气体产生装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于，提供一种实现装置整体的结构紧凑化、而且安装了多个气体产生器单元的气体产生装置。本发明专利技术的气体产生装置具有：6台气体产生器单元(4a～4f)，各个气体产生器单元具有气体产生器(43)；一个单位的多交流电源部(3001)，对6台气体产生器单元(4a～4f)供给6个高频交流电压；一个单位的气体控制部(3003)，控制6台气体产生器单元(4a～4f)的原料气体及输出气体；以及一个单位的控制操作部构成部(3002)，执行交流电力控制动作，使得分别供给彼此独立的具有期望的电量的6种高频交流电压。并且，6台气体产生器单元(4a～4f)、一个单位的多交流电源部(3001)、气体控制部(3003)及控制操作部构成部(3002)被设置成一体。

Gas Generator

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体产生装置
本专利技术涉及安装了多个气体产生器单元的气体产生装置。
技术介绍
在半导体制造装置中，在对晶片面进行烘干清洗或蚀刻处理或抗蚀剂剥离处理或绝缘薄膜处理时，采用利用放电的所产生的气体浓度、流量不同的气体产生器等各种各样的气体产生器，在多个半导体制造工序中需要多个气体产生器。考虑对以半导体制造处理工序等为代表的需要臭氧等气体的供给的多气体处理工序供给多种气体的情况。在这种情况下，通常可以考虑构建气体供给系统，其对应多气体处理工序设置分别包括气体产生器、气体产生用电源、流量控制器(MFC)等的多个气体产生机构，各气体产生机构独立进行应对。即，气体供给系统为了应对多气体处理工序，需要分别设置多个气体产生器、气体产生用电源、通过控制原料气体流量的MFC等供给至气体产生器的原料气体的配管系统、针对输出从气体产生器产生的气体的产生气体的浓度检测器、具有流量计的输出气体配管系统等。为了构建与这样的多气体处理工序对应的基于放电等的气体产生系统，需要非常庞大的空间，还要对多气体处理工序进行统一控制，在构建供给所产生的气体的系统的情况下，将成为更大的系统结构，存在成本方面或配置空间等的问题，在实际应用上具有诸多不利。以往，对应多气体处理工序的第一代的气体产生装置，通过安装多台由气体产生器单元、气体产生用电源单元、气体控制单元及电气控制单元构成的单元组来实现。另外，气体控制单元是将经由控制原料气体流量的MFC等供给至气体产生器的原料气体的配管系统、针对从气体产生单元内的气体产生器产生的气体即输出气体的浓度检测器、具有流量计的输出气体配管系统等一体化得到的单元。电气控制单元是控制气体控制单元及输出气体的浓度或气体量的单元。这样的第一代的气体产生装置需要设置多个上述的单元组来构成，装置结构变大，因而难以增多单元组的数量。在对应多气体处理工序的第二代的气体产生装置中，作为针对多气体处理工序的气体供给方式有臭氧气体供给，作为安装了多台气体产生器单元的气体产生装置，例如可以举出专利文献1公开的臭氧系统、专利文献2公开的臭氧气体供给系统。例如，在专利文献1公开的臭氧系统中采用如下方式的臭氧气体供给系统，即，增大一套臭氧产生器的容量，将输出臭氧气体的配管系统分离成多个配管，向多臭氧处理装置步进地输出针对各自的规定流量、规定浓度的臭氧气体。另外，在专利文献2公开的臭氧气体供给系统中采用如下结构，在一套的臭氧产生单元中安装气体产生器、气体产生用电源、经由控制原料气体流量的MFC等供给至气体产生器的原料气体的配管系统、针对从气体产生器产生的气体即输出气体的浓度检测器、流量计等，将由此而一体化的臭氧产生单元安装多段。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2009－500855号公报(图2、图3、图5)专利文献2：国际公开第2011/065087号
技术实现思路
专利技术要解决的问题上述的第一代的气体产生装置将气体供给所需要的气体产生部、使产生气体用的电源供给部、气体供给输出控制部、及管理装置整体的电气控制部分别单元化，构成一个单位的气体产生机构。如果将这样多个按照功能而单元化的装置汇总成为一个单位的气体产生机构，则为了安装多台气体产生机构，输出独立规格的气体，需要安装多台按照各种功能而划分的单元，存在由多个气体产生机构构成的气体产生装置的空间增大等问题。作为上述问题的一个解决对策，可以举出第二代的气体产生装置(其一)即专利文献1所公开的臭氧系统。专利文献1所公开的臭氧系统采用如上所述的结构，即，输出从一个气体产生器产生的气体，使进行输出的配管系统分配配管。因此，必须以所产生的气体流量、所产生的气体浓度固定的状态供给向多气体处理装置，仅有一个对各气体处理装置的处理气体供给条件，且是共同的，存在不能作为对应的气体处理装置用而单独地可变控制所产生的气体流量或浓度的问题。另外，在专利文献1所公开的臭氧系统中，将从一个气体产生器产生的气体供给至多气体处理装置，因而在气体产生器故障时，存在需要停止对供给对象的所有气体处理装置的气体供给等，与气体供给相关的可靠性较低的问题。作为上述问题的另一个解决对策，可以举出第二代的气体产生装置(其一)即专利文献2所公开的臭氧气体供给系统。臭氧气体供给系统是按照以上所述构成的，安装了多段一体化的臭氧产生单元，因而能够对多个产生的气体的处理装置分别单独地可变控制产生的气体流量、浓度。但是，多个臭氧产生单元分别具有全部产生臭氧所需要的周边设备的功能，因而存在需要对每个单元设置周边设备，不能为了装置整体的结构紧凑化而削减周边设备数目，制造成本等存在界限，臭氧产生单元各自的重量变重，维修保养花费时间等问题。本专利技术的目的在于，解决如上所述的问题，提供一种实现装置整体的结构紧凑化、而且安装了多个气体产生器单元的气体产生装置。用于解决问题的手段本专利技术的气体产生装置具有多个气体产生器单元，各个气体产生器单元具有产生输出气体的气体产生器，所述气体产生装置具有：多交流电源部，在所述多个气体产生器单元之间共用，对所述多个气体产生器单元供给多个交流电压；以及气体控制部，在所述多个气体产生器单元之间共用，控制由所述多个气体产生器单元供给的原料气体以及由所述多个气体产生器单元产生的输出气体，所述气体控制部包括：多个质量流控制器，与所述多个气体产生器单元对应而设置，分别控制输入对应的气体产生器单元的原料气体的流量即原料气体流量；多个自动压力控制器，与所述多个气体产生器单元对应而设置，分别控制对应的气体产生器单元的气体产生器内的压力即内部压力；以及多个气体浓度计，与所述多个气体产生器单元对应而设置，分别检测对应的气体产生器单元的气体产生器输出的输出气体的浓度作为检测浓度，所述气体产生装置还具有执行针对所述多交流电源部的交流电力控制动作的交流电源控制部，所述交流电力控制动作包括对于所述多个交流电压，至少根据由对应的气体浓度计检测出的检测浓度控制对应的交流电压的电量的动作，所述多个气体产生器单元、所述多交流电源部、所述气体控制部及所述交流电源控制部被设置成一体。专利技术效果本专利技术的气体产生装置对多个气体产生器单元，将分别为一个单位的多交流电源部、气体控制部及交流电源控制部构成为一体，因而能够实现电源部的共用化和气体控制部的集成配置，实现装置整体的结构紧凑化，并且安装多个气体产生器单元。本专利技术的目的、特征、方面和优点，根据下面的详细说明和附图将更加明确。附图说明图1是示意地表示本专利技术的实施方式1的气体产生装置的电源气体控制单元的内部结构的说明图。图2是示意地表示实施方式1的气体产生装置的多个气体产生器单元的结构的说明图。图3是表示从正面观察实施方式1的气体产生装置的各构成部分的一配置例的概要的说明图。图4是表示从实施方式1的气体产生装置的背面观察的各构成部分及配管的一配置例的概要的说明图。图5是示意地表示本专利技术的实施方式2的气体产生装置的电源气体控制单元的内部结构的说明图。图6是表示从实施方式2的气体产生装置的背面观察的各构成部分及配管的一配置例的概要的说明图。图7是示意地表示本专利技术的实施方式3的气体产生装置的电源气体控制单元的内部结构的说明图。图8是表示从实施方式3的气体产生装置的背面观察的各构成部分及配管的一配置例的概要的说明图。具体实施方式&l本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体产生装置，具有多个气体产生器单元(4a～4f)，各个气体产生器单元具有产生输出气体的气体产生器(43)，其特征在于，所述气体产生装置具有：多交流电源部(3001、3001C)，在所述多个气体产生器单元之间共用，对所述多个气体产生器单元供给多个交流电压；以及气体控制部(3003、3003B、3003C)，在所述多个气体产生器单元之间共用，控制由所述多个气体产生器单元供给的原料气体以及由所述多个气体产生器单元产生的输出气体，所述气体控制部包括：多个质量流控制器即MFC(38a～38f)，与所述多个气体产生器单元对应而设置，分别控制输入对应的气体产生器单元的原料气体的流量即原料气体流量；多个自动压力控制器即APC(301a～301f)，与所述多个气体产生器单元对应而设置，分别控制对应的气体产生器单元的气体产生器内的压力即内部压力；以及多个气体浓度计(39a～39f)，与所述多个气体产生器单元对应而设置，分别检测对应的气体产生器单元的气体产生器输出的输出气体的浓度作为检测浓度，所述气体产生装置还具有执行针对所述多交流电源部的交流电力控制动作的交流电源控制部(3002、3002C)，所述交流电力控制动作包括对于所述多个交流电压，至少根据由对应的气体浓度计检测出的检测浓度控制对应的交流电压的电量的动作，所述多个气体产生器单元、所述多交流电源部、所述气体控制部及所述交流电源控制部被设置成一体。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种气体产生装置，具有多个气体产生器单元(4a～4f)，各个气体产生器单元具有产生输出气体的气体产生器(43)，其特征在于，所述气体产生装置具有：多交流电源部(3001、3001C)，在所述多个气体产生器单元之间共用，对所述多个气体产生器单元供给多个交流电压；以及气体控制部(3003、3003B、3003C)，在所述多个气体产生器单元之间共用，控制由所述多个气体产生器单元供给的原料气体以及由所述多个气体产生器单元产生的输出气体，所述气体控制部包括：多个质量流控制器即MFC(38a～38f)，与所述多个气体产生器单元对应而设置，分别控制输入对应的气体产生器单元的原料气体的流量即原料气体流量；多个自动压力控制器即APC(301a～301f)，与所述多个气体产生器单元对应而设置，分别控制对应的气体产生器单元的气体产生器内的压力即内部压力；以及多个气体浓度计(39a～39f)，与所述多个气体产生器单元对应而设置，分别检测对应的气体产生器单元的气体产生器输出的输出气体的浓度作为检测浓度，所述气体产生装置还具有执行针对所述多交流电源部的交流电力控制动作的交流电源控制部(3002、3002C)，所述交流电力控制动作包括对于所述多个交流电压，至少根据由对应的气体浓度计检测出的检测浓度控制对应的交流电压的电量的动作，所述多个气体产生器单元、所述多交流电源部、所述气体控制部及所述交流电源控制部被设置成一体。2.根据权利要求1所述的气体产生装置，其特征在于，所述多个MFC分别检测原料气体流量作为检测气体流量，所述多个APC分别检测对应的气体产生器单元的输出侧的压力作为检测压力，所述交流电力控制动作除根据由对应的MFC检测出的检测气体流量外，还根据由对应的气体浓度计检测出的检测浓度、以及由对应的APC检测出的检测压力，控制对应的交流电压的电量。3.根据权利要求1所述的气体产生装置，其特征在于，所述原料气体包括氧气，所述输出气体包括臭氧气体，所述气体产生器是从氧气产生臭氧气体的臭氧产生器，所述多个气体产生器单元是多个臭氧气体产生器单元。4.根据权利要求1所述的气体产生...

【专利技术属性】
技术研发人员：田畑要一郎，小野祐司，佐藤贵翔，
申请(专利权)人：东芝三菱电机产业系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP