一种硅片电注入退火装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种硅片电注入退火装置，其包括左右两侧设置有能够开合供载有硅片的花篮出入的仓门的反应仓，用于支撑和传送载有硅片的花篮出入所述反应仓的输送机构，上电极机构，下电极机构，分别连接所述上电极机构和下电极机构的直流电源，以及给反应仓内降温的风冷机构。本实用新型专利技术下电极机构能够将硅片托起，上电极机构在向下推动的时候由于是活动悬吊在上电极横梁板上的，因此当其压在硅片上的时候，上电极横梁板的向下运动就不会继续影响到上电极组件，因此上电极机构和下电极机构能够对硅片实施合理的夹持，不会对硅片造成破坏。

An Electric Injection Annealing Device for Silicon Wafers

【技术实现步骤摘要】
一种硅片电注入退火装置
本技术涉及太阳能电池片加工设备领域，尤其涉及一种硅片电注入退火装置。
技术介绍
电池片一般分为单晶硅、多晶硅、和非晶硅单晶硅太阳能电池是当前开发得最快的一种太阳能电池，它的构造和生产工艺已定型，产品已广泛用于空间和地面。这种太阳能电池以高纯的单晶硅棒为原料。将单晶硅棒切成片，一般片厚约0.3毫米。硅片经过抛磨、清洗等工序，制成待加工的原料硅片。硅片（电池片）中含有氧，氧有吸取杂质的作用，对硅片进行退火处理，能够促进存留于硅中的氧向外扩散，在硅片表面形成低氧环境（洁净区），从而减少甚至能够消除由氧造成的晶体缺陷，有利于后期器件制造，硅片退火能够对其电阻率及少子寿命造成影响。另外，光致衰减(LID)是指太阳能电池及组件在光照过程中引起的功率衰减现象。为了提高电池效率，目前研发出了PERC（钝化发射极及背局域接触电池）高效电池，但经过实践发现，如果不对成品电池进行处理，高效电池的LID现象会减小电池的效率增益，降低电池片的转换效率。针对上述缺陷，现在多采用退火处理，但发现在硅片退火过程中如保持其处于通电状态，能够使得硅片的退火效果更好，具备更优越的性能，但目前还没有硅片退火设备对此制造出相应的装置，且电池片退火时很难保证整体的温度一致性，因此急需一种可靠工作的硅片退火设备来解决这一问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种硅片电注入退火装置。为解决上述问题，本技术所采取的技术方案是：一种硅片电注入退火装置，其关键技术在于，其包括：反应仓，其左右两侧设置有能够开合供载有硅片的花篮出入的仓门；输送机构，用于支撑和传送载有硅片的花篮出入所述反应仓；上电极机构，其包括固定设置的上电极气缸、与上电极气缸的气缸杆固定的上电极横梁板、悬挂设置在所述上电极横梁板两端的两个上电极拉杆以及固定设置在两所述上电极拉杆下端的上电极组件，所述上电极组件位于所述反应仓内，所述上电极拉杆通过反应仓顶部的孔与上电极组件连接，所述上电极拉杆上端穿设在所述上电极横梁板上，上电极拉杆上端通过螺母活动吊挂在上电极横梁板上；下电极机构，其包括固定设置的下电极气缸以及与所述下电极气缸的气缸杆固定连接的下电极组件，所述下电极组件位于所述上电极组件的正下方，下电极机构能够将花篮中的硅片顶起，使硅片被夹持在下电极机构和上电极机构之间进行电注入；直流电源，其分别连接所述上电极组件和下电极组件；风冷机构，其包括设置在所述反应仓前后两侧的壁板上的吹风阀及设置在所述反应仓顶部的排风管。作为本技术的进一步改进，所述输送机构包括设置在所述反应仓下部前后两侧的两排输送轴、电机减速机构和传动轴，所述输送轴位于反应仓外部的一端设置有第三同步带轮，位于反应仓内部的另一端用于支撑和输送载有硅片的花篮；所述电机减速机构4的输出轴上设置输出轮，所述传动轴中部设置有与所述输出轮相对应的第一同步带轮，传动轴两端设置有与两排第三同步带轮相对应的第二同步带轮，所述输出轮通过第一同步带与所述第一同步带轮传动连接，所述第二同步带轮通过第二同步带与对应侧的第三同步带轮传动连接。作为本技术的进一步改进，所述第三同步带轮之间设置有用于张紧所述第二同步带的涨紧轮。作为本技术的进一步改进，所述吹风阀呈矩形，其上设置有两个左右贯通的通道，其侧壁上设置有若干与所述通道相通的通孔，气流通过所述通孔分散均匀的吹入到反应仓内，所述吹风阀上设置有用于连接气源的通气管。作为本技术的进一步改进，所述排风管上设置有用于调节开度的调节阀门。采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本技术对于由花篮载入的硅片进行电注入退火处理，由上电极机构和下电极机构将数百片叠在一起的硅片夹住形成通路，由直流电源提供电源通入到硅片中实现电注入，下电极机构能够将硅片托起，上电极机构在向下推动的时候由于是活动悬吊在上电极横梁板上的，因此当其压在硅片上的时候，上电极横梁板的向下运动就不会继续影响到上电极组件，因此上电极机构和下电极机构能够对硅片实施合理的夹持，不会对硅片造成破坏。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1是本技术的立体结构示意图。图2是本技术的侧面结构示意图。图3是本技术的正面结构示意图。图4是本技术上电极组件的结构示意图。图5是本技术下电极组件的结构示意图。图6是花篮的结构示意图。其中：1反应仓、2吹风阀、2-1通气管、3直流电源、4电机减速机构、5输出轮、6传动轴、7第一同步带轮、8第一同步带、9轴承座、10第二同步带轮、11第二同步带、12第三同步带轮、13涨紧轮、14输送轴、15仓门、16仓门气缸、17上电极气缸、18上电极横梁板、19排风管、20调节阀门、21温度传感器、22上电极拉杆、23上电极组件、23-1上电极板、23-2上电极连接板、23-3上电极接线板、23-4上电极接线磁块、24下电极气缸、25下电极组件、25-1下电极板、25-2下电极连接板、25-3下电极接线板、25-4下电极接线磁块、26下电极支撑杆；100花篮、101底板、102挡边、103支撑脚。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合具体实施例对技术进行清楚、完整的描述，需要理解的是，术语“中心”、“竖向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。如图6所示为一个用于装载硅片的花篮100，其包括一个矩形框形的底板101、固定设置在所述底板101两侧的长条形的支撑脚103以及设置在底板101四个角部垂直向上的四根挡边102，所述花篮100的底板101能够拖住硅片，四个挡边102能够挡住硅片，所述支撑脚103对整个花篮100起到支撑作用，并且用于与输送花篮的传送装置接触。所述底板101中部矩形的孔道用于使装置将硅片托起。如图1-5所示的一种硅片电注入退火装置，其包括反应仓1、输送机构、上电极机构、下电极机构、直流电源及风冷机构，所述反应仓1的左右两侧设置有能够开合供载有硅片的花篮出入的仓门15，所述仓门15通过仓门气缸16带动垂直运行，当仓门气缸16上下动作，提起仓门15打开反应仓1，使载有硅片的花篮100能够出入反应仓1；所述输送机构用于支撑和传送载有硅片的花篮100出入所述反应仓1；所述上电极机构包括固定设置的上电极气缸17、与上电极气缸17的气缸杆固定的上电极横梁板18、悬挂设置在所述上电极横梁板18两端的两个上电极拉杆22以及固定设置在两所述上电极拉杆22下端的上电极组件23，所述上电极组件23位于所述反应仓1内，所述上电极拉杆22通过反应仓1顶部的孔与上电极组件23连接，所述上电极拉杆22上端穿设在所述上电极本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片电注入退火装置，其特征在于，其包括：反应仓（1），其左右两侧设置有能够开合供载有硅片的花篮出入的仓门（15）；输送机构，用于支撑和传送载有硅片的花篮出入所述反应仓（1）；上电极机构，其包括固定设置的上电极气缸（17）、与上电极气缸（17）的气缸杆固定的上电极横梁板（18）、悬挂设置在所述上电极横梁板（18）两端的两个上电极拉杆（22）以及固定设置在两所述上电极拉杆（22）下端的上电极组件（23），所述上电极组件（23）位于所述反应仓（1）内，所述上电极拉杆（22）通过反应仓（1）顶部的孔与上电极组件（23）连接，所述上电极拉杆（22）上端穿设在所述上电极横梁板（18）上，上电极拉杆（22）上端通过螺母活动吊挂在上电极横梁板（18）上；下电极机构，其包括固定设置的下电极气缸（24）以及与所述下电极气缸（24）的气缸杆固定连接的下电极组件（25），所述下电极组件（25）位于所述上电极组件（23）的正下方，下电极机构能够将花篮中的硅片顶起，使硅片被夹持在下电极机构和上电极机构之间进行电注入；直流电源（3），其分别连接所述上电极组件（23）和下电极组件（25）；风冷机构，其包括设置在所述反应仓（1）前后两侧的壁板上的吹风阀（2）及设置在所述反应仓（1）顶部的排风管（19）。...

【技术特征摘要】
1.一种硅片电注入退火装置，其特征在于，其包括：反应仓（1），其左右两侧设置有能够开合供载有硅片的花篮出入的仓门（15）；输送机构，用于支撑和传送载有硅片的花篮出入所述反应仓（1）；上电极机构，其包括固定设置的上电极气缸（17）、与上电极气缸（17）的气缸杆固定的上电极横梁板（18）、悬挂设置在所述上电极横梁板（18）两端的两个上电极拉杆（22）以及固定设置在两所述上电极拉杆（22）下端的上电极组件（23），所述上电极组件（23）位于所述反应仓（1）内，所述上电极拉杆（22）通过反应仓（1）顶部的孔与上电极组件（23）连接，所述上电极拉杆（22）上端穿设在所述上电极横梁板（18）上，上电极拉杆（22）上端通过螺母活动吊挂在上电极横梁板（18）上；下电极机构，其包括固定设置的下电极气缸（24）以及与所述下电极气缸（24）的气缸杆固定连接的下电极组件（25），所述下电极组件（25）位于所述上电极组件（23）的正下方，下电极机构能够将花篮中的硅片顶起，使硅片被夹持在下电极机构和上电极机构之间进行电注入；直流电源（3），其分别连接所述上电极组件（23）和下电极组件（25）；风冷机构，其包括设置在所述反应仓（1）前后两侧的壁板上的吹风阀（2）及设置在所述反应仓（1）顶部的排风管（19）。2.根据权利要求1所述的一种硅片电注入...

【专利技术属性】
技术研发人员：李润飞，赵京通，贾世涛，王宗江，李维琛，
申请(专利权)人：河北晶龙阳光设备有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13