一种机械手制造技术

本实用新型专利技术公开一种机械手，用于输送晶片，所述机械手包括导轨、机械手指、机械手臂以及滑块，导轨固定设置于机架上；机械手指用于持取所述晶片，机械手臂可滑动地设置于所述导轨上，所述机械手臂包括重心区结构，所述重心区结构具有首端和尾端，所述首端固定设置有用于与所述机械手指连接的悬臂梁，所述尾端设置有配重；滑块与所述导轨配合，所述滑块设置于所述重心区结构，该机械手结构简单，成本低廉。

A kind of manipulator

【技术实现步骤摘要】
一种机械手
本技术涉及一种晶片传输
，具体而言，涉及一种用于传输晶片的机械手。
技术介绍
在科技飞速发展，半导体行业日见突出重要的今天，半导体的自动化及要求也越来越高，半导体行业中很多设备都用到了机械手传送晶片，然而传送晶片的机械手有多种多样，机械手的形状造型及设计结构也千差万别，多为功能单一结构复杂的机械手，其子结构多为成本高昂的加工零件。传统运输晶圆的手指一般也只能载运一种或两种标准规格尺寸的晶片。对于用户来说，成本高且应用范围小，带来诸多不便。
技术实现思路
本技术的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种机械手。为实现上述技术目的，本技术采用如下技术方案：根据本技术的一具体实施方式，提供一种机械手，用于输送晶片，所述机械手包括导轨、机械手指、机械手臂以及滑块，导轨固定设置于机架上；机械手指用于持取所述晶片，机械手臂可滑动地设置于所述导轨上，所述机械手臂包括重心区结构，所述重心区结构具有首端和尾端，所述首端固定设置有用于与所述机械手指连接的悬臂梁，所述尾端设置有配重；滑块与所述导轨配合，所述滑块设置于所述重心区结构。根据本技术的一具体实施方式，其中所述机械手的重心在所述重心区结构的宽度方向的中心线上，并且距离首尾方向的中心线的距离为e，所述机械手所受重力为G，G*∣e∣＜R，20kg.mm≤R≤100kg.mm。根据本技术的一具体实施方式，其中所述机械手还包括设置于所述机械手指上的托盘，未放入所述托盘情况下，所述机械手的重心位于所述首尾方向的中心线的一侧，且靠近所述重心区结构的尾端，在放入所述托盘的情况下，所述机械手的重心将转移到所述首尾方向的中心线的另一侧，重力为G+g，并且距离首尾方向的中心线的距离为e2，其中G*∣e∣≈(G+g)*∣e2∣。根据本技术的一具体实施方式，其中所述机械手臂的首端具有用于连接所述机械手指的安装部，所述机械手指设置于所述安装部，所述机械手指的顶面不突出于所述机械手臂的顶面；或者所述机械手指的底面不突出于所述机械手臂的底面。根据本技术的一具体实施方式，其中所述安装部的顶面由所述机械手臂的顶面向内凹陷形成，以使得所述机械手臂的首端呈阶梯状。根据本技术的一具体实施方式，其中所述机械手还包括驱动块和压块，所述压块固定于所述机械手臂上，且所述压块和所述机械手臂之间设置有槽，所述驱动块设置于所述槽内。根据本技术的一具体实施方式，其中所述机械手指包括手指本体和定位柱，其中所述手指本体具有多个限位孔，至少3个所述限位孔位于所述晶片的边界位置；所述定位柱可拆卸地设置于所述限位孔内，以使所述晶片卡设于所述定位柱上。根据本技术的一具体实施方式，其中所述机械手指或者所述机械手臂两者中的一者上设置固定孔，所述机械手指或者所述机械手臂两者中的另一者为固定柱，所述固定柱与所述固定孔配合以将所述机械手指固定于所述机械手臂上。根据本技术的一具体实施方式，其中所述固定孔为长孔，以及/或者所述固定柱为横截面为圆形的柱体。根据本技术的一具体实施方式，其中所述机械手指上还具有减重孔；以及/或者所述机械手臂上还具有减重孔。由上述技术方案可知，本技术的机械手的优点和积极效果在于：本技术提供的机械手结构简单，成本低廉。附图说明图1是本技术的一具体实施方式提供的机械手的结构图。图2是图1中的机械手的处于非工作状态的重心分布图。图3是图1中的机械手放置有托盘后的重心分布图。图4是图1中的机械手臂的结构图。图5是图1中的机械手的结构图，尤其显示驱动块和压块。图6是图1中的机械手指爆炸图。图7是图6中的机械手指的主视图。图8是图1中的机械手处于使用状态的另一结构图。附图标记说明100、机械手指；101、定位柱；102、限位孔；103、固定孔；104、备用柱孔；105、减重孔；106、晶片；107、固定柱；108、手指本体；200、机械手臂；201、重心区结构；202、悬臂梁；203、安装部；204、滑块安装孔；205、驱动块安装孔；206、配重区结构；300、滑块；400、配重；500、导轨；600、托盘；700、驱动块；800、压块。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本技术将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。参照图1至图8，根据本技术的一具体实施方式，其中一种机械手，用于输送晶片106，机械手可以包括导轨500、机械手指100、机械手臂200以及滑块300，其中导轨500可以固定设置于机架上；机械手指100可以用于持取晶片106；机械手臂200可滑动地设置于导轨500上，机械手臂200可以包括重心区结构201，重心区结构201可以具有首端和尾端，首端可以固定设置有用于与机械手指100连接的悬臂梁202，尾端可以设置有配重400；滑块300可以与导轨500配合，滑块300可以设置于重心区结构201。本技术提供的机械手结构简单，成本低廉。参照图2，根据本技术的一具体实施方式，其中机械手的重心在重心区结构201的宽度方向的中心线上，并且距离首尾方向的中心线的距离为e，机械手所受重力为G，G*∣e∣＜R，R可以为20～100kg.mm中的某一值，即20kg.mm≤R≤100kg.mm可以根据实际测试获得。固定有滑块300的机械手臂200可以带着机械手指100沿导轨500滑动，因此机械手臂200、机械手指100、滑块300可以称为运动体。运动体的重心位置可以取决于配重400、机械手指100以及机械手臂200的共同作用。重心的理想位置可以在重心区结构201的宽度方向的中心线X和首尾方向的中心线Y的交点处，重心的实际位置可以落在宽度方向的中心线X上，可以在首尾方向的中心线Y的两侧，取重心的实际位置到首尾方向的中心线Y的距离为e，满足G*∣e∣＜R，滑块300可以在导轨500上来回平稳运行，如此可以延长滑块300的使用寿命。参照图3，根据本技术的一具体实施方式，其中机械手还可以包括设置于机械手指100上的托盘600，未放入托盘600的情况下，机械手的重心位置可以参照图2，其中重心位置可以在首尾方向的中心线Y的一侧，且靠近重心区结构201的尾端，如图2所示，可以位于首尾方向的中心线Y的左侧。在放入托盘600的情况下，机械手的重心可以转移到首尾方向的中心线Y的另一侧，即可以位于首尾方向的中心线Y的右侧，托盘600的重力可以为g，在托盘600放置于机械手臂200上后，机械手的重力为可以G+g，并且距离首尾方向的中心线Y的距离为可以e2，其中G*∣e∣≈(G+g)*∣e2∣。根据本技术的一具体实施方式，其中托盘600可以采用陶瓷结构制成，但不以此为限，可以根据实际需要选择托盘600的材料。参照图4，根据本技术的一具体实施方式，其中机械手臂200的首端可以具有用于连接机械手指100的安装部203，机械手指100可以设置于安装部203，并且安装完成后，机械手指100的顶面不突出于机械手臂200的顶面；或本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机械手，用于输送晶片(106)，其特征在于，包括：导轨(500)，固定设置于机架上；机械手指(100)；机械手臂(200)，可滑动地设置于所述导轨(500)上，所述机械手臂(200)包括重心区结构(201)，所述重心区结构(201)具有首端和尾端，所述首端固定设置有用于与所述机械手指(100)连接的悬臂梁(202)，所述尾端设置有配重(400)；以及滑块(300)，与所述导轨(500)配合，所述滑块(300)设置于所述重心区结构(201)。

【技术特征摘要】
1.一种机械手，用于输送晶片(106)，其特征在于，包括：导轨(500)，固定设置于机架上；机械手指(100)；机械手臂(200)，可滑动地设置于所述导轨(500)上，所述机械手臂(200)包括重心区结构(201)，所述重心区结构(201)具有首端和尾端，所述首端固定设置有用于与所述机械手指(100)连接的悬臂梁(202)，所述尾端设置有配重(400)；以及滑块(300)，与所述导轨(500)配合，所述滑块(300)设置于所述重心区结构(201)。2.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述机械手的重心在所述重心区结构(201)的宽度方向的中心线上，并且距离首尾方向的中心线的距离为e，所述机械手所受重力为G，G*∣e∣＜R，20kg.mm≤R≤100kg.mm。3.如权利要求2所述的机械手，其特征在于，所述机械手还包括设置于所述机械手指(100)上的托盘(600)，未放入所述托盘(600)情况下，所述机械手的重心位于所述首尾方向的中心线的一侧，且靠近所述重心区结构(201)的尾端，在放入所述托盘(600)的情况下，所述机械手的重心将转移到所述首尾方向的中心线的另一侧，重力为G+g，并且距离首尾方向的中心线的距离为e2，其中G*∣e∣≈(G+g)*∣e2∣。4.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述机械手臂(200)的首端具有用于连接所述机械手指(100)的安装部(203)，所述机械手指(100)设置于所述安装部(203)，所述机械手指(100)的顶面不突出于所述机械手臂(200)的顶面；或者所述机械手指(100)的底面...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯永刚，胡冬冬，邱勇，李娜，陈兆超，王铖熠，程实然，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32