平板探测器制造技术

一种平板探测器。该平板探测器包括第一基板和第二基板。第一基板包括驱动电路，第二基板包括感光元件，第一基板与第二基板相对设置以对盒，驱动电路与感光元件电连接，以对感光元件进行驱动。该平板探测器不仅可以提升像素单元中光电二极管的填充率，扩大该平板探测器中像素单元的感光面积，还可以有效预防在使用过程中产生的静电及划伤，提升平板探测器的光电特性和良率。

Flat panel detector

【技术实现步骤摘要】
平板探测器
本公开的实施例涉及一种平板探测器。
技术介绍
近年来，X射线检测广泛应用于医疗、安全、无损检测以及科研等各个领域。目前，比较常见的X射线检测技术是20世纪90年代末出现的X射线数字照相(DigitalRadiography，DR)检测技术。X射线数字照相检测技术中使用了平板探测器(FlatPanelDetector，FPD)，其像元尺寸可小于0.1mm，因而其成像质量及分辨率几乎可与胶片照相系统媲美，同时还克服了胶片照相系统中的缺点，也为图像的计算机处理提供了方便。
技术实现思路
本公开至少一实施例提供一种平板探测器，包括第一基板和第二基板。所述第一基板包括驱动电路，所述第二基板包括感光元件，所述第一基板与所述第二基板相对设置以对盒，所述驱动电路与所述感光元件电连接，以对所述感光元件进行驱动。例如，本公开一实施例提供的平板探测器，还包括导电胶。所述导电胶设置在所述第一基板和所述第二基板之间以将二者对盒粘合。例如，在本公开一实施例提供的平板探测器中，所述驱动电路和所述感光元件在所述第一基板和所述第二基板彼此正对的方向上至少部分重叠。例如，在本公开一实施例提供的平板探测器中，所述第一基板还包括遮光层。所述遮光层覆盖在所述驱动电路的正上方，从而相对于所述驱动电路更接近所述第二基板。例如，在本公开一实施例提供的平板探测器中，所述第一基板还包括导电连接部。所述导电连接部与所述驱动电路电连接，设置在所述第一基板的表面且与所述感光元件电连接。例如，在本公开一实施例提供的平板探测器中，所述导电连接部包括金属电极、导电胶或导电隔垫物。例如，在本公开一实施例提供的平板探测器中，所述第一基板还包括第一钝化层。所述第一钝化层设置在所述导电连接部和所述驱动电路之间，所述第一钝化层包括开口区域，所述导电连接部设置在所述开口区域之中。例如，在本公开一实施例提供的平板探测器中，所述第一钝化层为平坦化层，以使得所述第一基板具有基本平坦的表面。例如，在本公开一实施例提供的平板探测器中，所述第二基板还包括衬底和形成在所述衬底上的透明电极层，所述感光元件设置在所述透明电极层远离所述衬底的一侧上且与之电连接。例如，在本公开一实施例提供的平板探测器中，所述第一基板包括第一衬底，所述第二基板包括第二衬底，所述第一衬底和所述第二衬底为玻璃或塑料。例如，在本公开一实施例提供的平板探测器中，所述感光元件包括光电二极管，所述光电二极管为PIN型光电二极管。例如，在本公开一实施例提供的平板探测器中，所述PIN型光电二极管的P型层、I型层和N型层在所述第二基板与所述第一基板相对的方向上依次层叠设置。例如，本公开一实施例提供的平板探测器，还包括扫描电路。所述扫描电路与所述驱动电路连接，且配置为提供扫描信号以控制所述驱动电路。例如，本公开一实施例提供的平板探测器，还包括电压读取电路。所述电压读取电路与所述驱动电路连接，且配置为通过所述驱动电路读取所述感光元件产生的电压信号。本公开至少一实施例还提供一种平板探测器的制作方法，包括：形成包括驱动电路的第一基板；形成包括感光元件的第二基板；将所述第一基板和所述第二基板相对设置以对盒，使得所述驱动电路和所述感光元件电连接。例如，本公开一实施例提供的制作方法，还包括：在所述第一基板和所述第二基板之间设置导电胶以将二者对盒粘合。例如，本公开一实施例提供的制作方法，还包括：在所述驱动电路的正上方覆盖遮光层，且在将所述第一基板和所述第二基板相对设置以对盒后，使得所述遮光层相对于所述驱动电路更接近所述第二基板。例如，本公开一实施例提供的制作方法，还包括：在所述驱动电路上形成包括开口区域的第一钝化层；在所述开口区域中形成导电连接部，以连接所述驱动电路和所述感光元件。例如，本公开一实施例提供的制作方法中，形成包括所述感光元件的第二基板包括：在所述第二基板的衬底上形成透明电极层，然后在所述透明电极层上形成所述感光元件。附图说明为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本公开的限制。图1A为一种平板探测器的电路示意图；图1B为一种平板探测器的结构示意图；图2为本公开一些实施例提供的一种平板探测器的结构示意图；图3为本公开一些实施例提供的另一种平板探测器的结构示意图；图4为本公开一些实施例提供的平板探测器中第一基板的结构示意图；图5为本公开一些实施例提供的平板探测器中第二基板的结构示意图；以及图6为本公开一些实施例提供的一种平板探测器的制作方法的流程图。具体实施方式为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。下面通过几个具体的实施例对本公开进行说明。为了保持本公开实施例的以下说明清楚且简明，可省略已知功能和已知部件的详细说明。当本公开实施例的任一部件在一个以上的附图中出现时，该部件在每个附图中由相同的参考标号表示。根据参与成像的光电子转换模式的不同，数字化X射线平板探测器可分为直接转换型(DirectDR)和间接转换型(IndirectDR)两种类型。图1A示出了间接转换型平板探测器的电路示意图。如图1A所示，间接转换型X射线平板探测器包括栅极驱动电路10、信号放大与读取电路101以及呈阵列排布的多个像素单元12。例如，在一个示例中，该多个像素单元12中的每个包括薄膜晶体管104、光电二极管106、存储电容以及由闪烁体(碘化铯)或荧光体(硫氧化钆)形成的X射线转换层(图中未示出)。例如，该存储电容可以单独提供，也可以由位于光电二极管106上下两侧的电极(例如，透明电极和薄膜晶体管T的第二极，将在后面分别进行详细地介绍)形成，即形成反偏的光电二极管电容。例如，在另一个示例中，该像素单元还可以包括复位晶体管和开关晶体管(图中未示出)，与上述薄膜晶体管104和光电二极管106连接。例如，复位晶体管由复位信号控制其工作在开关状态，且在其导通时，将开关晶体管的栅极的电压控制在截止电压；开关晶体管是一个源极跟随器，工作在线性状态，例如，其栅极还和光电二极管的一端连接，以使得其源极输出电压跟随着光电二极管上的电压变化，其增益略小于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平板探测器，包括第一基板和第二基板；其特征在于，所述第一基板包括驱动电路，所述第二基板包括感光元件，所述第一基板与所述第二基板相对设置以对盒，所述驱动电路与所述感光元件电连接，以对所述感光元件进行驱动。

【技术特征摘要】
1.一种平板探测器，包括第一基板和第二基板；其特征在于，所述第一基板包括驱动电路，所述第二基板包括感光元件，所述第一基板与所述第二基板相对设置以对盒，所述驱动电路与所述感光元件电连接，以对所述感光元件进行驱动。2.根据权利要求1所述的平板探测器，还包括导电胶，其特征在于，所述导电胶设置在所述第一基板和所述第二基板之间以将二者对盒粘合。3.根据权利要求1或2所述的平板探测器，其特征在于，所述驱动电路和所述感光元件在所述第一基板和所述第二基板彼此正对的方向上至少部分重叠。4.根据权利要求1或2所述的平板探测器，其特征在于，所述第一基板还包括遮光层，其中，所述遮光层覆盖在所述驱动电路的正上方，从而相对于所述驱动电路更接近所述第二基板。5.根据权利要求1或2所述的平板探测器，其特征在于，所述第一基板还包括导电连接部，所述导电连接部与所述驱动电路电连接，设置在所述第一基板的表面且与所述感光元件电连接。6.根据权利要求5所述的平板探测器，其特征在于，所述导电连接部包括金属电极、导电胶或导电隔垫物。7.根据权利要求5所述的平板探测器，其特征在于，所述第一基板还包括第一钝化层，所述第一钝化层设置在所述导电连接部和所述驱动电路之间，所述第一钝化层包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯学成，林家强，车春城，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11