一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室制造技术

本实用新型专利技术提供了一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，包括室仓和除尘机构，室仓包括多个隔板和推拉门，隔板为沿竖直方向设置的矩形板，多个隔板合围成上下开口的矩形筒体，隔板的上方还设有除尘机构；除尘机构包括风机过滤单元、化学过滤器和离子棒，化学过滤器设置于室仓的顶部开口处，风机过滤单元和离子棒还分别固定于化学过滤器的两侧，风机过滤单元设置于室仓的外部，离子棒设置于室仓的内部；化学过滤器包括盒体和设置于盒体内的活性炭，盒体的上下两面还分别设有进风通孔和出风通孔，离子棒固定于出风通孔处。本实用新型专利技术保障了硅片不受到颗粒、AMC的污染，使目检工作有效进行。

A darkroom for visual inspection of polished monocrystalline silicon wafers

【技术实现步骤摘要】
一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室
本技术属于硅抛光片的生产领域，具体涉及一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室。
技术介绍
硅片在生产加工中硅片的正面需要通过二到三步从粗到细的化学机械抛光过程来实现表面的镜面状态，抛光面上用来生长芯片电路，所以要求表面不能存在微小的划伤、凸起、微粒、沾污等缺陷。抛光硅片的表面洁净度也是产品最为关键的质量参数之一，即使存在亚微米级别微量污染也会导致后续器件加工失效。硅片经过化学机械镜面抛光后，表面会残留抛光液、抛光蜡杂质颗粒，需要经过湿法清洗去除杂质颗粒，清洗后还需进行强光下的人工目视检查，挑出微粒、沾污、划道、亮点等缺陷。被目检的硅片裸露在环境中，如果环境空气中存在灰尘，它会飘落在洁净的硅片表面，造成硅片表面颗粒超标，因此对目检环境要求极为苛刻，需要在环境颗粒受控的房间进行，这种房间称为洁净间。洁净间的级别从一级到一万级，级数对应的是单位体积空气中含有的颗粒数目，通常目检环境要求最高级别的一级洁净度。使用过滤器对空气中的悬浮颗粒进行过滤可以达到净化空气的目的，但空气快速通过过滤器时会因和滤网材料摩擦产生大量静电，导致目检工作台面、目检相关器具因静电吸附颗粒，降低了目检场所的洁净度。在空气中除了悬浮的颗粒，还有以气相和蒸汽形式存在的分子级污染物（AirborneMolecularContaminants,AMC）,AMC的来源有汽车尾气、雾霾、工厂排放的废气污染，硅片对其极其敏感，它和颗粒一样也会危害硅片。但AMC的粒径通常只有0.2~5nm，能顺利穿透高效过滤器，现有的洁净棚没有考虑半导体行业的特殊性，只具有微米级颗粒过滤功能，所以不能对尺寸更小的纳米级AMC进行拦截，往往造成硅片品质的下降。目检环境要求暗光背景，以提高人眼对硅片表面微小缺陷反光的敏感度，国标规定的硅片目检背景光强范围是50~650勒克斯，而现有的洁净棚往往采用透明防静电PVC帘做为洁净棚和外界的隔离，周边的大环境照明光源会穿透PVC帘进入洁净棚，使背景光强超出规定的范围，干扰了目检人员的判断，容易发生缺陷的漏检。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供了一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，为目检工作提供洁净、防静电、暗光的工作环境，保障了硅片不受到颗粒、AMC的污染，提高目检人员对缺陷的敏感度，使目检工作有效进行。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案为：一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，其特征在于：包括室仓和除尘机构，所述室仓包括多个隔板和推拉门，所述隔板为沿竖直方向设置的矩形板，多个隔板合围成上下开口的矩形筒体，其中一个隔板上还预留供人进入暗室的入口，所述推拉门设置于暗室的入口处，所述隔板还接有多个支柱，支柱的一端连接于隔板下方的侧边，支柱的另一端放置于地面上，所述隔板与地面之间预留出风间隙，隔板的上方还设有除尘机构；所述除尘机构包括风机过滤单元、化学过滤器和离子棒，所述化学过滤器设置于室仓的顶部开口处，所述风机过滤单元和离子棒还分别固定于化学过滤器的两侧，所述的风机过滤单元设置于室仓的外部，所述的离子棒设置于室仓的内部；所述化学过滤器包括盒体和设置于盒体内的活性炭，所述盒体为矩形壳体，所述隔板垂直固定于盒体的底面，盒体的底面与室仓的顶面为密封连接，所述盒体的上下两面还分别设有进风通孔和出风通孔，所述离子棒固定于所述出风通孔处。进一步的，所述隔板包括金属框和黑色的有机玻璃板，有机玻璃板还通过金属框固定。进一步的，所述金属框还包括边框和档杆，所述边框为矩形框，所述档杆沿水平方向设置，所述边框和所述档杆均为工字钢，所述有机玻璃板固定于档杆和边框之间。进一步的，所述推拉门包括吊轨和门板，所述吊轨固定于入口的顶部，所述门板还通过吊轮设置于吊轨的下方，所述门板可通过吊轮在吊轨上滑动。进一步的，所述进风通孔还连接风机过滤单元的出风口，风机过滤单元的进风口还设置于暗室外的大气中。进一步的，所述活性炭还设置于滤纸袋内，多个包裹有活性炭的滤纸袋经封口后设置于所述盒体中。本技术的有益效果为：安装在目检暗室顶部的风机过滤单元对外气悬浮颗粒进行过滤，风机过滤单元下方的化学过滤器对空气中的AMC进行吸附，经过过滤的洁净空气被送入目检暗室内部，保障了硅片不受到颗粒和AMC的污染，位于化学过滤器出风口下部的除静电离子棒交替发出正、负离子，可用来消除空气与过滤器滤网材料摩擦产生的静电，杜绝工作台面和目检器具由于静电吸附颗粒，避免了硅片受到外来污染，目检暗室隔板选用黑色防静电有机玻璃板，避免外界光源对目检人员的干扰。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为盒体的结构示意图；图3为推拉门的结构示意图。其中图中各标号为：1、隔板；2、入口；3、支柱；4、出风间隙；5、风机过滤单元；6、化学过滤器；601、盒体；7、离子棒；8、进风通孔；9、出风通孔；10、边框；11、有机玻璃板；12、吊轨；13、门板；14、吊轮；15、进风口；16、档杆。具体实施方式下面将结合本技术的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。本技术属于硅抛光片的生产领域，主要涉及对单晶硅抛光片表面缺陷进行人工目视检查时所需的洁净、防静电、暗光的独立工作场所。图1为本技术的机构示意图，包括室仓和除尘机构，所述室仓包括多个隔板1和推拉门，隔板1为沿竖直方向设置的矩形板，多个隔板1合围成上下开口的矩形筒体，其中一个隔板1上还预留供人进入暗室的入口2，推拉门设置于暗室的入口2处，隔板1还接有多个支柱3，支柱3的一端连接于隔板1下方的侧边，支柱3的另一端放置于地面上，隔板1与地面之间预留出风间隙4，隔板1的上方还设有除尘机构；隔板1包括金属框和黑色的有机玻璃板11，有机玻璃板11还通过金属框固定，金属框还包括边框10和档杆16，所述边框10为矩形框，所述档杆16沿水平方向设置，所述边框10和所述档杆16均为工字钢，所述有机玻璃板11固定于档杆16和边框10之间；目检暗室隔板1使用黑色防静电的有机玻璃隔板，外界光源照射不到目检暗室内部，目检小环境不受周边其他光源的干扰，保障了目检硅片所需要的暗光背景，使表面缺陷有效检出，同时防静电有机玻璃板也避免了静电所造成的隔板颗粒吸附。除尘机构包括风机过滤单元5、化学过滤器6和离子棒7，风化学过滤器6设置于室仓的顶部开口处，风机过滤单元5和离子棒7还分别固定于化学过滤器6的两侧，风机过滤单元5设置于室仓的外部，离子棒7设置于室仓的内部；化学过滤器6包括盒体601和设置于盒体601内的活性炭，活性炭还设置于滤纸袋内，多个包裹有活性炭的滤纸袋经封口后设置于所述盒体601中，防止活性炭泄漏的同时便于活性炭的更换，盒体601为矩形壳体，隔板1垂直固定于盒体601的底面，盒体601的底面与室仓的顶面为密封连接，即盒体601与室仓的各个隔板1之间没有供气体通过的间隙，同时离子棒7的安装座通过螺栓固定于盒体601的底面上，盒体601的上下两面还分别设有进风通孔8和出风通孔9，离子棒7固定于所述出风通孔9处，进风通孔8还连接风机过滤单元5的出风口，风机过滤单元5的进风口15还设置于暗室外的大气中。外界的空气先通过风机过滤单元5过滤空气中的颗粒，再经过化学过滤器6大幅度降低空气中AMC浓度，然后进入目本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，其特征在于：包括室仓和除尘机构，所述室仓包括多个隔板和推拉门，所述隔板为沿竖直方向设置的矩形板，多个隔板合围成上下开口的矩形筒体，其中一个隔板上还预留供人进入暗室的入口，所述推拉门设置于暗室的入口处，所述隔板还接有多个支柱，支柱的一端连接于隔板下方的侧边，支柱的另一端放置于地面上，所述隔板与地面之间预留出风间隙，隔板的上方还设有除尘机构；所述除尘机构包括风机过滤单元、化学过滤器和离子棒，所述化学过滤器设置于室仓的顶部开口处，所述风机过滤单元和离子棒还分别固定于化学过滤器的两侧，所述的风机过滤单元设置于室仓的外部，所述的离子棒设置于室仓的内部；所述化学过滤器包括盒体和设置于盒体内的活性炭，所述盒体为矩形壳体，所述隔板垂直固定于盒体的底面，盒体的底面与室仓的顶面为密封连接，所述盒体的上下两面还分别设有进风通孔和出风通孔，所述离子棒固定于所述出风通孔处。

【技术特征摘要】
1.一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，其特征在于：包括室仓和除尘机构，所述室仓包括多个隔板和推拉门，所述隔板为沿竖直方向设置的矩形板，多个隔板合围成上下开口的矩形筒体，其中一个隔板上还预留供人进入暗室的入口，所述推拉门设置于暗室的入口处，所述隔板还接有多个支柱，支柱的一端连接于隔板下方的侧边，支柱的另一端放置于地面上，所述隔板与地面之间预留出风间隙，隔板的上方还设有除尘机构；所述除尘机构包括风机过滤单元、化学过滤器和离子棒，所述化学过滤器设置于室仓的顶部开口处，所述风机过滤单元和离子棒还分别固定于化学过滤器的两侧，所述的风机过滤单元设置于室仓的外部，所述的离子棒设置于室仓的内部；所述化学过滤器包括盒体和设置于盒体内的活性炭，所述盒体为矩形壳体，所述隔板垂直固定于盒体的底面，盒体的底面与室仓的顶面为密封连接，所述盒体的上下两面还分别设有进风通孔和出风通孔，所述离子棒固定于所述出风通孔处。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊诚雷，吴跃峰，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41