湿法刻蚀烘干设备制造技术

本公开提供了一种湿法刻蚀烘干设备，属于湿法刻蚀技术领域。该湿法刻蚀烘干设备包括用于设于一作业空间内的烘干装置、空气过滤装置、连接烘干装置的进气口和空气过滤装置的出气口的第一连接管、用于检测第一连接管内的空气中的颗粒物浓度的第一颗粒物检测器、与第一颗粒物检测器连接的控制装置、能在控制装置控制下报警的第一警报装置、风机、连接空气过滤装置的进气口和风机的出气口的第二连接管和多个第三连接管，其中，各第三连接管的出气口均连接风机的进气口；各第三连接管均能伸出作业空间，且进气口能相互隔离地固定于作业空间外；任一第三连接管上设置有阀门。该湿法刻蚀烘干设备能避免酸性空气进入烘干装置污染硅片，保证硅片的良率。

Wet etching drying equipment

【技术实现步骤摘要】
湿法刻蚀烘干设备
本公开涉及湿法刻蚀
，尤其涉及一种湿法刻蚀烘干设备。
技术介绍
湿法刻蚀经常采用酸性溶液作为刻蚀液，在刻蚀后硅片将转移至位于作业空间内的烘干装置中进行烘干。烘干装置能够通过进气口从作业空间中获取空气，并通过出气口将内部的空气排出，如此在烘干装置中形成气流，以加速烘干过程和保证烘干效果。然而，由于刻蚀工艺的影响，作业空间内的空气经常呈现酸性，酸性空气进入烘干装置后将会污染和腐蚀硅片，导致硅片的良率降低。所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种湿法刻蚀烘干设备，避免酸性空气进入烘干装置污染硅片，保证硅片的良率。根据本公开的第一个方面，提供一种湿法刻蚀烘干设备，包括：烘干装置，具有进气口和出气口，用于设于一作业空间内；空气过滤装置，具有进气口和出气口；第一连接管，连接所述烘干装置的进气口和所述空气过滤装置的出气口；第一颗粒物检测装置，设于所述第一连接管且与所述控制装置连接，用于检测所述第一连接管内的空气中的颗粒物浓度；控制装置，与所述第一颗粒物检测装置连接，用于在所述第一颗粒物检测装置检测的结果高于第一设定值时发出第一警报信号；第一警报装置，与所述控制装置连接，能够根据所述第一警报信号发出警报；风机，具有进气口和出气口；第二连接管，连接所述空气过滤装置的进气口和所述风机的出气口；多个第三连接管，各所述第三连接管的出气口均连接所述风机的进气口；各所述第三连接管均能伸出所述作业空间，且各所述第三连接管的进气口能相互隔离地固定于所述作业空间外；任一所述第三连接管上设置有阀门。在本公开的一种示例性实施例中，所述湿法刻蚀烘干设备还包括：第一酸度检测装置，设于所述第一连接管，用于检测所述第一连接管内的空气的酸度；所述控制装置还用于在所述第一酸度检测装置的检测结果高于第二设定值时发出所述第一警报信号。在本公开的一种示例性实施例中，所述控制装置还用于在所述第一颗粒物检测装置的检测结果高于所述第一设定值的时间超过设定时间时，或者在所述第一酸度检测装置的检测结果高于所述第二设定值的时间超过设定时间时，发出第二警报信号；所述湿法刻蚀烘干设备还包括：第二警报装置，与所述控制装置连接，能够根据所述第二警报信号发出警报。在本公开的一种示例性实施例中，所述阀门为电磁阀，任一所述电磁阀的控制端与所述控制装置连接。在本公开的一种示例性实施例中，任一所述第三连接管设置有与所述控制装置连接的第二酸度检测装置，以检测该第三连接管内空气的酸度；所述控制装置还用于在任一所述第三连接管上的所述第二酸度检测装置的检测结果高于第三预设值时，控制同一所述第三连接管上的所述电磁阀关闭。在本公开的一种示例性实施例中，任一所述第三连接管还设置有与所述控制装置连接的第二颗粒物检测装置，以检测所述第三连接管内空气中的颗粒物浓度；所述控制装置还用于在任一所述第三连接管上的所述第二颗粒物检测装置的检测结果高于第四预设值时，控制同一所述第三连接管上的所述电磁阀关闭。在本公开的一种示例性实施例中，所述空气过滤装置包括：高效空气过滤器，具有进气端和出气端；所述高效空气过滤器的进气端连接所述空气过滤装置的进气口，所述高效空气过滤器的出气端连接所述空气过滤装置的出气口。在本公开的一种示例性实施例中，所述空气过滤装置还包括：初效空气过滤器，具有进气端和出气端；所述初效空气过滤器的进气端连接所述空气过滤装置的进气口；中效空气过滤器，具有进气端和出气端；所述中效空气过滤器的进气端连接所述初效空气过滤器的出气端，述中效空气过滤器的出气端连接所述高效空气过滤器的进气端。在本公开的一种示例性实施例中，所述第一连接管为聚丙烯管。在本公开的一种示例性实施例中，所述湿法刻蚀烘干设备还包括第四连接管，所述第四连接管的出气口连接所述风机的进气口；所述第四连接管的进气口连接各所述第三连接管的出气口。本公开提供的湿法刻蚀烘干设备，其设置有空气过滤装置，以保证进入烘干装置中的空气的洁净度，避免空气中的颗粒物污染硅片。第一颗粒物检测装置能够检测第一连接管内的空气中的颗粒物浓度，并将检测结果发送给控制装置；控制装置可以在检测第一连接管内的空气中的颗粒物浓度超出第一设定值时控制第一警报装置报警，以便提醒作业人员采取相应的维护措施，降低不洁净的空气持续进入烘干装置导致的硅片良率的降低。不仅如此，该湿法刻蚀烘干设备设置多个第三连接管且各第三连接管的进气口能相互隔离地固定于作业空间外，以便从作业空间以外获取空气，避免作业空间内酸性空气进入烘干装置；由于多个第三连接管的进气口相互隔离，因此当作业空间外某一局部区域的空气质量恶化时，可以通过阀门关闭进气口设于该处的第三连接管，使得风机不获取此处的空气，以保证空气过滤装置的使用寿命和过滤效果，进一步降低烘干装置中硅片被污染的可能，保证硅片的良率。附图说明通过参照附图详细描述其示例实施方式，本公开的上述和其它特征及优点将变得更加明显。图1是本公开实施方式的湿法刻蚀烘干设备的原理示意图。图2是本公开实施方式的烘干装置与空气过滤装置的连接意图。图中主要元件附图标记说明如下：1、烘干装置；2、空气过滤装置；3、风机；4、控制装置；51、第一连接管；52、第二连接管；53、第三连接管；54、第四连接管；61、第一颗粒物检测器；62、第二颗粒物检测器；71、第一酸度检测装置；72、第二酸度检测装置；81、第一警报装置；82、第二警报装置；9、阀门；100、烘干室；200、天花板；300、空气过滤装置的出气口。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施例使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。用语“一个”、“一”、“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。用语“第一”和“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。本公开实施方式中提供一种湿法刻蚀烘干设备，如图1所示，该湿法刻蚀烘干设备包括烘干装置1、空气过滤装置2、第一连接管51、第一颗粒物检测装置、控制装置4、第一警报装置81、风机3、第二连接管52和多个第三连接管53，其中，烘干装置1具有进气口和出气口，用于设于一作业空间内；空气过滤装置2具有进气口和出气口；第一连接管51连接烘干装置1的进气口和空气过滤装置2的出气口；第一颗粒物检测装置设于第一连接管51且与控制装置4连接，用于检测第一连接管51内的空气中的颗粒物浓度；控制装置4与第一颗粒物检测装置连接，用于在第一颗粒物检测装置检测的结果高于第一设定值时发出第一警报信号；第一警报装置81与控制装置4连接，能够根据第一警报信号发出警报；风机3具有进气口和出气口；第二连接管52连接空气过滤装置2的进气口和风机3的出气口；各第三连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种湿法刻蚀烘干设备，其特征在于，包括：烘干装置，具有进气口和出气口，用于设于一作业空间内；空气过滤装置，具有进气口和出气口；第一连接管，连接所述烘干装置的进气口和所述空气过滤装置的出气口；第一颗粒物检测器，设于所述第一连接管，用于检测所述第一连接管内的空气中的颗粒物浓度；控制装置，与所述第一颗粒物检测器连接，用于在所述第一颗粒物检测器检测的结果高于第一设定值时发出第一警报信号；第一警报装置，与所述控制装置连接，能够根据所述第一警报信号发出警报；风机，具有进气口和出气口；第二连接管，连接所述空气过滤装置的进气口和所述风机的出气口；多个第三连接管，各所述第三连接管的出气口均连接所述风机的进气口；各所述第三连接管均能伸出所述作业空间，且各所述第三连接管的进气口能相互隔离地固定于所述作业空间外；任一所述第三连接管上设置有阀门。

【技术特征摘要】
1.一种湿法刻蚀烘干设备，其特征在于，包括：烘干装置，具有进气口和出气口，用于设于一作业空间内；空气过滤装置，具有进气口和出气口；第一连接管，连接所述烘干装置的进气口和所述空气过滤装置的出气口；第一颗粒物检测器，设于所述第一连接管，用于检测所述第一连接管内的空气中的颗粒物浓度；控制装置，与所述第一颗粒物检测器连接，用于在所述第一颗粒物检测器检测的结果高于第一设定值时发出第一警报信号；第一警报装置，与所述控制装置连接，能够根据所述第一警报信号发出警报；风机，具有进气口和出气口；第二连接管，连接所述空气过滤装置的进气口和所述风机的出气口；多个第三连接管，各所述第三连接管的出气口均连接所述风机的进气口；各所述第三连接管均能伸出所述作业空间，且各所述第三连接管的进气口能相互隔离地固定于所述作业空间外；任一所述第三连接管上设置有阀门。2.根据权利要求1所述的湿法刻蚀烘干设备，其特征在于，所述湿法刻蚀烘干设备还包括：第一酸度检测装置，设于所述第一连接管，用于检测所述第一连接管内的空气的酸度；所述控制装置还用于在所述第一酸度检测装置的检测结果高于第二设定值时发出所述第一警报信号。3.根据权利要求2所述的湿法刻蚀烘干设备，其特征在于，所述控制装置还用于在所述第一颗粒物检测器的检测结果高于所述第一设定值的时间超过设定时间时，或者在所述第一酸度检测装置的检测结果高于所述第二设定值的时间超过设定时间时，发出第二警报信号；所述湿法刻蚀烘干设备还包括：第二警报装置，与所述控制装置连接，能够根据所述第二警报信号发出警报。4.根据权利要求1所述的湿法刻蚀烘干设备，其特征在于，所述阀门为电磁阀，任一所述电磁阀的控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：武慧亮，高少辉，
申请(专利权)人：包头市山晟新能源有限责任公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古,15