一种硅片贴片机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅片贴片机，包括料盘进出盒升降装置、陶瓷盘刷洗装置、陶瓷盘加热台、涂蜡装置、翻转贴片装置、加压冷却装置，左右对称布置有料盘进出盒升降装置，每个料盘进出盒升降装置的后方均设置有传送机构，两个传送机构的后部之间从左往右依次安装有陶瓷盘刷洗装置、陶瓷盘加热台、翻转贴片装置以及加压冷却装置，所述的翻转贴片装置的前方设置有涂蜡装置。本实用新型专利技术自动化程度高，适合大批量生产。

A silicon wafer mounter

【技术实现步骤摘要】
一种硅片贴片机
本技术涉及硅片贴片机
，特别是涉及一种硅片贴片机。
技术介绍
硅片贴片是在硅片加工过程中必不可少的程序，目前主要人工借助定制的工装夹具手工操作工作效率低，贴片速度慢，贴片质量不稳定，影响产品质量及企业发展。料盘进出盒都是人工放置的，生产效率较低。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种硅片贴片机，自动化程度高，适合大批量生产。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种硅片贴片机，包括料盘进出盒升降装置、陶瓷盘刷洗装置、陶瓷盘加热台、涂蜡装置、翻转贴片装置、加压冷却装置，左右对称布置有料盘进出盒升降装置，每个料盘进出盒升降装置的后方均设置有传送机构，两个传送机构的后部之间从左往右依次安装有陶瓷盘刷洗装置、陶瓷盘加热台、翻转贴片装置以及加压冷却装置，所述的翻转贴片装置的前方设置有涂蜡装置；所述的料盘进出盒升降装置包括第一工作台、升降架顶板和固定框架底板，所述的第一工作台上方水平布置有升降架顶板，该升降架顶板的下端四周均竖直安装有导杆，所述的第一工作台上设置有与导杆相配的导套，所述的导杆的下端穿过导套与第一工作台下方布置的升降架底板固定，所述的第一工作台一侧竖直布置有丝杆，该丝杆的下端穿过升降架底板与固定框架底板中部转动连接，所述的固定框架底板两侧对称布置有与第一工作台下端相连的固定框架立板，所述的丝杆穿过第一工作台的上端安装有第一从动带轮，该第一从动带轮一侧安装有第一伺服电机，所述的第一伺服电机的输出轴上安装有第一主动带轮，该第一主动带轮通过皮带与第一从动带轮相连，所述的升降架底板上安装有套在丝杆上并与丝杆螺纹连接的连接套，所述的升降架顶板的后端中部开有矩形缺口，所述的第一工作台上端位于矩形缺口内的左右两侧对称布置有第一安装板，两个第一安装板之间均匀布置有若干第一转轴，所述的第一转轴的两侧安装有第一滚轮，两个第一安装板之间的中部横向安装有第二伺服电机，该第二伺服电机的输出轴上安装有驱动轮；所述的传送机构包括第二安装板、第三伺服电机和第二转轴，所述的第一工作台上端位于料盘进出盒升降装置后方并排布置有两个第二安装板，两个第二安装板之间均匀布置有若干个第二转轴，所述的第二转轴的两侧安装有第二滚轮，该第二转轴的一端安装有从动链轮，其中一个第二安装板上安装有第三伺服电机，该第三伺服电机的输出轴上安装有主动链轮，所述的主动链轮通过链条与从动链轮相连；所述的陶瓷盘加热台与加压冷却装置之间安装有第二工作台，该第二工作台上端前后分别安装有涂蜡装置和翻转贴片装置；所述的涂蜡装置包括辅助升降气缸、升降台和第四伺服电机，所述的第二工作台上端的前后两侧均竖直布置有辅助升降气缸，每个辅助升降气缸的活塞杆上端均安装有辅助吸盘，两个辅助升降气缸之间并排布置有两个第一升降气缸，所述的第一升降气缸的上端与升降台相连，该升降台中部内安装有真空罩杯，所述的真空罩杯内设置有真空腔，该真空罩杯的下端安装有第四伺服电机，所述的真空腔内转动安装有加长轴，该加长轴穿过真空罩杯的上端连接有第一吸盘，所述的加长轴的下端与第四伺服电机的输出轴相连，所述的加长轴内设置有用于连接第一吸盘和真空腔的真空通道，所述的真空罩杯的一侧开有与真空腔连通的通孔，该通孔通过气管与抽真空设备相连，所述的升降台的上方设置有甩涂蜡箱，该甩涂蜡箱的上端连接有滴蜡管，位于后方的辅助升降气缸其上方设置有烤蜡箱，所述的第二工作台的左右两侧均设置有前后滑动的滑台立板，两个滑台立板的下端通过滑台底板相连，所述的第二工作台底部安装有与滑台底板相连的磁偶气缸，每个滑台立板的上端均对应安装有三个硅片置板；所述的第二工作台位于涂蜡装置的后方设置有转动升降平台，所述的翻转贴片装置包括翻转架底板、升降缸坐板和翻转臂，所述的第二工作台位于转动升降平台与涂蜡装置之间安装有前后滑动的升降缸坐板，该升降缸坐板前方安装有移位气缸，所述的移位气缸的活塞杆与升降缸坐板固定，所述的升降缸坐板的上端中部竖直安装有翻转架升降缸，该翻转架升降缸的活塞杆上端与翻转架底板相连，所述的翻转架底板的上端两侧对称布置有轴承支座，两个轴承支座之间安装有翻转轴，所述的翻转轴一端通过联轴器与翻转架底板一侧安装的摆动气缸相连，该翻转轴的中部安装有翻转臂，所述的翻转臂的自由端安装有第二吸盘，所述的翻转架底板上端位于翻转轴的前、后侧均安装有缓冲器；所述的加压冷却装置包括第三工作台、下冷却盘、上冷却盘和第二升降气缸，所述的第三工作台上端中部安装有第二升降气缸，该第二升降气缸上端的活塞杆与下冷却盘相连，所述的第三工作台上端位于第二升降气缸的两侧均竖直安装有直线轴承，该直线轴承内安装有上下滑动的第一导向轴，所述的第一导向轴的上端与下冷却盘的下端一侧固定，所述的第三工作台位于下冷却盘的上方水平布置有横梁，该横梁上安装有上冷却盘基板，所述的上冷却盘基板的两侧均竖直安装有吊柱套，每个吊柱套内安装有上下浮动的吊柱，所述的吊柱的下端与上冷却盘相连。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的固定框架立板的上、下端均安装有光电开关，该固定框架立板一侧竖直安装有光栅尺，所述的光栅尺靠近光电开关的一侧布置有若干个一字缺口。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的升降架顶板上端的一侧以及前端均通过挡板围住。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的第二工作台的上端中部安装有气缸固定板，该气缸固定板与第二工作台之间均匀布置有若干个弹性减震部件，两个第一升降气缸安装在气缸固定板的上端。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的翻转臂的自由端内竖直安装有若干个线性轴承，该线性轴承内安装有第二导向轴，所述的第二导向轴的上端与第二吸盘相连，该第二导向轴的下端与联轴片相连，所述的翻转臂上端与第二吸盘之间安装有弹簧。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的下冷却盘和上冷却盘均呈圆盘状，且内部设置有呈蚊香状结构的冷却管路。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，左侧的传送机构与陶瓷盘刷洗装置之间、陶瓷盘刷洗装置与陶瓷盘加热台之间、陶瓷盘加热台与加压冷却装置之间、加压冷却装置与右侧的传送机构之间均横向布置有电缸，该电缸上端安装有机械手装置。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的机械手装置包括轴承座板和底座板，所述的电缸上端安装有轴承座板，所述的轴承座板的两侧对称安装有上下滑动的第三导向轴，该第三导向轴的上端与底座板相连，所述的第三导向轴上位于轴承座板与底座板之间固定安装有夹板，所述的轴承座板位于两个第三导向轴之间竖直安装有第三升降气缸，该第三升降气缸的活塞杆上端与夹板相连，所述的底座板的上端两侧对称布置有夹钳装置，该夹钳装置包括夹爪气缸、滑块和夹爪，所述的底座板上端中部横向布置有夹爪气缸，该夹爪气缸一侧安装有横向滑动的滑块，所述的滑块的一端安装有夹爪，所述的滑块靠近夹爪气缸的一侧开有第一内凹槽，该滑块的另一侧开有第二内凹槽，所述的夹爪气缸的活塞杆一端安装有横向贯穿第一内凹槽以及第二内凹槽的拉杆，该拉杆上位于第一内凹槽以及第二内凹槽内均安装有限位板，所述的第二内凹槽内安装有顶住限位板的弹簧。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的转动升降平台包括放置平台和平台底板，所述的第二工作台中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片贴片机，包括料盘进出盒升降装置(16)、陶瓷盘刷洗装置(20)、陶瓷盘加热台(21)、涂蜡装置(24)、翻转贴片装置(22)、加压冷却装置(23)，其特征在于：左右对称布置有料盘进出盒升降装置(16)，每个料盘进出盒升降装置(16)的后方均设置有传送机构(17)，两个传送机构(17)的后部之间从左往右依次安装有陶瓷盘刷洗装置(20)、陶瓷盘加热台(21)、翻转贴片装置(22)以及加压冷却装置(23)，所述的翻转贴片装置(22)的前方设置有涂蜡装置(24)；所述的料盘进出盒升降装置(16)包括第一工作台(1)、升降架顶板(2)和固定框架底板(6)，所述的第一工作台(1)上方水平布置有升降架顶板(2)，该升降架顶板(2)的下端四周均竖直安装有导杆(5)，所述的第一工作台(1)上设置有与导杆(5)相配的导套(4)，所述的导杆(5)的下端穿过导套(4)与第一工作台(1)下方布置的升降架底板(11)固定，所述的第一工作台(1)一侧竖直布置有丝杆(12)，该丝杆(12)的下端穿过升降架底板(11)与固定框架底板(6)中部转动连接，所述的固定框架底板(6)两侧对称布置有与第一工作台(1)下端相连的固定框架立板(9)，所述的丝杆(12)穿过第一工作台(1)的上端安装有第一从动带轮(3)，该第一从动带轮(3)一侧安装有第一伺服电机(14)，所述的第一伺服电机(14)的输出轴上安装有第一主动带轮，该第一主动带轮通过皮带与第一从动带轮(3)相连，所述的升降架底板(11)上安装有套在丝杆(12)上并与丝杆(12)螺纹连接的连接套(13)，所述的升降架顶板(2)的后端中部开有矩形缺口(25)，所述的第一工作台(1)上端位于矩形缺口(25)内的左右两侧对称布置有第一安装板(26)，两个第一安装板(26)之间均匀布置有若干第一转轴(27)，所述的第一转轴(27)的两侧安装有第一滚轮(30)，两个第一安装板(26)之间的中部横向安装有第二伺服电机(28)，该第二伺服电机(28)的输出轴上安装有驱动轮(29)；所述的传送机构(17)包括第二安装板(33)、第三伺服电机(35)和第二转轴(36)，所述的第一工作台(1)上端位于料盘进出盒升降装置(16)后方并排布置有两个第二安装板(33)，两个第二安装板(33)之间均匀布置有若干个第二转轴(36)，所述的第二转轴(36)的两侧安装有第二滚轮(31)，该第二转轴(36)的一端安装有从动链轮(32)，其中一个第二安装板(33)上安装有第三伺服电机(35)，该第三伺服电机(35)的输出轴上安装有主动链轮(34)，所述的主动链轮(34)通过链条与从动链轮(32)相连；所述的陶瓷盘加热台(21)与加压冷却装置(23)之间安装有第二工作台(37)，该第二工作台(37)上端前后分别安装有涂蜡装置(24)和翻转贴片装置(22)；所述的涂蜡装置(24)包括辅助升降气缸(42)、升降台(47)和第四伺服电机(49)，所述的第二工作台(37)上端的前后两侧均竖直布置有辅助升降气缸(42)，每个辅助升降气缸(42)的活塞杆上端均安装有辅助吸盘(104)，两个辅助升降气缸(42)之间并排布置有两个第一升降气缸(48)，所述的第一升降气缸(48)的上端与升降台(47)相连，该升降台(47)中部内安装有真空罩杯(52)，所述的真空罩杯(52)内设置有真空腔(51)，该真空罩杯(52)的下端安装有第四伺服电机(49)，所述的真空腔(51)内转动安装有加长轴(53)，该加长轴(53)穿过真空罩杯(52)的上端连接有第一吸盘(46)，所述的加长轴(53)的下端与第四伺服电机(49)的输出轴相连，所述的加长轴(53)内设置有用于连接第一吸盘(46)和真空腔(51)的真空通道(54)，所述的真空罩杯(52)的一侧开有与真空腔(51)连通的通孔(55)，该通孔(55)通过气管与抽真空设备相连，所述的升降台(47)的上方设置有甩涂蜡箱(45)，该甩涂蜡箱(45)的上端连接有滴蜡管(44)，位于后方的辅助升降气缸(42)其上方设置有烤蜡箱(43)，所述的第二工作台(37)的左右两侧均设置有前后滑动的滑台立板(106)，两个滑台立板(106)的下端通过滑台底板(105)相连，所述的第二工作台(37)底部安装有与滑台底板(105)相连的磁偶气缸(41)，每个滑台立板(106)的上端均对应安装有三个硅片置板(107)；所述的第二工作台(37)位于涂蜡装置(24)的后方设置有转动升降平台(38)，所述的翻转贴片装置(22)包括翻转架底板(63)、升降缸坐板(65)和翻转臂(67)，所述的第二工作台(37)位于转动升降平台(38)与涂蜡装置(24)之间安装有前后滑动的升降缸坐板(65)，该升降缸坐板(65)前方安装有移位气缸(56)，所述的移位气缸(56)...

【技术特征摘要】
1.一种硅片贴片机，包括料盘进出盒升降装置(16)、陶瓷盘刷洗装置(20)、陶瓷盘加热台(21)、涂蜡装置(24)、翻转贴片装置(22)、加压冷却装置(23)，其特征在于：左右对称布置有料盘进出盒升降装置(16)，每个料盘进出盒升降装置(16)的后方均设置有传送机构(17)，两个传送机构(17)的后部之间从左往右依次安装有陶瓷盘刷洗装置(20)、陶瓷盘加热台(21)、翻转贴片装置(22)以及加压冷却装置(23)，所述的翻转贴片装置(22)的前方设置有涂蜡装置(24)；所述的料盘进出盒升降装置(16)包括第一工作台(1)、升降架顶板(2)和固定框架底板(6)，所述的第一工作台(1)上方水平布置有升降架顶板(2)，该升降架顶板(2)的下端四周均竖直安装有导杆(5)，所述的第一工作台(1)上设置有与导杆(5)相配的导套(4)，所述的导杆(5)的下端穿过导套(4)与第一工作台(1)下方布置的升降架底板(11)固定，所述的第一工作台(1)一侧竖直布置有丝杆(12)，该丝杆(12)的下端穿过升降架底板(11)与固定框架底板(6)中部转动连接，所述的固定框架底板(6)两侧对称布置有与第一工作台(1)下端相连的固定框架立板(9)，所述的丝杆(12)穿过第一工作台(1)的上端安装有第一从动带轮(3)，该第一从动带轮(3)一侧安装有第一伺服电机(14)，所述的第一伺服电机(14)的输出轴上安装有第一主动带轮，该第一主动带轮通过皮带与第一从动带轮(3)相连，所述的升降架底板(11)上安装有套在丝杆(12)上并与丝杆(12)螺纹连接的连接套(13)，所述的升降架顶板(2)的后端中部开有矩形缺口(25)，所述的第一工作台(1)上端位于矩形缺口(25)内的左右两侧对称布置有第一安装板(26)，两个第一安装板(26)之间均匀布置有若干第一转轴(27)，所述的第一转轴(27)的两侧安装有第一滚轮(30)，两个第一安装板(26)之间的中部横向安装有第二伺服电机(28)，该第二伺服电机(28)的输出轴上安装有驱动轮(29)；所述的传送机构(17)包括第二安装板(33)、第三伺服电机(35)和第二转轴(36)，所述的第一工作台(1)上端位于料盘进出盒升降装置(16)后方并排布置有两个第二安装板(33)，两个第二安装板(33)之间均匀布置有若干个第二转轴(36)，所述的第二转轴(36)的两侧安装有第二滚轮(31)，该第二转轴(36)的一端安装有从动链轮(32)，其中一个第二安装板(33)上安装有第三伺服电机(35)，该第三伺服电机(35)的输出轴上安装有主动链轮(34)，所述的主动链轮(34)通过链条与从动链轮(32)相连；所述的陶瓷盘加热台(21)与加压冷却装置(23)之间安装有第二工作台(37)，该第二工作台(37)上端前后分别安装有涂蜡装置(24)和翻转贴片装置(22)；所述的涂蜡装置(24)包括辅助升降气缸(42)、升降台(47)和第四伺服电机(49)，所述的第二工作台(37)上端的前后两侧均竖直布置有辅助升降气缸(42)，每个辅助升降气缸(42)的活塞杆上端均安装有辅助吸盘(104)，两个辅助升降气缸(42)之间并排布置有两个第一升降气缸(48)，所述的第一升降气缸(48)的上端与升降台(47)相连，该升降台(47)中部内安装有真空罩杯(52)，所述的真空罩杯(52)内设置有真空腔(51)，该真空罩杯(52)的下端安装有第四伺服电机(49)，所述的真空腔(51)内转动安装有加长轴(53)，该加长轴(53)穿过真空罩杯(52)的上端连接有第一吸盘(46)，所述的加长轴(53)的下端与第四伺服电机(49)的输出轴相连，所述的加长轴(53)内设置有用于连接第一吸盘(46)和真空腔(51)的真空通道(54)，所述的真空罩杯(52)的一侧开有与真空腔(51)连通的通孔(55)，该通孔(55)通过气管与抽真空设备相连，所述的升降台(47)的上方设置有甩涂蜡箱(45)，该甩涂蜡箱(45)的上端连接有滴蜡管(44)，位于后方的辅助升降气缸(42)其上方设置有烤蜡箱(43)，所述的第二工作台(37)的左右两侧均设置有前后滑动的滑台立板(106)，两个滑台立板(106)的下端通过滑台底板(105)相连，所述的第二工作台(37)底部安装有与滑台底板(105)相连的磁偶气缸(41)，每个滑台立板(106)的上端均对应安装有三个硅片置板(107)；所述的第二工作台(37)位于涂蜡装置(24)的后方设置有转动升降平台(38)，所述的翻转贴片装置(22)包括翻转架底板(63)、升降缸坐板(65)和翻转臂(67)，所述的第二工作台(37)位于转动升降平台(38)与涂蜡装置(24)之间安装有前后滑动的升降缸坐板(65)，该升降缸坐板(65)前方安装有移位气缸(56)，所述的移位气缸(56)的活塞杆与升降缸坐板(65)固定，所述的升降缸坐板(65)的上端中部竖直安装有翻转架升降缸(60)，该翻转架升降缸(60)的活塞杆上端与翻转架底板(63)相连，所述的翻转架底板(63)的上端两侧对称布置有轴承支座(57)，两个轴承支座(57)之间安装有翻转轴(58)，所述的翻转轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：厉惠宏，徐继东，胡晓光，
申请(专利权)人：金瑞泓科技衢州有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33