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微型射流泵及其制备方法技术

技术编号:2183226 阅读:219 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了一种微型射流泵及其制备方法,泵体包括驱动结构和抽吸结构,驱动结构是由射流喷嘴和与之相连的驱动腔组成,驱动腔上设有驱动流体人口孔,抽吸结构包括抽吸入口端、抽吸流道和扩散出口,射流喷嘴位于扩散出口处,抽吸流道设在射流喷嘴的两侧,高压驱动气体或液体经过驱动流体人口孔进入驱动腔,在射流喷嘴出口处产生高速射流,同时在其边界处产生涡旋,涡旋卷吸抽吸流道内的流体进入射流,两种不同流速的混合流体共同流入扩散出口。微型射流泵的制备利用MEMS工艺设计,通过两张光刻版就可以实现,泵体材料的可选择范围大、易于和大多数微流体系统集成。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微型射流泵,泵体包括驱动结构和抽吸结构,其特征在于:驱动结构是由射流喷嘴和与之相连的驱动腔组成,抽吸结构包括抽吸入口端、抽吸流道和扩散出口,射流喷嘴位于扩散出口处,抽吸流道设在射流喷嘴的两侧,在驱动力作用下,驱动腔的射流喷嘴出口处会产生高速射流,同时在其边界处产生涡旋,涡旋卷吸抽吸流道内的流体进入射流,两种不同流速的混合流体共同流入扩散出口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张大成李修函于晓梅李婷王颖王阳元
申请(专利权)人:北京大学
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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