一种多晶硅铸锭炉用石墨角接器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅铸锭炉用石墨角接器，包括石墨横梁和连接臂，连接臂竖向设置，并与石墨横梁连接形成L形结构，连接臂上设有至少两列安装孔，安装孔用于安装多晶硅铸锭炉的侧部加热器，每列安装孔从上至少设置多个以使侧部加热器的高度可调节。本实用新型专利技术可以根据装料高度的不同，选择不同的孔安装侧加热器，侧部加热器可以沿着铸锭炉内坩埚的高度方向调节，可满足全熔和半熔铸锭工艺切换，从而可以更好地调整温度场分布，避免了现有技术中采用两套角接器带来的拆装麻烦的问题。

A Graphite Corner Connector for Polycrystalline Silicon Ingot Furnace

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅铸锭炉用石墨角接器
本技术涉及多晶硅铸制备，尤其涉及一种多晶硅铸锭炉用石墨角接器。
技术介绍
铸锭多晶硅主要基于材料学的晶体形核与长大以及定向凝固原理。一般来说，多晶硅铸锭的制备方法分为同质籽晶外延生长制备工艺与异质籽晶辅助生长制备工艺，也称半熔多晶铸锭工艺与全熔多晶铸锭工艺。全熔高效多晶铸锭工艺主要的特点是将非硅/含硅材料等形核物质固定在石英坩埚底部，用做在硅晶体生长初期提供引晶点。其关键点是硅料全部熔化后，要利用高温对氮化硅涂层和形核物质进行有力的侵蚀，使形核物局部熔化后起到引晶点的作用。半熔高效多晶铸锭工艺主要的特点是将晶体硅碎料等籽晶物质铺设于石英坩埚底部，充当晶体生长初期的籽晶。其关键点是在熔化过程中，坩埚底部需要保持较低的温度，保证一定高度的籽晶物质存留，起到引晶的作用。由于全熔和半熔铸锭对坩埚底部温度的要求不同，全熔多晶铸锭需要将铸锭炉侧加热器往下放，接近坩埚底部位置，从而是坩埚底部温度升高。半熔多晶铸锭需要将铸锭炉侧加热器往上放，远离坩埚位置，保持坩埚底部较低的温度。因此，如果需要在两种工艺间切换，需要准备两套石墨角接器，拆装过程比较费时费力。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种侧部加热器可以沿着铸锭炉内坩埚的高度方向调节、以满足全熔和半熔铸锭工艺切换的多晶硅铸锭炉用石墨角接器。为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：一种多晶硅铸锭炉用石墨角接器，包括石墨横梁和连接臂，所述连接臂竖向设置，并与石墨横梁连接形成L形结构，所述连接臂上设有至少两列安装孔，所述安装孔用于安装多晶硅铸锭炉的侧部加热器，每列安装孔从上至少设置多个以使侧部加热器的高度可调节。作为上述技术方案的进一步改进，优选的，每列安装孔中相邻两个安装孔之间的间距全部相同或全部不同或部分不同。作为上述技术方案的进一步改进，优选的，每列安装孔中相邻两个安装孔之间的间距为20mm～80mm。作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述安装孔为圆孔，其直径为8mm～20mm。作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述安装孔为方孔。作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述连接臂的长度为80mm～1000mm。作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述连接臂的宽度为80mm～150mm。作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述连接臂的厚度为5mm～50mm。一种多晶硅铸锭炉用石墨角接器，包括石墨横梁和连接臂，所述连接臂竖向设置，并与石墨横梁连接形成L形结构，所述连接臂上设有至少两列安装孔，所述安装孔用于安装多晶硅铸锭炉的侧部加热器，每列安装孔从上至少设置多个以使侧部加热器的高度可调节，每列安装孔中相邻两个安装孔通过切槽连通，所述切槽的沿水平方向的宽度小于安装孔沿水平方向的宽度。与现有技术相比，本技术的优点在于：本技术的多晶硅铸锭炉用石墨角接器，连接臂的长度根据多晶硅铸锭炉内坩埚的位置设置，通过设置不同高度的安装孔，侧部加热器固定在不同的安装孔上，当进行半熔多晶工艺时，需要将侧部加热器往上方的安装孔上安装，当进行全熔多晶工艺时，需要将侧部加热器往下方的安装孔上安装，从而较快地实现工艺的切换，采用该角接器，可以根据装料高度的不同，选择不同的孔安装侧加热器，侧部加热器可以沿着铸锭炉内坩埚的高度方向调节，从而可以更好地调整温度场分布，避免了现有技术中采用两套角接器带来的拆装麻烦的问题。附图说明图1是本技术实施例1的主视结构示意图。图2是本技术实施例1的侧视结构示意图。图3是本技术实施例2的主视结构示意图。图中各标号表示：1、石墨横梁；2、连接臂；3、安装孔。具体实施方式以下结合说明书附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。实施例1如图1和图2所示，本实施例的多晶硅铸锭炉用石墨角接器，包括石墨横梁1和连接臂2，连接臂2竖向设置，并与石墨横梁1连接形成L形结构，连接臂2上设有两列安装孔3，安装孔3用于安装多晶硅铸锭炉的侧部加热器，每列安装孔3从上至少设置多个以使侧部加热器的高度可调节。安装孔3内设有螺栓，通过螺栓连接侧部加热器。连接臂2的长度根据多晶硅铸锭炉内坩埚的位置设置，通过设置不同高度的安装孔3，侧部加热器固定在不同的安装孔3上，当进行半熔多晶工艺时，需要将侧部加热器往上方的安装孔3上安装，当进行全熔多晶工艺时，需要将侧部加热器往下方的安装孔3上安装，从而较快地实现工艺的切换，采用该角接器，可以根据装料高度的不同，选择不同的孔安装侧加热器，侧部加热器可以沿着铸锭炉内坩埚的高度方向调节，从而可以更好地调整温度场分布，且一套角接器就可以实现不同技术要求，节省原材料，更换过程简单，拆装省时省力，避免了现有技术中采用两套角接器带来的拆装麻烦的问题。本实施例中，石墨横梁1和连接臂2由CC石墨材料加工而成。本实施例中，每列安装孔3中相邻两个安装孔3之间的间距全部相同。在具体应用实例中，连接臂2的长度为80mm～1000mm。连接臂2的宽度为80mm～150mm。连接臂2的厚度为5mm～50mm。每列安装孔3中各安装孔3的间距为20mm～80mm。在本实施例中，连接臂2的长度500mm，连接臂2的宽度70mm，连接臂2的厚度15mm。安装孔3为圆孔，其直径可以为8mm～20mm内的任一值。在本实施例中，安装孔3的直径为8mm。除本实施例外，每列安装孔3的相邻两个安装孔3之间的间距也可以是部分不同或者全部不同。除本实施例外，安装孔3也可以为方形孔。实施例2如图3所示，本实施例的多晶硅铸锭炉用石墨角接器，与实施例1基本相同，不同之处仅在于：本实施例中，每列安装孔3中相邻两个安装孔3通过切槽4连通，切槽4的沿水平方向的宽度小于安装孔3沿水平方向的宽度。本实施例中，安装孔3为圆孔，切槽4的宽度小于安装孔3的宽度，设置切槽4将所有的安装孔3连通，这样在调节侧部加热器的高度时，拧松螺栓上的螺母，上下移动螺栓，至合适的安装孔3内，无需将螺母取下，重新将螺栓插入另外的安装孔3内，拆装简单、便捷和快速。除本实施例外，安装孔3也可以为正方形孔，切槽4的宽度小于正方形孔的宽度。除以上实施例1和实施例2外，连接臂2上也可以设置三列或四列安装孔3，具体根据侧壁侧部加热器的安装宽度和连接臂2的宽度选择。虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本技术。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的
技术实现思路
对本技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本技术技术方案的内容，依据本技术技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本技术技术方案保护的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅铸锭炉用石墨角接器，其特征在于：包括石墨横梁(1)和连接臂(2)，所述连接臂(2)竖向设置，并与石墨横梁(1)连接形成L形结构，所述连接臂(2)上设有至少两列安装孔(3)，所述安装孔(3)用于安装多晶硅铸锭炉的侧部加热器，每列安装孔(3)从上至少设置多个以使侧部加热器的高度可调节。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅铸锭炉用石墨角接器，其特征在于：包括石墨横梁(1)和连接臂(2)，所述连接臂(2)竖向设置，并与石墨横梁(1)连接形成L形结构，所述连接臂(2)上设有至少两列安装孔(3)，所述安装孔(3)用于安装多晶硅铸锭炉的侧部加热器，每列安装孔(3)从上至少设置多个以使侧部加热器的高度可调节。2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉用石墨角接器，其特征在于：每列安装孔(3)中相邻两个安装孔(3)之间的间距全部相同或全部不同或部分不同。3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉用石墨角接器，其特征在于：每列安装孔(3)中相邻两个安装孔(3)之间的间距为20mm～80mm。4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉用石墨角接器，其特征在于：所述安装孔(3)为圆孔，其直径为8mm～20mm。5.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉用石墨角接器，其特征在于：所述安装孔(3)为...

【专利技术属性】
技术研发人员：明亮，段金刚，黄美玲，喻鹏辉，黄俊，刘福钢，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南,43