一滑轮伸缩杆的一端，所述第二牵引滑轮固定于所述第二滑轮伸缩杆的一端，所述牵引绳可经分别置于所述目标管道两端的所述第一牵引滑轮和所述第二牵引滑轮穿设于所述目标管道中。5.一种管道，其特征在于，所述管道中设置有如权利要求1-4任一所述的管道清洁装置，所述管道包括主管道，所述主管道为目标管道。6.根据权利要求5所述的管道，其特征在于，所述管道还包括第一辅助管道和第二辅助管道；所述第一辅助管道包括相对的第一端和第二端，所述第一辅助管道的侧壁上形成有第一通孔，所述第一辅助管道通过所述第一通孔与所述主管道的一端相连通；所述第一辅助管道包括位于所述第一辅助管道的第一端与所述第一通孔之间的第一分管道，以及位于所述第一辅助管道的侧壁上且与所述第一通孔相对的第二分管道；所述第一分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端封闭；所述第二分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端与外界相连通；所述第二辅助管道包括相对的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：付琦龙，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32