玻璃基板的烘烤方法和烘烤设备技术

本发明专利技术涉及一种玻璃基板的烘烤方法和烘烤设备，其中方法包括：将玻璃基板置于热板上进行烘烤加热；在开始进行烘烤加热后，向所述玻璃基板边缘区域吹送气体，使得在所述玻璃基板边缘产生朝向所述热板的压力；在向所述玻璃基板边缘区域吹送设定时间的气体后，停止对所述玻璃基板吹送气体；保持对所述玻璃基板进行烘烤加热，直至完成对所述玻璃基板的烘烤。上述方法，在对玻璃基板进行烘烤加热的过程中，向玻璃基板的边缘区域吹气，以在所述玻璃基板边缘产生朝向所述热板的压力，使得玻璃基板在热板上平铺受热，避免烘烤过程中玻璃基板边缘翘起，导致玻璃基板上墨水材料成膜均匀性不佳的问题，提升玻璃基板上墨水材料成膜的均匀性。

Baking method and equipment for glass substrates

【技术实现步骤摘要】
玻璃基板的烘烤方法和烘烤设备
本专利技术涉及器件制备
，特别是涉及一种玻璃基板的烘烤方法和烘烤设备。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode,OLED)器件已被广泛应用于显示设备中。在OLED器件的制备中采用喷墨打印工艺，整个制备工艺流程参见图1所示，玻璃基板经过清洗等前处理后，将功能层墨水打印在玻璃基板上后，进行减压干燥工艺，之后再进行烘烤工艺，目的是进行一步去除墨水中溶剂，对功能材料固态形貌进行修饰。OLED器件效率的影响因素中，各功能层材料的成膜均匀性是很重要的考察点。按照OLED器件制作工艺中对墨水材料成膜的均匀性的影响，主要为三个工艺步骤：一是喷墨打印工艺，其墨滴体积，滴落角度控制的精确性对像素坑内墨水材料的成膜的均匀性有重要影响；二是减压干燥工艺，在墨水中的溶剂成分挥发速率以及腔体内的气压控制等对墨水材料成膜的均匀性也有重要影响。三是烘烤工艺，针对玻璃基板加热的均匀性对墨水材料的均匀成膜有重要影响。目前的工艺程序中，在进行烘烤工艺时，一般是使用升降平台承接玻璃基板，然后将玻璃基板放置在热板上，对玻璃基板进行加热。参见图2所示，在正常状态下，烘烤工艺中玻璃基板在热板上平整的放置进行加热。但目前的技术中，参见图3所示，玻璃基板与热板在刚接触时，因为温度差异导致玻璃基板四周边缘容易发生翘曲。如果像这样的情况发生，那么最终在烘烤工艺进行中，玻璃基板中心区域与玻璃基板边缘区域的加热温度均匀性不好，导致这两个区域内墨水材料的成膜均匀性有差异，参见图4所示，通常会导致OLED器件最终的显示效果呈现为，玻璃基板中心区域亮度较亮，玻璃基板边缘区域亮度较暗。这样的OLED器件就不能作为一个正常的显示器件去使用，导致OLED器件的制备效率和品质下降。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够避免玻璃基板在烘烤过程中边缘发生翘曲，提升玻璃基板烘烤的效果的玻璃基板的烘烤方法和烘烤设备。一种玻璃基板的烘烤方法，包括如下步骤：将玻璃基板置于热板上进行烘烤加热；在开始进行烘烤加热后，向所述玻璃基板边缘区域吹送气体，使得在所述玻璃基板边缘产生朝向所述热板的压力；在向所述玻璃基板边缘区域吹送设定时间的气体后，停止对所述玻璃基板吹送气体；保持对所述玻璃基板进行烘烤加热，直至完成对所述玻璃基板的烘烤。上述玻璃基板的烘烤方法，在对玻璃基板进行烘烤加热的过程中，向玻璃基板的边缘区域吹气，以在所述玻璃基板边缘产生朝向所述热板的压力，使得玻璃基板在热板上平铺受热，避免在玻璃基板烘烤过程中，由于玻璃基板与热板接触的温度差异导致的玻璃基板边缘翘起，玻璃基板受热不均导致玻璃基板上墨水材料成膜均匀性不佳的问题，提升玻璃基板上墨水材料成膜的均匀性，此外，由于采用非接触式的吹气方式向玻璃板边缘施力，还可以避免接触式的施力方式可能导致加热过程中玻璃基板在接触位置发生斑纹的问题，从而有效提升烘烤得到的玻璃基板的品质，继而提升玻璃基板的烘烤效率。在一个实施例中，所述在开始进行烘烤加热后，向所述玻璃基板边缘区域吹送气体包括：在开始进行烘烤加热后，控制吹气装置移动至玻璃基板上方距离所述玻璃基板表面第一设定间距的位置，向所述玻璃基板边缘区域吹送气体；所述在向所述玻璃基板边缘区域吹送设定时间的气体后，停止对所述玻璃基板吹送气体包括：在所述吹气装置向所述玻璃基板吹送设定时间的气体后，控制所述吹气装置停止对所述玻璃基板吹送气体。上述实施例的技术方案，通过控制吹气装置对玻璃基板边缘区域进行吹气，实现方式简单，成本低，且通过对吹气装置的控制，可以方便地调控对玻璃基板边缘吹气的吹气距离、吹气气压和吹气时长等条件，便于针对不同器件的玻璃基板加热情况需求调控不同的吹气条件，提升对玻璃基板烘烤加热时的吹气调控的效果。进一步地，在一个实施例中，所述的控制所述吹气装置停止对所述玻璃基板吹送气体之后，还包括：控制所述吹气装置移动至所述玻璃基板上方距离所述玻璃基板表面第二设定间距之外的位置；其中，所述第二设定间距大于第一设定间距。上述实施例的技术方案，在吹气装置完成对所述玻璃基板边缘区域的吹气后，即控制所述吹气装置移动至所述玻璃基板上方距离所述玻璃基板表面第二设定间距之外的位置，以使得吹气装置远离热板上的玻璃基板，避免在加热过程中吹气装置对玻璃基板的加热造成影响，保证玻璃基板的烘烤效果，同时避免热板散发的热量对吹气装置产生影响，提升吹气装置的使用寿命。在一个实施例中，所述向所述玻璃基板边缘吹送气体包括：根据所述玻璃基板的尺寸，调控所述吹气装置的吹气区域尺寸与所述玻璃基板的边缘区域的尺寸匹配，向所述玻璃基板的边缘区域吹送气体。上述实施例的技术方案，通过调控吹气装置的吹气区域尺寸，与玻璃基板的边缘区域的尺寸匹配，以向玻璃基板的边缘区域吹送气体，从而可以适应不同尺寸的玻璃基板在烘烤过程中的边缘吹气的尺寸需求。在一个实施例中，所述吹气装置上分区域布置有吹气孔，各个区域的所述吹气孔独立吹气；所述根据所述玻璃基板的尺寸，调控所述吹气装置的吹气区域尺寸与所述玻璃基板的边缘区域的尺寸匹配，向所述玻璃基板的边缘区域吹送气体包括：根据所述玻璃基板的尺寸，控制所述吹气装置上与所述玻璃基板的边缘区域位置对应的区域的吹气孔向所述玻璃基板的边缘区域吹送气体。上述实施例的技术方案，通过在吹气装置上划分多个区域布置的吹气孔，其中各个区域的吹气孔可以独立进行吹气，可以根据玻璃基板的尺寸，控制吹气装置上与所述玻璃基板的边缘区域位置匹配的区域的吹气孔吹送气体，其它区域的吹气孔则可以不吹气，从而实现调控吹气装置的吹气区域尺寸与玻璃基板的边缘区域尺寸匹配。在另一个实施例中，所述吹气装置包括由四个条形吹气条围成的方形吹气框，其中各个吹气条为可伸缩结构；所述根据所述玻璃基板的尺寸，调控所述吹气装置的吹气区域尺寸与所述玻璃基板的边缘区域的尺寸匹配，向所述玻璃基板的边缘区域吹送气体包括：根据所述玻璃基板的尺寸，控制所述吹气装置的吹气条伸缩至与所述玻璃基板的边缘区域匹配的尺寸，向所述玻璃基板的边缘区域吹送气体。上述实施例的技术方案，通过设置吹气装置结构包括四个可伸缩的条形吹气条围成的方形吹气框，可以控制吹气装置的吹气条伸缩调整长度至与所述玻璃基板的边缘区域匹配的尺寸，向所述玻璃基板的边缘区域吹送气体，从而实现调控吹气装置的吹气区域尺寸与玻璃基板的边缘区域尺寸匹配。在又一个实施例中，所述吹气装置包括由四个条形吹气条围成的方形吹气框，所述热板上方设置有相互垂直的第一导轨段和第二导轨段，所述第一导轨段和第二导轨段分别和与其垂直的各个吹气条滑动连接，所述各个吹气条可沿着与其滑动连接的所述导轨段滑动；所述根据所述玻璃基板的尺寸，调控所述吹气装置的吹气区域尺寸与所述玻璃基板的边缘区域的尺寸匹配，向所述玻璃基板的边缘区域吹送气体包括：根据所述玻璃基板的尺寸，控制所述吹气装置的各个吹气条分别滑动至对应的所述玻璃基板的边缘区域上方，向所述玻璃基板的边缘区域吹送气体。上述实施例的技术方案，吹气装置包括由四个条形吹气条围成的方形吹气框，通过设置的位于热板上的导轨与各个吹气框滑动连接，可以控制所述吹气装置的各个吹气条分别滑动至对应的所述玻璃基板的边缘区域上方，与玻璃基板的边缘区域尺寸匹配，向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃基板的烘烤方法，其特征在于，包括：将玻璃基板置于热板上进行烘烤加热；在开始进行烘烤加热后，向所述玻璃基板边缘区域吹送气体，使得在所述玻璃基板边缘产生朝向所述热板的压力；在向所述玻璃基板边缘区域吹送设定时间的气体后，停止对所述玻璃基板吹送气体；保持对所述玻璃基板进行烘烤加热，直至完成对所述玻璃基板的烘烤。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板的烘烤方法，其特征在于，包括：将玻璃基板置于热板上进行烘烤加热；在开始进行烘烤加热后，向所述玻璃基板边缘区域吹送气体，使得在所述玻璃基板边缘产生朝向所述热板的压力；在向所述玻璃基板边缘区域吹送设定时间的气体后，停止对所述玻璃基板吹送气体；保持对所述玻璃基板进行烘烤加热，直至完成对所述玻璃基板的烘烤。2.根据权利要求1所述的玻璃基板的烘烤方法，其特征在于，所述在开始进行烘烤加热后，向所述玻璃基板边缘区域吹送气体包括：在开始进行烘烤加热后，控制吹气装置移动至玻璃基板上方距离所述玻璃基板表面第一设定间距的位置，向所述玻璃基板边缘区域吹送气体；在向所述玻璃基板边缘区域吹送设定时间的气体后，停止对所述玻璃基板吹送气体包括：在所述吹气装置向所述玻璃基板吹送设定时间的气体后，控制所述吹气装置停止对所述玻璃基板吹送气体。3.根据权利要求2所述的玻璃基板的烘烤方法，其特征在于，所述控制所述吹气装置停止对所述玻璃基板吹送气体之后，还包括：控制所述吹气装置移动至所述玻璃基板上方距离所述玻璃基板表面第二设定间距之外的位置；其中，所述第二设定间距大于第一设定间距。4.根据权利要求2或3所述的玻璃基板的烘烤方法，其特征在于，所述向所述玻璃基板边缘区域吹送气体包括：根据所述玻璃基板的尺寸，调控吹气装置的吹气区域尺寸与所述玻璃基板的边缘区域的尺寸匹配，向所述玻璃基板的边缘区域吹送气体。5.根据权利要求4所述的玻璃基板的烘烤方法，其特征在于，所述吹气装置上分区域布置有吹气孔，各个区域的所述吹气孔独立吹气；所述根据所述玻璃基板的尺寸，调控所述吹气装置的吹气区域尺寸与所述玻璃基板的边缘区域的尺寸匹配，向所述玻璃基板的边缘区域吹送气体包括：根据所述玻璃基板的尺寸，控制所述吹气装置上与所述玻璃基板的边缘区域位置对应的区域的吹气孔向所述玻璃基板的边缘区域吹送气体。6.根据权利要求4所述的玻璃基板的烘烤方法，其特征在于，所述吹气装置包括由四个条形吹气条围成的方形吹气框，其中各个吹气条为可伸缩结构；所述根据所述玻璃基板的尺寸，调控所述吹气装置的吹气区域尺寸与所述玻璃基板的边缘区域的尺寸匹配，向所述玻璃基板的边缘区域吹送气体包括：根据所述玻璃基板的尺寸，控制所述吹气装置的吹气条伸缩至与所述玻璃基板的边缘区域匹配的尺寸，向所...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳开郎，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44